准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，通过获取待分析窗片元件的损伤信息对应的特征信息确定待分析窗片元件的损伤类别，并确定出待分析窗片元件的实际损伤形式，待分析窗片元件的损伤类别是先前使用相同或类似操作手段得到的，所以在非损伤区复现与形成损伤类别对应的损伤，将该复现的损伤与损伤信息进行比对，损伤的信息与待分析窗片元件的损伤信息一致，则确定待分析窗片元件的损伤原因为使用与形成损伤类别的相同或类似操作手段的原因。本申请通过确定待分析窗片元件的损伤类别，并结合形成损伤类别的相同或类似操作手段来复现损伤，从而可以准确地确定出造成该损伤类别的原因，并提升准分子激光器运行的稳定性。行的稳定性。行的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法及装置


[0001]本申请涉及准分子激光
，具体涉及一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法和一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析装置。

技术介绍

[0002]随着半导体行业对半导体芯片制程的要求越来越高，光刻机光源已从初始的汞灯光源演化到当前的深紫外光源。深紫外光有着更高的分辨率，但同时也有更大的单光子能量，容易造成光学元件损伤。为了避免光学元件对光源的吸收率过高导致光学元件的光致收缩、色心等问题，现有的深紫外激光器已采用对该波段光源有着极高透过率的CaF2(氟化钙)为材料作为光学元件，并通过镀膜等方式实现对光学元件的保护。
[0003]但是，准分子激光器中还有一类特殊的光学元件——窗片元件，该窗片元件不仅需要对特定波长或波段范围的光有较高的透过率，同时还要隔离外部环境，保护内部器件。窗片元件在准分子激光器使用过程中承载着光、力、污染物等作用，这些诱因可能造成窗片元件的光热效应、光力效应、光化学反应等其它效应，从而造成窗片元件的损伤。
[0004]可见，造成窗片元件损伤的原因不只一种，而如何准确确定出造成窗片元件损伤的原因，以提升准分子激光器运行的稳定性，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，以解决现有技术中如何准确确定出造成窗片元件损伤的原因，以提升准分子激光器运行的稳定性的问题。
[0006]本申请实施例提供一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，获取待分析窗片元件的损伤信息，根据所述损伤信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息；根据所述特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别；根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤；采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因。
[0007]可选的，所述获取待分析窗片元件的损伤信息，根据所述损伤信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息，包括：确定待分析窗片元件的损伤区；获得损伤区对应的形貌信息；根据所述形貌信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息。
[0008]可选的，所述待分析窗片元件损伤的特征信息包括熔化烧蚀特征信息、局部脆裂或崩裂特征信息和扩展性裂纹且不存在熔化、局部脆裂或崩裂特征信息；
[0009]对应的，所述根据所述特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别，包括：根据所述熔化烧蚀特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别；根据所述局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别；根据所述扩展性裂纹且不存在熔化、局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别。
[0010]可选的，所述根据所述熔化烧蚀特征信息确定的所述待分析窗片元件的损伤类别
和根据所述局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别分别包括污染物诱导损伤类别；所述根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤之前，还包括：获得损伤区对应的元素信息；将所述元素信息与预先设定的物相基体信息进行对比，若所述元素信息与预先设定的物相基体信息一致，则确定所述待分析窗片元件的损伤类别为激光辐照损伤类别；若所述元素信息与预先设定的物相基体信息存在差异元素，则确定与所述待分析窗片元件的污染物诱导损伤类别对应的待分析窗片元件的损伤原因为污染物诱导损伤原因。
[0011]可选的，在确定所述待分析窗片元件的损伤类别为激光辐照损伤类别之后，所述根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤，包括：根据预先设定的与形成激光辐照损伤类别的深紫外激光辐照实验在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤的第一形貌特征；
[0012]对应的，所述采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因，包括：
[0013]采集所述第一形貌特征，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，若所述损伤信息中的形貌信息与所述第一形貌特征一致，则确定待分析窗片元件的损伤原因为激光辐照损伤原因。
[0014]可选的，还包括：若所述待分析窗片元件的损伤信息中的形貌信息与第一形貌特征存在区别特征信息，或根据预先设定的与形成激光辐照损伤类别的深紫外激光辐照实验在所述待分析窗片元件的非损伤区未复现损伤的第一形貌特征，则确定所述待分析窗片元件的损伤类别为金属污染物损伤类别。
[0015]可选的，在确定所述待分析窗片元件的损伤类别为金属污染物损伤类别之后，所述根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤，包括：
[0016]确定所述待分析窗片元件的损伤区的表面是否为内表面，如是，则根据预先设定的与形成金属污染物损伤类别的金属污染物诱导损伤实验在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤的第二形貌特征；
[0017]对应的，所述采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因，包括：
[0018]采集所述复现的损伤的第二形貌特征，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，若所述待分析窗片元件的损伤信息中的形貌信息与第二形貌特征一致，则确定待分析窗片元件的损伤原因为电极污染物诱导损伤原因；
