一种带降噪装置的极低温扫描隧道显微镜制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带降噪装置的极低温扫描隧道显微镜，该极低温扫描隧道显微镜通过第一波纹管连接降噪装置，降噪装置通过第二波纹管连接稀释制冷机，降噪装置包括连接管，该连接管一端连接第一波纹管，另一端连接第二波纹管。降噪装置还包括底座支架，在底座支架上设有减震负载，连接管被置于所述减震负载。降噪装置的底座支架被置于与稀释制冷机同一个地基上。底座支架顶部设有多个减震器，减震负载被置于所述减震器上。负载被置于所述减震器上。负载被置于所述减震器上。

【技术实现步骤摘要】
一种带降噪装置的极低温扫描隧道显微镜


[0001]本技术属于测量仪器
，特别涉及一种带降噪装置的极低温扫描隧道显微镜。

技术介绍

[0002]扫描隧道显微镜(STM)在物理、化学、材料等研究领域被广泛使用，是研究材料表面原子结构、电子态及表面电子散射等性质的最佳工具之一。扫描隧道显微镜(STM)一般是在超高真空以及液氮(77K)或液氦(4.2K)的温度条件下进行测量。
[0003]由于STM的测量过程对外界震动非常敏感，通常都会对其进行一系列机械减震措施，如：
[0004]1.与STM腔体有刚性连接的装置与地面的接触点都属于同一个独立地基上。
[0005]2.整个STM腔体悬浮在位于独立地基上的气动减震平台上。
[0006]3.STM扫描头使用弹簧悬挂或磁悬浮进行最终级减震。
[0007]4.在进行精密测量时关闭STM设备腔体上所有会产生机械振动的真空泵组。
[0008]而对于极低温扫描隧道显微镜，由于极低温扫描隧道显微镜通过一定配比的3He与4He在低温下的特性可将扫描隧道显微镜地测量温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带降噪装置的极低温扫描隧道显微镜，其特征在于，该极低温扫描隧道显微镜(100)通过第一波纹管(101)连接降噪装置(300)，所述降噪装置(300)通过第二波纹管(201)连接稀释制冷机(200)，所述降噪装置(300)包括连接管(301)，该连接管(301)一端连接第一波纹管(101)，另一端连接第二波纹管(201)，所述降噪装置(300)包括底座支架(305)，在所述底座支架(305)上设有减震负载(303)，所述连接管(301)被置于所述减震负载(303)上。2.根据权利要求1所述的极低温扫描隧道显微镜，其特征在于，所述降噪装置(300)的底座支架(305)被置于与所述稀释制冷机(200)同一个地基上。3.根据权利要求1所述的极低温扫描隧道显微镜，其特征在于，所述底座支架(305)顶部设有多个减震器(304)，所述减震负载(303)被置于所述减震器(304)上。4.根据权利要求3所述的极低温扫描隧道显微镜，其特征在于，所述减震器(304)为一块质量为100kg的钢块。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾翊晟，郑浩，贾金锋，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：新型
国别省市：