一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置，包括连接主管、连接支管、冲水支管、冲水主管和水泵；每个所述连接支管的进气端分别连通一个半导体的刻蚀腔；多个所述连接支管的出口端均匀连接在连接主管的侧面的同一水平圆周上；所述水泵一端连接冲水主管，另一端连接洗涤塔。本实用新型专利技术的有益效果在于：所述水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置能同时避免多个刻蚀腔的废气堵塞洗涤塔进气端，每个连接支管被冲水时水压相似，保证了每个连接支管内被冲洗的效果均较为优良，冲水支管喷出的水来自洗涤塔，冲洗后又自动流到洗涤塔中，形成循环，避免了浪费。避免了浪费。避免了浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置


[0001]本技术涉及半导体制备
，具体涉及一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置。

技术介绍

[0002]半导体生产过程中通常会应用到刻蚀技术，晶圆片(半导体的半成品)与制程气体在刻蚀腔内反应，形成大量废气；废气通过连接支管被洗涤塔处理。
[0003]水洗式洗涤塔主要用于处理一些能溶于水的废气，因为是通过水冲洗废气，故连接支管连接洗涤塔的一端潮湿且温度较低，废气容易在连接支管连接洗涤塔的一端凝结，从而堵塞连接支管；连接支管长期的不通畅容易造成洗涤塔与刻蚀腔的各种故障。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是：提供一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置，解决废气堵塞连接支管的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置，包括连接主管、连接支管、冲水支管、冲水主管和水泵；
[0006]所述连接主管连通在洗涤塔进水端；所述连接支管设有多个，每个所述连接支管的进气端分别连通一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置，其特征在于，包括连接主管、连接支管、冲水支管、冲水主管和水泵；所述连接主管连通在洗涤塔进水端；所述连接支管设有多个，每个所述连接支管的进气端分别连通一个半导体的刻蚀腔；多个所述连接支管的出口端均匀连接在连接主管的侧面的同一水平圆周上；所述冲水主管同轴设置在连接主管的上方，所述冲水主管的出水端同时连接多个冲水支管，并通过冲水支管连通连接支管；所述水泵一端连接冲水主管，另一端连接洗涤塔。2.根据权利要求1所述的水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置，其特征在于，所述水泵通过控制电路控制每间隔3600S开启15S。3.根据权利要求1所述的水洗式洗涤塔连接支管的自动冲水防堵装置，其特征在于，所述连接主管竖直设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炳栋，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：