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一种多级罗茨真空泵及其工作方法技术
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文档序号:37856631
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本发明涉及一种多级罗茨真空泵及其工作方法。所述多级罗茨真空泵包括泵壳、第一转子、第二转子;所述泵壳包括上壳体、下壳体,所述上壳体、下壳体内设置气流通道;所述第一转子、第二转子分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转,所述第一转子、第二转子的旋转轴的...
该专利属于北京通嘉宏瑞科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京通嘉宏瑞科技有限公司授权不得商用。
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