探测单元、探测阵列、探测阵列母板、探测器和激光雷达制造技术

一种探测单元、探测阵列、探测阵列母板、探测器和激光雷达，所述探测单元包括：感光像素，所述感光像素包括多个感光器件；微透镜阵列，所述微透镜阵列位于光入射所述感光像素的一侧，所述微透镜阵列包括多个微透镜，所述多个微透镜与所述多个感光器件一一对应；所述微透镜包括凸起部，所述凸起部的材料为无机材料。所述封装材料能够与所述微透镜表面接触，能够有效封装材料和微透镜之间无需保留空气隙，能够有效提高器件可靠性，降低封装难度；特别是针对车载设备，避免空气隙的形成有利于通过车规认证。规认证。规认证。

【技术实现步骤摘要】
探测单元、探测阵列、探测阵列母板、探测器和激光雷达


[0001]本专利技术涉及光探测领域，特别涉及一种探测单元、探测阵列、探测阵列母板、探测器和激光雷达。

技术介绍

[0002]激光雷达是一种常用的测距传感器，具有探测距离远、分辨率高、受环境干扰小等特点，广泛应用于智能机器人、无人机、无人驾驶等领域。激光雷达的工作原理是利用激光往返于雷达和目标之间所用的时间，或者调频连续光在雷达和目标之间往返所产生的频移来评估目标的距离或速度等信息。
[0003]测远性能是激光雷达的一项重要技术指标。随着SiPM、SPAD等单光子探测器件引入激光雷达，由于其更强的光子探测能力、更高的灵敏度、更低的电子噪声，使其越来越受到业内人士的青睐。
[0004]采用SiPM、SPAD等单光子探测器件的感光像素中，感光区域的面积相比于像素面积小很多，即感光区域面积相比于像素面积的填充因子很小，而只有入射到感光区域的光信号才会被有效探测。这就限制了感光像素的探测效率。为了提升探测效率，通常会在感光像素表面设置微透镜阵列，将光聚焦在感光区域。
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探测单元，其特征在于，包括：感光像素，所述感光像素包括多个感光器件；微透镜阵列，所述微透镜阵列位于光入射所述感光像素的一侧，所述微透镜阵列包括多个微透镜，所述多个微透镜与所述多个感光器件一一对应；所述微透镜包括凸起部，所述凸起部的材料为无机材料。2.如权利要求1所述的探测单元，其特征在于，所述无机材料为硅。3.如权利要求1或2所述的探测单元，其特征在于，所述微透镜阵列形成于所述感光像素的表面。4.如权利要求1所述的探测单元，其特征在于，形成所述微透镜阵列的过程包括：沉积工艺。5.如权利要求1所述的探测单元，其特征在于，所述微透镜为平面型微透镜。6.如权利要求5所述的探测单元，其特征在于，所述微透镜包括多个凸起部，所述微透镜为衍射型透镜。7.如权利要求6所述的探测单元，其特征在于，所述微透镜为菲涅尔波带片和超表面透镜中的至少一种。8.如权利要求1、5～7中任一项所述的探测单元，其特征在于，所述微透镜适宜于将光信号会聚至所对应感光器件的高电场区域。9.如权利要求8所述的探测单元，其特征在于，所述感光器件为背照式感光器件；所述感光器件具有设置电极的第一面以及与所述第一面相背的第二面；所述微透镜位于所述第二面的一侧。10.如权利要求9所述的探测单元，其特征在于，还包括：反射层，所述反射层位于所述感光器件的第一面。11.如权利要求9所述的探测单元，其特征在于，光信号依次透射所述微透镜阵列和所述感光器件后，在所述感光器件的第一面反射。12.如权利要求8所述的探测单元，其特征在于，所述感光器件为正照式感光器件；所述感光器件具有设置电极的第一面以及与所述第一面相背的第二面...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴攸，向少卿，
申请(专利权)人：上海禾赛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：