炉体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种炉体结构，炉体结构包括保温层、炉体、支撑组件和炉丝，支撑组件包括支撑件，且支撑件沿炉体的轴向方向延伸，支撑件连接与炉体连接，该连接为可拆卸连接，炉丝设置于支撑件上。该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连接，炉丝损坏时不需要更换整段炉体，只需要将支撑件从炉体上拆下然后更换炉丝即可，提升了更换效率和维修效率。提升了更换效率和维修效率。提升了更换效率和维修效率。

【技术实现步骤摘要】
炉体结构


[0001]本技术涉及高温热炉设备
，尤其涉及一种炉体结构。

技术介绍

[0002]高温热炉是半导体制造
的常用设备，目前的高温热炉一般采用通电炉丝2
’
在高温热炉的炉体内形成高温热场，为了确保高温热场的稳定性，如图1所示，高温热炉的炉体通常具有保温层1
’
，而炉丝2
’
安装在保温层1
’
上的安装槽11
’
内。在实际生产制造中，一般用吸覆成形技术，把炉丝2
’
与保温层1
’
做成一个整体，这种结构需要将制造保温层1
’
的模具覆盖在炉丝2
’
上并且固定，此固定的时间相当长，很浪费时间，降低了炉体结构的组装效率，并且当炉丝2
’
损坏后，由于保温层1
’
和炉丝2
’
为一体式结构，很难更换炉丝2
’
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种炉体结构，该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉体结构，包括保温层和炉体(1)，其特征在于，还包括：支撑组件(2)，所述支撑组件(2)包括支撑件(21)，且所述支撑件(21)沿所述炉体(1)的轴向方向延伸，所述支撑件(21)与所述炉体(1)连接，所述连接为可拆卸连接；炉丝(3)，所述炉丝(3)设置于所述支撑件(21)上。2.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述炉丝(3)为多个，多个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向设置在所述炉体(1)内，每个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置；或者多个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向设置，每个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向设置。3.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(2)还包括至少两个沿所述炉体(1)轴向设置的固定件(22)，所述固定件(22)上设有与所述支撑件(21)配合的固定部(221)。4.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，至少一个所述固定件(22)为与所述炉体(1)相连的法兰盘，所述固定部(221)为所述法兰盘上的固定孔。5.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑件(21)为绝缘杆，所述绝缘杆的端部与所述固定件(22)相连，所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置且所述炉丝(3)套设于所述绝缘杆上。6.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑件(21)包括支撑杆(211)和支撑卡块(212)，所述支撑杆(211)与所述炉体(1)上安装孔(12)配合，所述支撑卡块(212)与所述支撑杆(211)相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭永胜，庞爱锁，刘群，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：