固定装置及涂覆设备制造方法及图纸

一种固定装置及涂覆设备。所述固定装置包括：底座；第一支撑部，固定在所述底座的一端，用于支撑所述目标物体的第一端；第二支撑部，固定在所述底座的另一端，用于支撑所述目标物体的第二端；以及阻挡部，固定在所述第二支撑部上，用于与所述第二支撑部相配合，以阻挡所述目标物体的第二端在所述第二支撑部上移动；其中，所述第二支撑部对所述目标物体第二端的支撑高度，高于所述第一支撑部对所述目标物体第一端的支撑高度。采用上述方案，可以提高目标物体的固定效果。标物体的固定效果。标物体的固定效果。

【技术实现步骤摘要】
固定装置及涂覆设备


[0001]本技术涉及机械
，具体涉及一种固定装置及涂覆设备。

技术介绍

[0002]涂覆设备，用于在基板表面涂覆厚度均匀的光阻层，常用于平板显示、半导体制造行业。
[0003]为了对涂覆的光阻层中杂质管控，需要在涂覆设备上加装过滤器。通过过滤器对光阻材料进行过滤，滤除光阻材料中的杂质颗粒。
[0004]过去的涂覆设备会对光阻材料进行一次过滤。随着产品性能要求的提升，可以再涂覆设备外加装第二次过滤装置。其中，第二次过滤器通常使用笔式过滤器。笔式过滤器体积较小，通过与其连接的输入管及输出管进行固定。
[0005]上述笔式过滤器的固定方式不牢靠，笔式过滤器工作过程中容易发生晃动，输入输出管容易松脱，影响过滤效果。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的问题是：提高类似笔式滤波器的目标物体的固定效果。
[0007]为解决上述问题，本技术实施例提供了一种固定装置，所述固定装置用于固定目标物体，所述固定装置包括：
[0008]底座；
[0009]第一支撑部，固定在所述底座的一端，用于支撑所述目标物体的第一端；
[0010]第二支撑部，固定在所述底座的另一端，用于支撑所述目标物体的第二端；
[0011]以及阻挡部，固定在所述第二支撑部上，用于与所述第二支撑部相配合，以阻挡所述目标物体的第二端在所述第二支撑部上移动；
[0012]其中，所述第二支撑部对所述目标物体第二端的支撑高度，高于所述第一支撑部对所述目标物体第一端的支撑高度。
[0013]可选地，所述阻挡部包括：
[0014]连接件，固定在所述第二支撑部上；
[0015]夹紧件，与所述连接件连接，位于所述第二支撑部上方，用于对目标物体第二端上暴露于所述第二支撑部外的部分施加径向压力。
[0016]可选地，所述目标物体为笔式过滤器。
[0017]可选地，所述夹紧件包括：
[0018]与所述连接件连接的第一夹紧臂及第二夹紧臂；
[0019]其中，所述第一夹紧臂与所述第二夹紧臂之间形成有感应器锁定结构；所述感应器锁定结构，用于提供气泡感应器安装空间并对所安装的气泡感应器进行锁定。
[0020]可选地，所述连接件包括：
[0021]横向限位结构，用于在横向上固定所述连接件的位置；
[0022]以及纵向限位结构，用于在纵向上固定所述连接件的位置。
[0023]可选地，所述横向限位结构及纵向限位结构，均为贯穿所述连接件的通孔。
[0024]可选地，所述目标物体的延伸方向，与所述底座所在平面的锐角夹角为45度。
[0025]可选地，所述第一支撑部及所述第二支撑部的支撑高度是固定的。
[0026]可选地，所述第一支撑部及所述第二支撑部中至少一个的支撑高度是可调的。
[0027]可选地，所述固定装置还包括：
[0028]第一支架，与所述第一支撑部及第二支撑部的一侧固定连接；
[0029]第二支架，与所述第一支撑部及第二支撑部的另一侧固定连接。
[0030]可选地，所述固定装置还包括：
[0031]第三支架，一端与所述底座固定连接，另一端与所述第一支架连接；
[0032]其中，所述第三支架包括：倾斜度调整结构，用于调整所述第一支架与所述第三支架的连接位置。
[0033]可选地，所述第三支架包括：
[0034]支架底板，固定在所述底座上；
[0035]支撑板，与所述支架底板固定连接；
[0036]所述倾斜度调整结构位于所述支撑板上。
[0037]可选地，所述固定装置所述倾斜度调整结构包括：位于支撑板上的所述弧形限位孔，所述弧形限位孔的延伸方向与所述目标物体倾斜度的调整方向一致。
[0038]可选地，所述固定装置还包括：
[0039]锁紧部，固定在所述第二支架上，用于将所述阻挡部锁定在所述第二支撑部上。
[0040]可选地，所述锁紧部包括：
[0041]手柄，固定在所述第二支架上；
[0042]以及与所述手柄联动连接的锁定件，用于在所述手柄的带动下，向靠近所述第二支撑部的方向压紧所述阻挡部，或者向远离所述第二支撑部的方向与所述阻挡部分离。
[0043]可选地，所述第一支撑部包括：第一凹槽，所述目标物体的第一端位于所述第一凹槽内，所述第一凹槽的内壁形状与所述目标物体第一端外表面的形状相匹配。
