一种刀具的豁口检测方法、装置、设备及可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种刀具的豁口检测方法、装置、设备及可读存储介质，应用于缺陷检测技术领域。通过使用光电传感器对旋转的刀具的刀刃进行实时检测，其中刀具的刀刃至少遮挡光电传感器的部分检测光路，实时获取光电传感器输出的刀具检测信号。利用检测光路未被刀具遮挡的光通量与光电传感器输出的刀具检测信号正相关的特性，以刀具旋转的一周所对应时间为周期，在每个周期内刀具检测信号波形中查找最大极值点和最小极值点，最终根据最大极值点和最小极值点之间连线的斜率，确定刀具是否存在豁口。由此可见，本发明专利技术能够通过光电传感器对旋转工作状态下的刀具进行实时豁口检测，可以快速判断出刀具是否存在豁口，提高了刀具破损豁口检测结果的准确性。口检测结果的准确性。口检测结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种刀具的豁口检测方法、装置、设备及可读存储介质


[0001]本专利技术涉及缺陷检测
，特别是涉及一种刀具的豁口检测方法、装置、设备及可读存储介质。

技术介绍

[0002]划片机是晶圆加工时使用的重要切割设备，在对晶圆进行精密切割时，由于工件表面有杂质或者本身材质不均匀，可能导致在划片过程中会出现破损豁口，而刀具一旦出现破损豁口将严重影响切割质量和切割安全。
[0003]所以，为了提高切割品质，有必要在切割时实时进行刀片破损豁口的检测。但目前存在着刀具破损豁口检测结果不准确的问题。

技术实现思路

[0004]基于上述问题，本专利技术提供了一种刀具的豁口检测方法、装置、设备及可读存储介质，旨在提高刀具破损豁口检测结果的准确性。
[0005]本专利技术实施例公开了如下技术方案：
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种刀具的豁口检测方法，所述方法包括：
[0007]在刀具的旋转过程中，获取所述光电传感器输出的刀具检测信号，其中，所述刀具的刀刃至少遮挡所述光电传感器的部分检测光路，且所述检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刀具的豁口检测方法，其特征在于，所述方法包括：在刀具的旋转过程中，获取所述光电传感器输出的刀具检测信号，其中，所述刀具的刀刃至少遮挡所述光电传感器的部分检测光路，且所述检测光路未被所述刀具遮挡的光通量与所述光电传感器输出的所述刀具检测信号正相关；以所述刀具旋转的一周所对应时间为周期，在每个周期内刀具检测信号的波形中查找最大极值点和最小极值点；根据所述最大极值点和所述最小极值点之间连线的斜率，确定所述刀具是否存在豁口。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述最大极值点和所述最小极值点之间连线的斜率，确定所述刀具是否存在豁口，包括：若所述每个周期中一个周期内查找到的所述最大极值点与所述最小极值点之间连线的斜率大于预设斜率阈值，则确定所述刀具存在豁口。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光电传感器包括光发射单元和光接收单元，所述光发射单元朝向所述光接收单元发射检测光以形成所述检测光路，并且，所述获取光电传感器输出的刀具检测信号，包括：所述光接收单元将其从光发射单元所接收到的光信号转换为电信号；将所述电信号转换为数字信号，得到所述刀具检测信号。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将所述电信号转换为数字信号，得到所述刀具检测信号，包括：将所述电信号转化为数字信号；对所述数字信号进行滑动滤波处理；对所述滑动滤波处理后的数字信号进行采样，得到所述刀具检测信号。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在每个周期内刀具检测信号的波形中查找最大极值点和最小极值点，包括：在每个周期内刀具检测信号的波形中，查找上升沿和/或下降沿；在所述上升沿和/或所述下降沿查找所述最大极值点和所述最小极值点。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述在每个周期内刀具检测信号的波形中，查找上升沿和/或下降沿，包括：建立信号滑动窗口，所述信号滑动窗口的时间宽度覆盖三个连续信号点；控制所述信号滑动窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱时成，蒯多杰，朱良辰，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：