视觉检测设备、视觉检测流水线及视觉检测方法技术

本发明专利技术提供一种视觉检测设备、视觉检测流水线及视觉检测方法。视觉检测设备包括：用于拍摄待测件第一区域的第一二维相机；用于拍摄待测件第二区域的第二二维相机，第二二维相机位于第一二维相机的一侧；及用于将待测件的第二区域反射至第二二维相机以供第二二维相机拍摄的反射镜，反射镜设置于第二二维相机与待测件连线的一侧，在第一二维相机与待测件的连线方向上，反射镜位于第二二维相机与待测件之间。该视觉检测设备可以提高检测准确度，并且由于反射镜与待测件不在同一平面内以使得待测件不会遮挡其相邻待测件的第二区域经反射镜反射至第二二维相机，从而第二二维相机可同时对多个并列的待测件的第二区域进行拍摄检测。测。测。

【技术实现步骤摘要】
视觉检测设备、视觉检测流水线及视觉检测方法


[0001]本专利技术涉及光学检测装置
，具体地，涉及一种视觉检测设备、视觉检测流水线及视觉检测方法。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，半导体芯片在制造工艺后段会经历注塑、激光打字、高温固化、去溢料、电镀、切片成型等阶段，封装工序复杂繁琐，会出现外观残损、印刷错误、尺寸不合规等问题，进而造成产品质量差，并影响合格率，导致良品率降低。因此，半导体芯片需要进行外观检测以判断半导体芯片是否合格。
[0003]目前主要的外观检测方式有：基于激光测量技术的外观检测设备和基于机器视觉的视觉检测设备。与激光测量相比，视觉检测设备主要应用于半导体芯片检测，其是通过对实时抓取的图像进行分析处理，从而得到图像的各项参数，与预先设置好的检测标准进行比较计算，进而判断器件合格与否。
[0004]由于半导体芯片的封装对象通常涵盖了QFN(无引线四方扁平封装技术)、QFP(方型扁平式封装技术)、BGA(球栅阵列封装技术)等为主的多种类产品，且大小尺寸常常变化。因此，视觉检测设备需要兼顾多种类型不同大小芯片的尺寸测量和缺陷检测。
[0005]然而，目前的视觉检测设备无法实现对不同类型及大小的产品(比如封装后的半导体芯片等)进行准确的尺寸测量和缺陷检测；且现有视觉检测设备无法对多个并排的产品进行自动传送及连续的检测，即无法实现流水线式作业检测，影响检测的效率，增加生产成本；同时，现有的视觉检测设备占用空间大，不适用于小空间检测需要，且检测精度低。

