一种一体化成型的微型气相色谱柱及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种一体化成型的微型气相色谱柱及其制备方法，主要应用于气相色谱分析技术领域。所述微型气相色谱柱的内部具有微通道；所述微通道的横截面为圆形；所述微通道的长度为0.5～10m，直径为0.2～1.0mm。本发明专利技术方法制作的微型气相色谱柱可一次成型，具有低成本、高重复性、高柱效的特点，且制作方法简单可靠，可极大地促进微型气相色谱在实际中的应用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种一体化成型的微型气相色谱柱及其制备方法


[0001]本专利技术涉及气相色谱分析
，具体地说是一种一体化成型的微型气相色谱柱及其制备方法。

技术介绍

[0002]目前报道的微型气相色谱柱大都以硅片为基底材料采用微加工手段制作而成，虽然可以取得不错的分离效果，但也存在一些不足之处。首先，硅和玻璃键合制作而成的器件在有外力时易碎，由于热膨胀系数不同在快速升温和冷却后也会导致键合失败。其次，将硅片加工成器件需经历刻蚀、键合、沉积电阻、切割等过程，每个过程又涉及多个微加工手段及步骤。以刻蚀为例，需涉及制作掩膜、涂覆光刻胶、对准、曝光、显影、化学刻蚀、去除掩膜层和光刻胶层等多个步骤，时间和人力耗费巨大，且对高端光刻机、晶圆键合机、对准系统、划片机、磁控溅射仪等进口设备严重依赖，具有微加工能力的科研单位或公司很少，从而造成加工周期长、微加工费用高昂。最后，由于器件之间的重复性及深度一致性差，因此很难实现批量化生产。因此，目前报道的微型气相色谱柱都无法大量用于实际应用，急需一种制作简便、稳定可靠且成本低的微型气相色谱柱制作方法。<br/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体化成型的微型气相色谱柱，其特征在于，所述微型气相色谱柱的结构为板体结构；板体的内部具有盘管式微通道；板体两侧设有微通道进口和微通道出口，所述微通道进口和微通道出口位于斜对角方向；所述盘管式微通道由板体的中心向板体外周延伸；所述微通道的长度为0.5～10m，直径为0.2～1.0mm。2.根据权利要求1所述的微型气相色谱柱，其特征在于，所述盘管式微通道的内壁表面涂覆有固定相。3.根据权利要求1所述的微型气相色谱柱，其特征在于，所述盘管式微通道选自圆形螺旋式、方形螺旋式或蛇形中的一种。4.一种权利要求1～3任一项所述一体化成型的微型气相色谱柱的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)3D金属打印微型气相色谱柱；(2)对打印出的微型气相色谱柱进行清粉；(3)对微型气相色谱柱内部的微通道进行惰性化处理；...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯亮，孟虎，赵吉喆，李春生，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：