一种真空机械臂螺纹孔的排污结构及其加工方法技术

本发明专利技术公开了一种真空机械臂螺纹孔的排污结构，包括机械臂本体，所述机械臂本体上设置有螺纹孔，所述螺纹孔侧部设置有排污槽，所述螺纹孔通过排污槽连通外界。通过在螺纹孔侧部设置排污槽，确保真空机械臂加工完成后藏匿在死角的杂质能够全部排出，避免残留而影响真空机械臂工作。空机械臂工作。空机械臂工作。

【技术实现步骤摘要】
一种真空机械臂螺纹孔的排污结构及其加工方法


[0001]本专利技术涉及机械臂加工
，尤其是涉及一种真空机械臂螺纹孔的排污结构及其加工方法。

技术介绍

[0002]真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手臂是真空机器人关键零部件之一，是机器人执行动作的重要载体。由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定，所以对整个加工、运输等设备有非常严格的清洁度要求。否则将造成加工的半导体零部件报废。
[0003]专利申请号为CN201821680198.2提出带有螺旋排屑槽的加工中心，包括机架、位于机架上的加工平台、位于加工平台上方的刀具、驱动刀具的动力源及驱动机构、位于刀具旁的刀库，在所述的加工平台下方设置用于将加工的废屑排出的排屑槽结构，所述的排屑槽结构包括呈长方体的排屑槽、位于排屑槽内呈螺旋形的排屑装置、位于排屑槽一端用于驱动排屑装置转动的电机以及位于排屑槽另一端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空机械臂螺纹孔的排污结构，其特征在于，包括机械臂本体，所述机械臂本体上设置有螺纹孔，所述螺纹孔侧部设置有排污槽，所述螺纹孔通过排污槽连通外界。2.根据权利要求1所述的一种真空机械臂螺纹孔的排污结构，其特征在于，所述螺纹孔包括有底孔和设置于底孔中的内螺纹段，所述排污槽设置于内螺纹段靠近底孔孔底的一侧。3.根据权利要求1所述的一种真空机械臂螺纹孔的排污结构，其特征在于，所述排污槽与螺纹孔的接合处设置有倒角。4.一种权利要求1或2所述的真空机械臂螺纹孔的排污结构的加工方法，其特征在于，包括加工工装，所述加工工装包括设置于机床工作台上的工装底板，所述工装底板上设置有产品安置槽；所述工装底板上安装有用于固定产品的压板组件；还包括用于在产品上铣削加工的T型刀。5.根据权利要求4所述的真空机械臂螺纹孔的排污结构的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：对毛坯件进行开粗，加工螺纹，预留出一次加工余量，得到开粗毛坯...

【专利技术属性】
技术研发人员：何俊，祝伟生，邓礼广，廖子剑，
申请(专利权)人：浙江先导精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：