一种多级罗茨真空泵及其工作方法技术

本发明专利技术涉及一种多级罗茨真空泵及其工作方法。所述多级罗茨真空泵包括泵壳、第一转子、第二转子；所述泵壳包括上壳体、下壳体，所述上壳体、下壳体内设置气流通道；所述第一转子、第二转子分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述第一转子、第二转子的旋转轴的轴线互相平行设置；所述第一转子、第二转子分别包括多级转子，多级转子在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列；所述第一转子、第二转子的多级转子垂直于旋转轴线的剖面呈8字叶形轮廓和/或四叶形轮廓和/或五叶形轮廓。廓和/或五叶形轮廓。廓和/或五叶形轮廓。

【技术实现步骤摘要】
一种多级罗茨真空泵及其工作方法


[0001]本专利技术涉及真空泵
，尤其涉及一种多级罗茨真空泵及其工作方法。

技术介绍

[0002]罗茨真空泵是一种旋转容积式真空泵，能在较宽的压力范围内工作，且泵腔内无油，目前已广泛应用于半导体、电子、石油、化工等行业的真空系统。罗茨真空泵是一种双转子压缩机械，两转子的轴线互相平行。转子由叶轮与轴组合而成，叶轮之间、叶轮与机壳及墙板之间具有微小间隙，以避免相互接触。两转子由原动机通过一对同步齿轮驱动，作方向相反的等速旋转。借助于两叶轮的相互啃合，真空泵进、排气口不直接相通，叶轮与机壳及墙板围成封闭的基元容积，其大小在旋转过程中不发生变化。传统形式下，气体的压缩是在基元容积与排气口连通的一瞬间，由高压气体向基元容积回流均压而实现的。
[0003]现有技术CN103089647A公开了一种多级干式真空泵，包括多级缸体，成对转子容纳在缸体内部容纳空间内并彼此啮合地转动。传统的多级罗茨泵所采用的转子结构大多为两叶的八字形转子或三叶的Y型转子进行叠加，这类少叶转子可以有效降低整泵重量，减少转轴的支撑重量，但本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述多级罗茨真空泵包括：泵壳、第一转子（3）、第二转子（4）；所述泵壳包括上壳体（1）、下壳体（2），所述上壳体（1）、下壳体（2）内设置气流通道（5）；所述第一转子（3）、第二转子（4）分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述第一转子（3）、第二转子（4）的旋转轴的轴线互相平行设置；所述第一转子（3）、第二转子（4）分别包括多级转子，多级转子在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列；所述第一转子（3）、第二转子（4）的多级转子垂直于旋转轴线的剖面呈8字叶形轮廓和/或四叶形轮廓和/或五叶形轮廓。2.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述泵壳包括与多级转子对应的多级工作腔，所述多级工作腔在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列；所述第一转子（3）、第二转子（4）旋转时，每级一个转子的远离该级另一转子的叶顶端与所述泵壳的内侧壁形成密封。3.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述第一转子（3）、第二转子（4）、上壳体（1）、下壳体（2）的材质为高镍合金材料，所述上壳体（1）、下壳体（2）彼此之间通过法兰盘和螺栓固定连接。4.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述第一转子（3）、第二转子（4）的每级转子延所述旋转轴线方向的轴向长度逐级递减；所述上壳体（1）、下壳体（2）中用于放置所述第一转子（3）、第二转子（4）的多级转子的多级工作腔容积逐级递减。5.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述上壳体（1）的上方侧壁开设有进气口（6），所述下壳体（2）的下方侧壁开设有排气口（7）；所述进气口（6）的开口面积大于或等于所述排气口（7）的开口面积；所述进气口（6）设置在第一级转子上方，所述排气口（7）设置在最后一级转子下方。6.根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述第一转子（3）、第二转子（4）分别包括七级多级转子，即第一级转子（14）、第二级转子（15）、第三级转子（16）、第四级转子（17）、第五级转子（18）、第六级转子（19）、第七级转子（20）；...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷晓波，雷晓宏，张建华，浮强，魏强，
申请(专利权)人：北京通嘉宏瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：