尘埃粒子检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种尘埃粒子检测设备，应用于被测设备，被测设备的内部空间或被测设备的外部空间构成被测量空间，粒子检测设备包括尘埃粒子检测仪和多个采样仪，多个采样仪间隔分布在被测量空间中，且多个采样仪均设置有与被测量空间连通的采样腔，各采样腔分别用于采集被测量空间中的空气，尘埃粒子检测仪设置于被测量空间中，且尘埃粒子检测仪分别管道连接于多个采样仪，尘埃粒子检测仪用于检测各采样腔采集的空气中的尘埃粒子。本实用新型专利技术实施例提供的尘埃粒子检测设备，能够对不同位置空气中的尘埃粒子进行取样检测，以获得准确的检测结果，提高检测结果的准确性。提高检测结果的准确性。提高检测结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
尘埃粒子检测设备


[0001]本技术涉及尘埃粒子检测
，尤其涉及一种尘埃粒子检测设备。

技术介绍

[0002]尘埃粒子检测仪又称尘埃粒子计数器，尘埃粒子计数器是用于测量洁净空间中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。它可广泛应用于屏幕贴合、保护膜贴合、半导体封装、精密点胶等行业。
[0003]传统的尘埃粒子检测仪的固定架通常较为固定，当尘埃粒子检测仪在洁净空间中的放置安装完成后，尘埃粒子检测仪在洁净空间中的位置相对固定，使得尘埃粒子检测仪通常只能对其附近空气中的尘埃进行取样检测，而无法对离尘埃粒子检测仪较远的其他不同位置空气中的尘埃进行取样检测，即，传统的尘埃粒子检测仪通常只能实现局部取样检测，这样容易导致检测结果不准确，检测结果的准确性较低。

