坩埚、坩埚组件和碳化硅长晶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及化工器械领域，公开了一种坩埚、坩埚组件和碳化硅长晶装置，坩埚包括：坩埚本体(1)，坩埚本体(1)的底部设有卡槽(2)和卡条(3)，卡条(3)可拆卸地设置在卡槽(2)中以使得坩埚本体(1)形成一个能够均匀导热的完整的筒体；和螺纹盖(4)，螺纹盖(4)设置在坩埚本体(1)的上端口，并与坩埚本体(1)的内侧壁螺纹连接，其中，卡槽(2)能够为坩埚本体(1)与螺纹盖(4)之间的连接或分离提供用于固定/转动该坩埚本体(1)的限位点/施力点。本实用新型专利技术解决了由于坩埚的外壁结构较为均匀且光滑，采用常规的皮带钳对坩埚的螺纹盖进行拆除时容易发生滑落，以至于存在较高的安全隐患的技术问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
坩埚、坩埚组件和碳化硅长晶装置


[0001]本技术涉及化工器械领域，具体地涉及一种坩埚、坩埚组件和碳化硅长晶装置。

技术介绍

[0002]碳化硅晶体在PVT法长晶制备时，常用石墨坩埚。该坩埚为空心圆柱形，坩埚的端口处设有螺纹盖，通过安装拆卸螺纹盖可以实现装料与取料。当温度达到2000
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2400℃时，碳化硅粉料升华，在螺纹密封处也会形成结晶，导致坩埚拆卸困难。为了保证坩埚的较热均匀的效果，坩埚的外壁结构较为均匀且光滑，因此当螺纹密封处形成结晶时，坩埚需要借助工具提高摩擦力以进行拆除。通常采用皮带钳对坩埚进行拆卸，但由于坩埚外表面光滑容易发生滑落，严重时甚至造成生产事故。同时，皮带钳使用时需要两人反方向同时用力，人力成本高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了克服现有技术存在的由于坩埚的外壁结构较为均匀且光滑，采用常规的皮带钳对坩埚的螺纹盖进行拆除时容易发生滑落，以至于存在较高的安全隐患的技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术一方面提供一种用于碳化硅晶体的置备的坩埚。<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，其特征在于，所述坩埚用于碳化硅晶体的置备，所述坩埚包括：坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)的底部设有卡槽(2)和卡条(3)，所述卡条(3)可拆卸地设置在所述卡槽(2)中以使得所述坩埚本体(1)形成一个能够均匀导热的完整的筒体；和螺纹盖(4)，所述螺纹盖(4)设置在所述坩埚本体(1)的上端口，并与所述坩埚本体(1)的内侧壁螺纹连接，其中，所述卡槽(2)能够为所述坩埚本体(1)与所述螺纹盖(4)之间的连接或分离提供用于固定/转动该坩埚本体(1)的限位点/施力点。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚包括以下至少一种方式：方式一，所述卡槽(2)有多个，多个所述卡槽(2)均对应设有一个所述卡条(3)；方式二，所述卡槽(2)有多个，多个所述卡槽(2)设置在所述坩埚本体(1)的底部，并沿所述底部的径向均布；方式三，所述卡槽(2)设置在所述坩埚本体(1)的底部的边缘处，所述卡条(3)置于所述卡槽(2)外部的表面位于该卡槽(2)所在的所述坩埚本体(1)外周面或底面的延展面上。3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述卡槽(2)和所述卡条(3)之间设有限位组件(5)，所述限位组件(5)至少设置在所述卡槽(2)和所述卡条(3)相对的两个抵接面上。4.根据权利要求3所述的坩埚，所述限位组件(5)包括分别设置在所述卡槽(2)和所述卡条(3)抵接面上的限位凹槽(501)和限...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹敏，宋亚滨，翟虎，林宏达，孙金梅，
申请(专利权)人：成都中浦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：