一种保护螺丝用螺母制造技术

本实用新型专利技术公开了一种保护螺丝用螺母，属于镀膜辅助结构技术领域，解决了现有的镀膜设备内衬板上的螺丝容易被镀上金属的技术问题。一种保护螺丝用螺母，包括螺母本体和挡片，螺母本体上设置有内螺纹孔，挡片设置于螺母本体的一端以遮挡内螺纹孔的一端。本申请能够减少了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。

【技术实现步骤摘要】
一种保护螺丝用螺母


[0001]本技术属于镀膜辅助结构
，尤其涉及一种保护螺丝用螺母。

技术介绍

[0002]化合物半导体领域利用晶圆片制作金属电极，镀膜设备进行金属电极生产作业时，镀膜设备腔室内的衬板会被镀上金属薄膜，衬板通过螺丝螺母固定在镀膜设备内，如图1所示，满产条件下螺丝顶端的螺纹容易被镀上金属，导致在维护保养衬板时螺丝拆卸困难易滑丝，进而造成维护时间过长影响产能。

技术实现思路

[0003]本申请旨在至少能够在一定程度上解决现有的镀膜设备内衬板上的螺丝容易被镀上金属的技术问题，为此，本申请提供了一种保护螺丝用螺母。
[0004]本申请的技术方案如下：
[0005]一种保护螺丝用螺母，包括螺母本体和挡片，所述螺母本体上设置有内螺纹孔，所述螺母本体呈棱柱状，所述螺母本体的轴线与套筒内螺纹孔的轴线位于同一直线上；所述螺母本体的侧壁设置有至少两个弧形凹槽，至少两个弧形凹槽间隔设置；所述挡片设置于所述螺母本体的一端以遮挡内螺纹孔的一端。
[0006]在一些实施方式中，所述螺母本体呈六棱柱状。
[0007]在一些实施方式中，所述弧形凹槽的边缘不与螺母本体的棱线相接。
[0008]在一些实施方式中，所述螺母的顶面设置有两个相互平行的滑槽，两个所述滑槽的分别位于内螺纹孔的两侧，所述挡片底端设置有两个滑块，两个所述滑块分别与一个所述滑槽滑动配合。
[0009]在一些实施方式中，所述滑槽为半通槽。
[0010]在一些实施方式中，所述滑块呈圆柱状，所述滑块的轴线平行于内螺纹的轴线。
[0011]在一些实施方式中，所述挡片还包括延长部，所述延长部呈筒状，所述延长部的内径不小于所述内螺纹孔的内径，两个所述滑块设置于所述延长部的底端。
[0012]在一些实施方式中，所述螺母本体与所述挡片一体成型。
[0013]本申请实施例至少具有如下有益效果：
[0014]由上述技术方案可知，本申请公开的螺母通过设置挡片避免螺丝的顶端的螺纹被喷涂上金属薄膜，进而避免金属薄膜增加螺丝顶端直径导致螺母取出困难、耗时长甚至加速螺母滑丝的问题，减少了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可
以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0016]图1示出了
技术介绍
中现有螺母的使用示意图；
[0017]图2示出了本申请实施例中螺母的结构及安装示意图；
[0018]图3示出了本申请实施例中螺母的一种结构示意图；
[0019]图4示出了图3中的螺母本体的俯视结构示意图；
[0020]图5示出了本申请实施例中螺母的另一种结构示意图；
[0021]图中标记：1
‑
螺母本体，11
‑
内螺纹孔，12
‑
滑槽，13
‑
弧形凹槽，2
‑
挡片，21
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滑块，22
‑
延长部，3
‑
螺丝，4
‑
衬板。
具体实施方式
[0022]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
[0024]图1示出了
技术介绍
中现有螺母的使用示意图；图2示出了本申请实施例中螺母的结构及安装示意图；图3示出了本申请实施例中螺母的一种结构示意图；