技术实现思路

[0004]本技术实施例公开了一种尘埃粒子检测设备，能够对不同位置空气中的尘埃粒子进行取样检测，以获得准确的检测结果，提高检测结果的准确性。
[0005]为了实现上述目的，本技术公开了一种尘埃粒子检测设备，应用于被测设备，所述被测设备的内部空间或所述被测设备的外部空间构成被测量空间，所述尘埃粒子检测设备包括：
[0006]多个采样仪，多个所述采样仪彼此间隔分布在所述被测量空间中，且多个所述采样仪均设置有与所述被测量空间连通的采样腔，各所述采样腔分别用于采集所述被测量空间中的空气；以及
[0007]尘埃粒子检测仪，所述尘埃粒子检测仪设置于所述被测量空间中，且所述尘埃粒子检测仪分别通过管道连接于多个所述采样仪，所述尘埃粒子检测仪用于检测各所述采样腔采集的所述空气中的尘埃粒子。
[0008]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，多个所述采样仪沿竖直方向依次排列，或者，多个所述采样仪分布在同一个水平面上，或者，多个所述采样仪中的部分所述采样仪沿竖直方向依次排列，多个所述采样仪中的另一部分所述采样仪分布在同一个水平面上。
[0009]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，当多个所述采样仪分布在同一个所述水平面上时，多个所述采样仪中的一个所述采样仪位于所述被测量空间的中部，多个所述采样仪中的剩余其他所述采样仪环绕分布在位于所述被测量空间的中部的所述采样仪的外周。
[0010]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，当多个所述采样仪分布在同一个所述水平面上时，所述被测设备的所述内部空间构成所述被测量空间，所述被测量空间被垂直于所述竖直方向的平面所截得的截面为矩形截面，所述矩形截面具有四个边
角；
[0011]所述采样仪为五个，五个所述采样仪中的一个所述采样仪位于所述被测量空间的中部，五个所述采样仪中的剩余四个所述采样仪分别位于所述四个边角处。
[0012]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，所述尘埃粒子检测仪具有相对的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面凸设有多个凸柱，各所述凸柱均设有贯通的导入口，各所述凸柱均用于所述供管道套设，多个所述导入口分别与多个所述采样腔一一对应，且所述导入口和所述采样腔通过所述管道连通，所述第二侧面凸设有控制开关和信号线接头，所述控制开关用于控制所述尘埃粒子检测仪启动或关闭，所述信号线接头用于实现所述尘埃粒子检测仪的外部电连接。
[0013]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，所述尘埃粒子检测仪为长方体结构，所述尘埃粒子检测仪还包括相对的第三侧面和第四侧面，所述第一侧面、所述第三侧面、所述第二侧面以及所述第四侧面沿着所述尘埃粒子检测仪的周向依次连接，且所述第一侧面的面积大于所述第三侧面的面积；
[0014]各所述凸柱的形状均为圆柱状，多个所述凸柱沿所述尘埃粒子检测仪的周向依次间隔排列在所述第一侧面上。
[0015]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，所述尘埃粒子检测设备还包括显示控制装置，所述显示控制装置设置于所述被测量空间内或所述被测量空间外，所述显示控制装置与所述尘埃粒子检测仪电连接；
[0016]所述尘埃粒子检测仪用于获取所述采样腔采集的所述空气的光信号并根据所述光信号生成承载有粒子数和/或粒径的电信号，所述显示控制装置用于接收所述电信号并根据所述电信号显示出所述粒子数和/或所述粒径。
[0017]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，所述显示控制装置包括第一控制器、显示器和警报器，所述第一控制器分别与所述尘埃粒子检测仪、所述显示器和所述警报器电连接；
[0018]所述第一控制器用于接收所述电信号并根据所述电信号控制所述显示器显示出所述粒子数和/或所述粒径，所述第一控制器还用于当所述粒子数和/或所述粒径超过设定值时控制所述警报器发出报警信号。
[0019]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，所述尘埃粒子检测设备还包括第二控制器，所述第二控制器设置于所述被测量空间内或所述被测量空间外，所述第二控制器分别与所述尘埃粒子检测仪、所述显示控制装置和所述被测设备电连接；
[0020]所述第二控制器用于接收来自所述尘埃粒子检测仪发送的所述电信号，并用于将所述电信号发送至所述显示控制装置，所述第二控制器还用于当所述粒子数和/或所述粒径超过所述设定值时控制所述被测设备和所述尘埃粒子检测仪关闭。
[0021]作为一种可选的实施方式，在本技术的实施例中，所述尘埃粒子检测设备还包括远程终端，所述远程终端通过无线网路与所述第二控制器通信连接，所述远程终端用于接收来自所述第二控制器发送的所述电信号，并根据所述电信号存储所述尘埃粒子检测仪每次所检测到的所述粒子数和/或所述粒径。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0023]本技术实施例提供的尘埃粒子检测设备，通过设置多个采样仪，并将多个采
样仪彼此间隔分布在被测量空间中，以使各个采样仪的采样腔可以对被测量空间中的不同位置空气中的尘埃粒子进行取样，从而使得尘埃粒子检测仪可以对被测量空间中的不同位置空气中的尘埃粒子进行检测，以获得准确的检测结果，提高检测结果的准确性。
[0024]进一步地，当本申请采用被测设备的内部空间构成被测量空间的方式时，尘埃粒子检测仪和多个采样仪设置于被测设备的内部空间内，能够对被测设备的内部空间的粒子进行检测，从而能够实时监控到被测设备的内部空间中的粒子，以确保产品的良率，提高生产效率和降低生产成本。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本技术实施例公开的安装在被测设备内的尘埃粒子检测设备的结构示意图；
[0027]图2是本技术实施例公开的多个采样仪沿竖直方向依次排列时的尘埃粒子检测设备的结构示意图；
[0028本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尘埃粒子检测设备，应用于被测设备，所述被测设备的内部空间或所述被测设备的外部空间构成被测量空间，其特征在于，所述尘埃粒子检测设备包括：多个采样仪，多个所述采样仪彼此间隔分布在所述被测量空间中，且多个所述采样仪均设置有与所述被测量空间连通的采样腔，各所述采样腔分别用于采集所述被测量空间中的空气；以及尘埃粒子检测仪，所述尘埃粒子检测仪设置于所述被测量空间中，且所述尘埃粒子检测仪分别通过管道连接于多个所述采样仪，所述尘埃粒子检测仪用于检测各所述采样腔采集的所述空气中的尘埃粒子。2.根据权利要求1所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，多个所述采样仪沿竖直方向依次排列，或者，多个所述采样仪分布在同一个水平面上，或者，多个所述采样仪中的部分所述采样仪沿竖直方向依次排列，多个所述采样仪中的另一部分所述采样仪分布在同一个水平面上。3.根据权利要求2所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，当多个所述采样仪分布在同一个所述水平面上时，多个所述采样仪中的一个所述采样仪位于所述被测量空间的中部，多个所述采样仪中的剩余其他所述采样仪环绕分布在位于所述被测量空间的中部的所述采样仪的外周。4.根据权利要求2所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，当多个所述采样仪分布在同一个所述水平面上时，所述被测设备的所述内部空间构成所述被测量空间，所述被测量空间被垂直于所述竖直方向的平面所截得的截面为矩形截面，所述矩形截面具有四个边角；所述采样仪为五个，五个所述采样仪中的一个所述采样仪位于所述被测量空间的中部，五个所述采样仪中的剩余四个所述采样仪分别位于四个所述边角处。5.根据权利要求1所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，所述尘埃粒子检测仪具有相对的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面凸设有多个凸柱，各所述凸柱均设有贯通的导入口，各所述凸柱均用于供所述管道套设，多个所述导入口分别与多个所述采样腔一一对应，且所述导入口和所述采样腔通过所述管道连通，所述第二侧面凸设有控制开关和信号线接头，所述控制开关用于控制所述尘埃粒子检测仪启动或关闭，所述信号线接头用于实现所述尘埃粒子检测仪的外部电连接。6.根据权利要求5所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张友基，银伟吉，刘瑶林，
申请(专利权)人：惠州深科达智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：