线切割系统及线切割机技术方案

本申请实施例提供了一种线切割系统及线切割机，线切割系统包括：线切割机构、辅助电极、进给机构和电源。线切割机构用于绕设可往复运动的切割线。辅助电极用于连接待切割棒体，且辅助电极和待切割棒体相绝缘，辅助电极和切割线电接触。辅助电极连接于进给机构，进给机构用于带动待切割棒体和辅助电极相对于切割线运动以实现对待切割棒体的切割。电源的一极连接辅助电极，电源的另一极用于连接棒体。本申请实施例解决了传统复合放电切割方案中存在的进电轮和工件之间切割线过长，导致回路电阻大，电流小，放电去除效果不佳的问题。放电去除效果不佳的问题。放电去除效果不佳的问题。

【技术实现步骤摘要】
线切割系统及线切割机


[0001]本申请涉及线切割
，具体地，涉及一种线切割系统及线切割机。

技术介绍

[0002]线切割技术是目前世界上比较先进的切割技术。它的原理是利用高速往复运动的切割线，与待切割工件(例如：磁材、蓝宝石、其他半导体硬脆材料)产生相互摩擦，从而实现对待切割工件的切割。
[0003]现有技术中提供了复合放电切割方法，其具有降低切割力、减小断线风险的优势。复合放电切割方法中，通常需要增加为金刚线供电的进电机构，进电机构通常包括进电轮，进电轮和金刚线接触。进电轮与被切割的工件之间的金刚线长度长，回路电阻较大，减小了电流，不利于增强放电去除作用。
[0004]在
技术介绍
中公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供了一种线切割系统及线切割机，以解决传统复合放电切割方案中存在的进电轮和工件之间切割线过长，导致回路电阻大，电流小，放电去除效果不佳的问题。
[0006]本申请一方面提供一种线切割系统，包括：
[0007]线切割机构，所述线切割机构用于绕设可往复运动的切割线；
[0008]辅助电极，所述辅助电极用于连接待切割棒体，且所述辅助电极和待切割棒体相绝缘；
[0009]进给机构，所述辅助电极连接于所述进给机构，所述进给机构用于带动待切割棒体和所述辅助电极相对于所述切割线运动以实现对待切割棒体的切割；
[0010]电源，所述电源的一极连接所述辅助电极，所述电源的另一极用于连接棒体。
[0011]本申请另一方面提供一种线切割机，包括多个上述的线切割系统；
[0012]所述线切割机为切片机。
[0013]本申请实施例由于采用以上技术方案，具有以下技术效果：
[0014]本申请线切割系统通过放电去除起到了辅助去除的作用，可在一定程度上提高加工效率，同时可降低切割力、从而减小金刚线张力，进而降低断线风险。本申请线切割系统实现了对多线金刚线的进电，且辅助电极可以选用不同电阻率的材料，控制放电回路电流，可控制放电在复合加工的去除作用。本申请线切割系统中辅助电极与被切割硅棒之间的金刚线长度很短，因此尽可能减小了回路电阻，增大放电电流，增强了放电去除作用。
附图说明
[0015]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申
请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0016]图1为本申请实施例提供的第一种线切割系统的示意图；
[0017]图2为本申请实施例提供的线切割系统中辅助电极和棒体的配合结构示意图；
[0018]图3为本申请实施例提供的第二种线切割系统的示意图；
[0019]图4为本申请实施例提供的第三种线切割系统的示意图；
[0020]图5为本申请实施例提供的第四种线切割系统的示意图；
[0021]图6为本申请实施例提供的第五种线切割系统的示意图。
[0022]附图标记：
[0023]1、辅助电极；11、贴合部；12、第一延伸部；13、第二延伸部；2、棒体；3、树脂板；4、切割线；5、切割辊；6、收放线辊；7、排线轮；8、张力轮；9、导向轮。
具体实施方式
[0024]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0025]本申请的技术构思是设计一种线切割系统，特点在于在棒体2上连接辅助电极1，辅助电极1和棒体2相绝缘，辅助电极1和棒体2距离近，辅助电极1与被切割棒体2之间的切割线4的长度短，减小了回路电阻，增大放电电流，增强了放电去除效果。