[0025]图4示出了图3中的螺母本体的俯视结构示意图；图5示出了本申请实施例中螺母的另一种结构示意图。
[0026]下面结合附图并参考具体实施例描述本申请：
[0027]如图2所示，本实施例提供了一种保护螺丝用螺母，包括螺母本体1和挡片2，螺母本体1上设置有内螺纹孔11，内螺纹孔11用于与螺丝3的一端配合，挡片2设置于螺母本体1的一端以遮挡内螺纹孔11的一端。具体来说，在使用镀膜设备制作金属电极时，镀膜设备上竖直设置有多个螺丝3，待镀膜的衬板4上设置有与螺丝3匹配的通孔，将衬板4放置在设备上后，通过螺母将衬板4锁紧在镀膜设备上，一般来说，衬板4与螺母之间还设置有垫片，垫片的直径大于螺母本体1的直径，此时螺丝3超出衬板4顶面的高度小于螺母本体1的内螺纹孔11的长度，以使得挡片2能够遮挡螺丝3的顶端，避免螺丝3的顶端的螺纹被喷涂上金属薄膜，进而避免金属薄膜增加螺丝3顶端直径导致螺母取出困难、耗时长甚至加速螺母滑丝的问题，减少了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。
[0028]作为一种实施方式，螺母本体1呈棱柱状，螺母本体1的轴线与套筒内螺纹孔11的轴线位于同一直线上，以便于拧紧或拧松螺母。更进一步的，参照图2
‑
图4，螺母本体1呈六棱柱状。
[0029]考虑到镀膜设备上的空间较小，不方便使用扳手等工具，由此螺母本体1的侧壁设置有至少两个弧形凹槽13，弧形凹槽13的槽底的形状可以为球面的一部分，可以为圆柱的侧壁的一部分，以便于作业人员的指尖握持螺母本体1，至少两个弧形凹槽13间隔设置，使得作业人员的拇指、食指和/或中指配合捏紧螺母本体1，便于作业人员拧紧或拧松螺母，进
行快速调整。
[0030]更进一步的，参照图4，弧形凹槽13的边缘不与螺母本体1的棱线相接，即螺母本体1的每个侧壁均具有平面部分，在方便手动拧紧或拧松螺母本体1的同时，不影响扳手对螺母本体1进行作业。
[0031]镀膜设备在对不同厚度的衬板4进行镀膜作业时，镀膜设备上的螺丝3的顶端与衬板4顶面之间的高度差不同，由此可令螺母本体1的高度较大，以适配大部分衬板4的厚度。参照图2，螺母本体1与挡片2一体成型，以提高使用效率。
[0032]作为另一种可以实施的方式，参照图3和图4，螺母的顶面设置有两个相互平行的滑槽12，两个滑槽12的分别位于内螺纹孔11的两侧，挡片2底端设置有两个滑块21，两个滑块21分别与一个滑槽12滑动配合，即本申请中的螺母本体1可作为普通螺母使用，螺丝3有被保护需求时，将挡片2设置于螺母本体1上即可。
[0033]更进一步的，参照图4，滑槽12为半通槽，当滑块21与半通槽的一端相抵时，挡片2可恰好遮挡内螺纹孔11，便于作业人员作业，提高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保护螺丝用螺母，其特征在于，包括螺母本体和挡片，所述螺母本体上设置有内螺纹孔，所述螺母本体呈棱柱状，所述螺母本体的轴线与套筒内螺纹孔的轴线位于同一直线上；所述螺母本体的侧壁设置有至少两个弧形凹槽，至少两个弧形凹槽间隔设置；所述挡片设置于所述螺母本体的一端以遮挡内螺纹孔的一端。2.根据权利要求1所述的保护螺丝用螺母，其特征在于，所述螺母本体呈六棱柱状。3.根据权利要求1所述的保护螺丝用螺母，其特征在于，所述弧形凹槽的边缘不与螺母本体的棱线相接。4.根据权利要求1所述的保护螺丝用螺母，其特征在于，所述螺母的顶面设置有两个相互平行的滑槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘德超，逯卓野，彭运虎，王政奥，胡韵爽，徐马记，贺慧婷，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：