一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备，属于光伏直拉单晶硅技术领域。主要包括底座、旋转平台、石英坩埚、支架、横梁、CCD相机、工控机，所述的底座正中央安装有旋转平台，石英坩埚平稳放置在旋转平台上，底座边缘处固有一个垂直于底座主平面的支架,滑动件安装在支架上，横梁通过弓形卸扣安装在支架上，CCD相机安装在横梁上，工控机安装在底座边缘；本实用新型专利技术直接代替了人工肉眼检测，检测人员只需要操作工控机即可完成检测，采用CCD配合机器视觉实现石英坩埚外观检测，缩短了检测时间，提高了检测精度，对气泡，黑点，白斑，划痕，凹坑，崩边，裂纹等表面缺陷的识别有较高灵敏度，同时检测过程中不会污染或损坏石英坩埚。埚。埚。

【技术实现步骤摘要】
一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备


[0001]本技术属于光伏直拉单晶硅
，具体涉及一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备。

技术介绍

[0002]在单晶硅生长过程中石英坩埚是最主要的辅材，石英坩埚在使用时既要盛放超过800kg的硅料，工作温度高达1400℃，同时还要能安全工作约300小时，如果在使用过程中石英坩埚出现异常，轻则影响单晶硅的电性能和产量，重则造成漏硅事故，带来重大损失，甚至危及工作人员的人身产安全，因此在石英坩埚装料前要仔细检查石英坩埚的外观，判断石英坩埚的质量是否合格，目前石英坩埚外观检测通常是用日光灯对石英坩埚的内外表面进行照射，由检测人员目测进行检查，人工检测通过目视对缺陷进行识别和判断，存在以下不足：
[0003]1.对员工的要求较高，操作起来费时费力；
[0004]2.操作过程中会因为检测人员的性格、情绪、精神状态、视觉敏感度等原因存在检测结果不准确的可能；
[0005]3.检测过程中可能会污染、损伤石英坩埚；
[0006]4.检测精度和效率较低；需要消耗大量的人力和时间。

技术实现思路

[0007]为了克服人工检测石英坩埚通过目视对缺陷进行识别和判断，存在对员工的要求较高，操作起来费时费力、检测结果不准确、检测过程中可能会污染损伤石英坩埚检测精度和效率较低的问题，本技术提供一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备；本技术直接代替了人工肉眼检测，检测人员只需要操作工控机即可完成检测，采用CCD配合机器视觉实现石英坩埚外观检测，缩短了检测时间，提高了检测精度，同时检测过程中不会污染或损坏石英坩埚。
[0008]为实现上述目的，本技术是通过如下技术方案实现的：一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备主要包括底座、旋转平台、石英坩埚、支架、横梁、CCD相机、工控机，所述的底座正中央安装有旋转平台，石英坩埚平稳放置在旋转平台上，底座边缘处固有一个垂直于底座主平面的支架,滑动件安装在支架上，横梁通过弓形卸扣安装在支架上，CCD相机安装在横梁上，工控机安装在底座边缘。
[0009]所述的CCD相机与工控机电性连接。
[0010]所述的旋转平台为手动旋转结构。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]本技术直接代替了人工肉眼检测，检测人员只需要操作工控机即可完成检测，采用CCD配合机器视觉实现石英坩埚外观检测，缩短了检测时间，提高了检测精度，对气泡，黑点，白斑，划痕，凹坑，崩边，裂纹等表面缺陷的识别有较高灵敏度，同时检测过程中不
会污染或损坏石英坩埚。
附图说明
[0013]图1是本技术立体示意图1。
[0014]图2是本技术立体示意图2。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚，下面将结合附图，对本技术的优选实施例进行详细的说明，以方便技术人员理解。
[0016]本技术公开了一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备，所述的一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备主要包括底座1、旋转平台2、石英坩埚3、支架4、横梁5、CCD相机6、工控机7，所述的底座1正中央安装有旋转平台2，石英坩埚3平稳放置在旋转平台2上，底座1边缘处固有一个垂直于底座1主平面的支架4,滑动件安装在支架4上，横梁5通过弓形卸扣安装在支架4上，CCD相机6安装在横梁5上，工控机7安装在底座1边缘。
[0017]所述的CCD相机6与工控机7电性连接。
[0018]所述的旋转平台2为手动旋转结构。
[0019]工作过程：
[0020]在石英坩埚3使用之前，将CCD相机6安装在横梁5上，将CCD相机6与工控机7电性连接，工控机7读取CCD的图像信号，经过图像处理后显示所需特征，随后自动计数并保存检测结果；本技术直接代替了人工肉眼检测，检测人员只需要操作工控机7即可完成检测，采用CCD配合机器视觉实现石英坩埚3外观检测，缩短了检测时间，提高了检测精度，对气泡，黑点，白斑，划痕，凹坑，崩边，裂纹等表面缺陷的识别有较高灵敏度，同时检测过程中不会污染或损坏石英坩埚3。
[0021]最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本技术进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本技术权利要求书所限定的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备，其特征在于：所述的一种基于机器视觉的石英坩埚检测设备包括底座（1）、旋转平台（2）、石英坩埚（3）、支架（4）、横梁（5）、CCD相机（6）、工控机（7），所述的底座（1）正中央安装有旋转平台（2），石英坩埚（3）平稳放置在旋转平台（2）上，底座（1）边缘处固有一个垂直于底座（1）主平面的支架（4）,滑动件安装在支架（...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏子涵，陈伟，李林东，张鹏，罗昌萍，王艳霞，周嘉菊，崔永慧，
申请(专利权)人：宇泽半导体云南有限公司，
类型：新型
国别省市：