[0026]如图1至图6所示，本申请实施例提供一种线切割系统，用于切割棒体2(例如：磁材、蓝宝石、其他半导体硬脆材料)。该线切割系统包括线切割机构、辅助电极1、进给机构和电源。线切割机构具有可往复运动的切割线4，切割线4可以为金刚线。辅助电极1用于连接棒体2，且所述辅助电极1和棒体2相绝缘。可以在对棒体2切割之前，将辅助电极1和棒体2连接一体，使得电极和棒体2能够同步进给。进给机构连接棒体2和所述辅助电极1，所述进给机构能带动棒体2和所述辅助电极1同步靠近或远离所述切割线4。所述电源的一极连接所述辅助电极1，所述电源的另一极用于连接棒体2。在棒体2和辅助电极1接触切割线4时，形成完整的电回路，棒体2和切割线4在切割线4物理切割的基础上，由于放电火花的作用，增加了放电刻蚀去除，从而提高了加工效率，改善了切削材料的去除方式，起到了辅助去除的作用，可在一定程度上提高加工效率，同时可降低切割力，减小金刚线张力，进而降低断线风险。本申请线切割系统实现了对多线金刚线的进电，且辅助电极1可以选用不同电阻率的材料，控制放电回路电流，可控制放电在复合加工的去除作用。本申请线切割系统中辅助电极1与被切割硅棒之间的金刚线长度很短，因此尽可能减小了回路电阻，增大放电电流，增强了放电去除作用。
[0027]参见图1和图2所示，在一种可能的实施方案中，所述辅助电极1具有贴合部11和第一延伸部12，所述贴合部11和所述第一延伸部12沿进给机构的进给方向依次设置。切割线可以缠绕于若干切割辊5，在相邻两个切割辊5之间形成的线网，进给方向可以垂直于该线网所在的平面。所述贴合部11用于连接棒体2，所述第一延伸部12能沿垂直棒体2的长度方向伸出棒体2。所述辅助电极1可以呈长条形，所述辅助电极1能沿棒体2的长度方向连接于棒体2。辅助电极1的宽度大于棒体2的宽度。在辅助电极1的贴合部11和棒体2连接时，第一
延伸部12沿垂直棒体2的长度方向伸出棒体2，且该第一延伸片更靠近切割线4，在进给机构带动辅助电极1和棒体2靠近切割线4的过程中，第一延伸片先和切割线4接触，从而利于在初始切割棒体2时，辅助电极1、棒体2和切割线4即可形成完整的回路。
[0028]贴合部11和第一延伸部12可以均为片状，直接贴合于棒体2上，通过采用片状的贴合部11和第一延伸部12，结构厚度小，利于被切割线切割，减少了切割线的切割阻力。
[0029]在一种可能的实施方案中，辅助电极1具有第二延伸部13，所述第二延伸部13连接于所述贴合部11背离所述第一延伸部12的一侧，在所述贴合部11连接于棒体2的状态下，所述第二延伸部13沿垂直棒体2的方向伸出棒体2。
[0030]该实施方案中，辅助电极1远离切割线4的一侧还设置有第二延伸部13，在切割线4切割的切片将要脱离棒体时，切割线4仍然能够和辅助电极1保持电连接，即在切割线4切割棒体2的整个切割过程中，均具有放电刻蚀去除的作用，切除效果一致性好。需要注意的是，第二延伸部13也可以为片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线切割系统，其特征在于，包括：线切割机构，所述线切割机构用于绕设可往复运动的切割线；辅助电极，所述辅助电极用于连接待切割棒体，且所述辅助电极和待切割棒体相绝缘；进给机构，所述辅助电极连接于所述进给机构，所述进给机构用于带动待切割棒体和所述辅助电极相对于所述切割线运动以实现对待切割棒体的切割；电源，所述电源的一极连接所述辅助电极，所述电源的另一极用于连接棒体。2.根据权利要求1所述的线切割系统，其特征在于，所述辅助电极具有贴合部和第一延伸部；所述贴合部和所述第一延伸部沿进给机构的进给方向依次设置；所述贴合部用于连接待切割棒体，所述第一延伸部能沿垂直棒体的长度方向伸出棒体。3.根据权利要求2所述的线切割系统，其特征在于，所述贴合部和所述第一延伸部均为片状。4.根据权利要求2所述的线切割系统，其特征在于，所述辅助电极具有第二延伸部，所述第二延伸部连接于所述贴合部背离所述第一延伸部的一侧；在所述贴合部连接于棒体的状态下，所述第二延伸部沿垂直棒体的方向伸出棒体。5.根据权利要求1所述的线切割系统，其特征在于，所述辅助电极呈片状，所述辅助电极具有连接棒体的连接面。6.根据权利要求5所述的线切割系统，其特征在于，所述连接面上设置有绝缘层，所述绝缘层用于和棒体连接，所述绝缘层将辅助电极和棒体隔离。7.根据权利要求6所述的线切割系统，其特征在于，所述绝缘层为胶层。8.根据权利要求1所述的线切割系统，其特征在于，所述辅助电极呈...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛任鹏，仇健，王海超，邹英魁，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：