技术实现思路
<br/>[0006]为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本专利技术的第一个方面，提供一种视觉检测设备，所述视觉检测设备包括：用于拍摄待测件的第一区域的第一二维相机；用于拍摄所述待测件的第二区域的第二二维相机，所述第二二维相机位于所述第一二维相机的一侧；及用于将所述待测件的第二区域反射至所述第二二维相机以供所述第二二维相机拍摄的反射镜，所述反射镜设置于所述第二二维相机与所述待测件连线的一侧，且在所述第一二维相机与所述待测件的连线方向上，所述反射镜位于所述第二二维相机与所述待测件之间。
[0007]示例性地，所述第二二维相机相对所述第一二维相机倾斜设置，所述第二二维相机的镜头朝向所述反射镜。
[0008]示例性地，所述第二二维相机的数量有多个，多个所述第二二维相机围绕所述第一二维相机的周向均匀分布，且所述反射镜设置在多个所述第二二维相机所环绕形成的圆圈的径向外侧；和/或所述反射镜的数量有多个，多个所述反射镜与多个所述第二二维相机一一对应地设置。
[0009]示例性地，在所述第一二维相机与所述待测件连线方向上，多个所述第二二维相
机相对所述待测件处于同一高度上。
[0010]示例性地，所述反射镜与水平面之间的夹角为60
°
～120
°
。
[0011]示例性地，在所述第一二维相机与所述待测件连线方向上，所述反射镜可移动的设置于所述第二二维相机与所述待测件之间；和/或所述第二二维相机可旋转的设置于所述第一二维相机的一侧，以使得所述第二二维相机镜头可对准所述反射镜。
[0012]示例性地，所述视觉检测设备还包括控制器，所述控制器用于控制移动所述反射镜和/或旋转所述第二二维相机以使得所述待测件的第二区域经所述反射镜反射至所述第二二维相机。
[0013]示例性地，所述视觉检测设备还包括用于沿预定方向传送所述待测件的传送机构，所述传送机构沿所述预定方向设有检测区，所述检测区处于所述第一二维相机与所述第二二维相机的拍摄区域内。
[0014]示例性地，所述传送机构包括：导轨组件，所述导轨组件沿所述预定方向延伸；传送载具，所述传送载具可移动的设置于所述导轨组件上，所述传送载具用于承载所述待测件；及驱动组件，所述驱动组件与所述传送载具连接，用于驱动所述传送载具沿所述导轨组件移动。
[0015]示例性地，所述传送载具包括：多个滑动部件，多个所述滑动部件沿所述导轨组件的延伸方向依次排列且每个所述滑动部件可移动的设置于所述导轨组件上；支撑部件，连接至所述滑动部件上；及吸附部件，设置于所述支撑部件上，用于吸附固定所述待测件。
[0016]示例性地，所述传送机构设有多个且相互平行设置。
[0017]示例性地，所述视觉检测设备还包括设置于所述反射镜与所述第二二维相机之间且用于对所述待测件照明的照明光源，所述第二二维相机与对应的所述反射镜之间及所述第一二维相机与所述待测件之间的光路从所述照明光源的中心孔穿过。
[0018]根据本专利技术所提供的视觉检测设备，通过第一二维相机和第二二维相机可同时拍摄待测件多个外观面的图像，进而根据所拍摄的多个外观面的图像可以对待测件进行外观检测，这样可显著提高检测的效率。并且，将第二二维相机设置在第一二维相机的一侧，通过设置的反射镜将待测件的外观面图像反射至第二二维相机内，这样，第二二维相机可处于反射镜的内侧且可与第一二维相机紧凑设置，反射镜布设所需占用空间小，从而可以缩小设备整体的体积，可适用于小空间检测需要。此外，这样的设置，反射镜设置在第二二维相机与待测件之间且处于第二二维相机与待测件连线的一侧，反射光线路径简单，可以提高检测准确度；并且由于反射镜与待测件不在同一平面内，使得反射镜与待测件之间存在高度差，所以如果第一二维相机与第二二维相机的拍摄区域内有多个待测件时，反射镜也可同时将并排的多个待测件的外观面反射至第二二维相机，从而可同时对多个待测件的外观面同时进行拍摄检测，进而显著提高检测效率。进一步，由于反射镜设置的位置与待测件存在高度差，那么待测件在进入拍摄位置和移出拍摄位置的过程中，视觉检测设备不会对待测件形成干涉，这样，就可以为将该视觉检测设备应用于待测件的流水线上提供了硬件基础。
[0019]根据本专利技术的第二个方面，提供一种视觉检测流水线，包括：视觉检测设备，以及流水线控制设备。流水线控制设备连接至第一二维相机、第二二维相机和传送机构，用于控制第一二维相机和第二二维相机对传送机构传送的待测件进行拍摄。
[0020]根据本专利技术的第三个方面，提供一种视觉检测方法，用于使用视觉检测流水线对多个待测件进行连续的多次拍摄检测作业，其中，在每次拍摄检测作业时，执行如下步骤：控制传送机构将待拍摄检测的至少一个待测件传送至检测区并停留在检测区；控制第一二维相机和第二二维相机对至少一个待测件进行拍摄，得到至少一个待测件的多个区域的图像；根据至少一个待测件的多个区域的图像进行处理。
[0021]示例性的，在控制所述传送机构将待拍摄检测的至少一个待测件传送至所述检测区并停留在所述检测区之后，还包括：移动所述反射镜和/或旋转所述第二二维相机，使得待拍摄检测的所述至少一个待测件的第二区域经反射镜反射至第二二维相机。
[0022]在
技术实现思路
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种视觉检测设备，其特征在于，所述视觉检测设备包括：用于拍摄待测件的第一区域的第一二维相机；用于拍摄所述待测件的第二区域的第二二维相机，所述第二二维相机位于所述第一二维相机的一侧；及用于将所述待测件的第二区域反射至所述第二二维相机以供所述第二二维相机拍摄的反射镜，所述反射镜设置于所述第二二维相机与所述待测件连线的一侧，且在所述第一二维相机与所述待测件的连线方向上，所述反射镜位于所述第二二维相机与所述待测件之间。2.根据权利要求1所述的视觉检测设备，其特征在于，所述第二二维相机相对所述第一二维相机倾斜设置，所述第二二维相机的镜头朝向所述反射镜。3.根据权利要求1所述的视觉检测设备，其特征在于，所述第二二维相机的数量有多个，多个所述第二二维相机围绕所述第一二维相机的周向均匀分布，且所述反射镜设置在多个所述第二二维相机所环绕形成的圆圈的径向外侧；和/或所述反射镜的数量有多个，多个所述反射镜与多个所述第二二维相机一一对应地设置。4.根据权利要求2所述的视觉检测设备，其特征在于，在所述第一二维相机与所述待测件连线方向上，多个所述第二二维相机相对所述待测件处于同一高度上。5.根据权利要求1所述的视觉检测设备，其特征在于，所述反射镜与水平面之间的夹角为60
°
～120
°
。6.根据权利要求1所述的视觉检测设备，其特征在于，在所述第一二维相机与所述待测件连线方向上，所述反射镜可移动的设置于所述第二二维相机与所述待测件之间；和/或所述第二二维相机可旋转的设置于所述第一二维相机的一侧，以使得所述第二二维相机镜头可对准所述反射镜。7.根据权利要求6所述的视觉检测设备，其特征在于，所述视觉检测设备还包括控制器，所述控制器用于控制移动所述反射镜和/或旋转所述第二二维相机以使得所述待测件的第二区域经所述反射镜反射至所述第二二维相机。8.根据权利要求7所述的视觉检测设备，其特征在于，所述视觉检测设备还包括用于沿预定方向传送所述待测件的传送机构，所述传送机构沿所述预定方向设有检测区，所述检测区处于所述第一二维相机与所述第二二维相机的拍摄区域内。9.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩，马传为，李伟，王天寅，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：