[0019]若所述待分析窗片元件的损伤信息中的形貌信息与第二形貌特征存在区别特征信息，且根据预先设定的与形成金属污染物损伤类别的金属污染物诱导损伤实验在所述待分析窗片元件的非损伤区未复现损伤的第二形貌特征，则确定所述待分析窗片元件的损伤类别为污染物和表面损伤类别，并确定与所述污染物和表面损伤类别对应的待分析窗片元件的损伤原因为污染物和表面损伤原因；
[0020]确定所述待分析窗片元件的损伤区的表面是否为外表面，如是，则确定所述待分析窗片元件的损伤类别为污染物和表面损伤类别，并确定与所述污染物和表面损伤类别对应的待分析窗片元件的损伤原因为污染物和表面损伤原因。
[0021]可选的，对于确定所述待分析窗片元件的损伤区的表面是否为内表面，如是，在所述确定与所述污染物和表面损伤类别对应的待分析窗片元件的损伤原因不为污染物和表面损伤原因之后，对所述待分析窗片元件进行机械加载和温度场加载，所述根据所述局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别还包括：机械加载和金属污染物损伤类别；
[0022]对应的，根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤，包括：根据预先设定的与形成机械加载和金属污染物损伤类别的金属污染物诱导损伤实验在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤的第三形貌特征；
[0023]对应的，所述采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因，包括：
[0024]采集所述复现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，包括：获取待分析窗片元件的损伤信息，根据所述损伤信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息；根据所述特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别；根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤；采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因。2.根据权利要求1所述的准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，所述获取待分析窗片元件的损伤信息，根据所述损伤信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息，包括：确定待分析窗片元件的损伤区；获得损伤区对应的形貌信息；根据所述形貌信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息。3.根据权利要求1或2所述的准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，所述待分析窗片元件损伤的特征信息包括熔化烧蚀特征信息、局部脆裂或崩裂特征信息和扩展性裂纹且不存在熔化、局部脆裂或崩裂特征信息；对应的，所述根据所述特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别，包括：根据所述熔化烧蚀特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别；根据所述局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别；根据所述扩展性裂纹且不存在熔化、局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别。4.根据权利要求3所述的准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，所述根据所述熔化烧蚀特征信息确定的所述待分析窗片元件的损伤类别和根据所述局部脆裂或崩裂特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别分别包括污染物诱导损伤类别；所述根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤之前，还包括：获得损伤区对应的元素信息；将所述元素信息与预先设定的物相基体信息进行对比，若所述元素信息与预先设定的物相基体信息一致，则确定所述待分析窗片元件的损伤类别为激光辐照损伤类别；若所述元素信息与预先设定的物相基体信息存在差异元素，则确定与所述待分析窗片元件的污染物诱导损伤类别对应的待分析窗片元件的损伤原因为污染物诱导损伤原因。5.根据权利要求4所述的准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，在确定所述待分析窗片元件的损伤类别为激光辐照损伤类别之后，所述根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤，包括：根据预先设定的与形成激光辐照损伤类别的深紫外激光辐照实验在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤的第一形貌特征；对应的，所述采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因，包括：
采集所述第一形貌特征，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，若所述损伤信息中的形貌信息与所述第一形貌特征一致，则确定待分析窗片元件的损伤原因为激光辐照损伤原因。6.根据权利要求5所述的准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，还包括：若所述待分析窗片元件的损伤信息中的形貌信息与第一形貌特征存在区别特征信息，或根据预先设定的与形成激光辐照损伤类别的深紫外激光辐照实验在所述待分析窗片元件的非损伤区未复现损伤的第一形貌特征，则确定所述待分析窗片元件的损伤类别为金属污染物损伤类别。7.根据权利要求6所述的准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法，其特征在于，在确定所述待分析窗片元件的损伤类别为金属污染物损伤类别之后，所述根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤，包括：确定所述待分析窗片元件的损伤区的表面是否为内表面，如是，则根据预先设定的与形成金属污染物损伤类别的金属污染物诱导损伤实验在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤的第二形貌特征；对应的，所述采集所述复现的损伤的信息，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，以确定待分析窗片元件的损伤原因，包括：采集所述复现的损伤的第二形貌特征，并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对，若所述待分析窗片元件的损伤信息中的形貌信息与第二形貌...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘斌，陈文斌，徐向宇，刘广义，江锐，郭馨，朱星宏，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：