[0044]可选地，所述第二支撑部包括：第二凹槽，所述目标物体的第二端位于所述第二凹槽内，所述第二凹槽的内壁形状与所述目标物体第二端外表面的形状相匹配。
[0045]本技术实施例还提供了一种涂覆设备，包括：
[0046]上述任一种的固定装置；
[0047]以及固定在所述固定装置上的笔式过滤器。
[0048]与现有技术相比，本技术实施例的技术方案具有以下优点：
[0049]应用本技术的方案，固定装置包括：底座、第一支撑部、第二支撑部以及阻挡部，其中，目标物体的两端可以分别由第一支撑部及第二支撑部支撑，而第一支撑部及第二支撑部均固定在底座上，再通过阻挡部对目标物体的第二端进行阻挡，由此只要固定好底座，就可以很好地倾斜固定目标物体，有效提高类似笔式滤波器的目标物体的固定效果。
附图说明
[0050]图1是本技术实施例中一种固定装置的立体结构示意图；
[0051]图2是本技术实施例中一种夹紧件的立体结构示意图；
[0052]图3是图2中夹紧件的测试图；
[0053]图4是本技术实施例中另一种固定装置的立体结构示意图；
[0054]图5是本技术实施例中第三支架的立体结构示意图。
具体实施方式
[0055]现有的涂覆设备中，设置有笔式过滤器。经笔式过滤器过滤后的光阻再输入至涂覆喷嘴中，由涂覆喷嘴在产品表面执行涂覆处理，形成一层光阻层。
[0056]其中，笔式过滤器通过与其连接的输入管及输出管进行固定，当输入管或输出管晃动时，会带动笔式过滤器晃动，严重的可能带动笔试过滤器输入或输出管松脱，影响过滤效果。
[0057]针对该问题，本技术提供了一种固定装置，所述固定装置包括：底座、第一支撑部、第二支撑部以及阻挡部，其中，目标物体的两端可以分别由第一支撑部及第二支撑部支撑，而第一支撑部及第二支撑部均固定在底座上，再通过阻挡部对目标物体的第二端进行阻挡，由此只要固定好底座，就可以很好地倾斜固定目标物体，有效提高类似笔式滤波器的目标物体的固定效果。
[0058]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例作详细地说明。
[0059]参照图1，本技术实施例提供了一种固定装置，所述固定装置用于倾斜固定目标物体。具体地，所述固定装置包括：
[0060]底座11；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固定装置，其特征在于，用于固定目标物体，所述固定装置包括：底座；第一支撑部，固定在所述底座的一端，用于支撑所述目标物体的第一端；第二支撑部，固定在所述底座的另一端，用于支撑所述目标物体的第二端；以及阻挡部，固定在所述第二支撑部上，用于与所述第二支撑部相配合，以阻挡所述目标物体的第二端在所述第二支撑部上移动；其中，所述第二支撑部对所述目标物体第二端的支撑高度，高于所述第一支撑部对所述目标物体第一端的支撑高度。2.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述阻挡部包括：连接件，固定在所述第二支撑部上；夹紧件，与所述连接件连接，位于所述第二支撑部上方，用于对目标物体第二端上暴露于所述第二支撑部外的部分施加径向压力。3.如权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述目标物体为笔式过滤器。4.如权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述夹紧件包括：与所述连接件连接的第一夹紧臂及第二夹紧臂；其中，所述第一夹紧臂与所述第二夹紧臂之间形成有感应器锁定结构；所述感应器锁定结构，用于提供气泡感应器安装空间并对所安装的气泡感应器进行锁定。5.如权利要求4所述的固定装置，其特征在于，所述连接件包括：横向限位结构，用于在横向上固定所述连接件的位置；以及纵向限位结构，用于在纵向上固定所述连接件的位置。6.如权利要求5所述的固定装置，其特征在于，所述横向限位结构及纵向限位结构，均为贯穿所述连接件的通孔。7.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述目标物体的延伸方向，与所述底座所在平面的锐角夹角为45度。8.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一支撑部及所述第二支撑部的支撑高度是固定的。9.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第一支撑部及所述第二支撑部中至少一个的支撑高度是可调的。10.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：石雷鸣，吴忠，石祥传，马世英，
申请(专利权)人：昆山仪电显示材料有限公司，
类型：新型
国别省市：