尘埃粒子检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种尘埃粒子检测设备，应用于被测设备，被测设备的内部空间或被测设备的外部空间构成被测量空间，粒子检测设备包括尘埃粒子检测仪和多个采样仪，多个采样仪间隔分布在被测量空间中，且多个采样仪均设置有与被测量空间连通的采样腔，各采样腔分别用于采集被测量空间中的空气，尘埃粒子检测仪设置于被测量空间中，且尘埃粒子检测仪分别管道连接于多个采样仪，尘埃粒子检测仪用于检测各采样腔采集的空气中的尘埃粒子。本实用新型专利技术实施例提供的尘埃粒子检测设备，能够对不同位置空气中的尘埃粒子进行取样检测，以获得准确的检测结果，提高检测结果的准确性。提高检测结果的准确性。提高检测结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
尘埃粒子检测设备


[0001]本技术涉及尘埃粒子检测
，尤其涉及一种尘埃粒子检测设备。

技术介绍

[0002]尘埃粒子检测仪又称尘埃粒子计数器，尘埃粒子计数器是用于测量洁净空间中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。它可广泛应用于屏幕贴合、保护膜贴合、半导体封装、精密点胶等行业。
[0003]传统的尘埃粒子检测仪的固定架通常较为固定，当尘埃粒子检测仪在洁净空间中的放置安装完成后，尘埃粒子检测仪在洁净空间中的位置相对固定，使得尘埃粒子检测仪通常只能对其附近空气中的尘埃进行取样检测，而无法对离尘埃粒子检测仪较远的其他不同位置空气中的尘埃进行取样检测，即，传统的尘埃粒子检测仪通常只能实现局部取样检测，这样容易导致检测结果不准确，检测结果的准确性较低。

技术实现思路

[0004]本技术实施例公开了一种尘埃粒子检测设备，能够对不同位置空气中的尘埃粒子进行取样检测，以获得准确的检测结果，提高检测结果的准确性。
[0005]为了实现上述目的，本技术公开了一种尘埃粒子检测设备，应用于被测设备，所述被测设备的内部空间或所述被测设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尘埃粒子检测设备，应用于被测设备，所述被测设备的内部空间或所述被测设备的外部空间构成被测量空间，其特征在于，所述尘埃粒子检测设备包括：多个采样仪，多个所述采样仪彼此间隔分布在所述被测量空间中，且多个所述采样仪均设置有与所述被测量空间连通的采样腔，各所述采样腔分别用于采集所述被测量空间中的空气；以及尘埃粒子检测仪，所述尘埃粒子检测仪设置于所述被测量空间中，且所述尘埃粒子检测仪分别通过管道连接于多个所述采样仪，所述尘埃粒子检测仪用于检测各所述采样腔采集的所述空气中的尘埃粒子。2.根据权利要求1所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，多个所述采样仪沿竖直方向依次排列，或者，多个所述采样仪分布在同一个水平面上，或者，多个所述采样仪中的部分所述采样仪沿竖直方向依次排列，多个所述采样仪中的另一部分所述采样仪分布在同一个水平面上。3.根据权利要求2所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，当多个所述采样仪分布在同一个所述水平面上时，多个所述采样仪中的一个所述采样仪位于所述被测量空间的中部，多个所述采样仪中的剩余其他所述采样仪环绕分布在位于所述被测量空间的中部的所述采样仪的外周。4.根据权利要求2所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，当多个所述采样仪分布在同一个所述水平面上时，所述被测设备的所述内部空间构成所述被测量空间，所述被测量空间被垂直于所述竖直方向的平面所截得的截面为矩形截面，所述矩形截面具有四个边角；所述采样仪为五个，五个所述采样仪中的一个所述采样仪位于所述被测量空间的中部，五个所述采样仪中的剩余四个所述采样仪分别位于四个所述边角处。5.根据权利要求1所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，所述尘埃粒子检测仪具有相对的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面凸设有多个凸柱，各所述凸柱均设有贯通的导入口，各所述凸柱均用于供所述管道套设，多个所述导入口分别与多个所述采样腔一一对应，且所述导入口和所述采样腔通过所述管道连通，所述第二侧面凸设有控制开关和信号线接头，所述控制开关用于控制所述尘埃粒子检测仪启动或关闭，所述信号线接头用于实现所述尘埃粒子检测仪的外部电连接。6.根据权利要求5所述的尘埃粒子检测设备，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张友基，银伟吉，刘瑶林，
申请(专利权)人：惠州深科达智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：