用于测量工件表面的测量器件、组件、系统及加工机器技术方案

提供一种用于测量工件表面的测量器件、组件、系统及加工机器。测量器件包括主体部（10）、具有通向与待检测部位（36）相对的第一侧（14）的第一开口（22）的测量通道（2）、和从第一侧的吸取口以贯通主体部内部的方式经由出口（1）通往外侧的流体通道（19），吸取口（13）具有围绕第一开口的封闭环形，或者包围第一开口至少一圈的曲线段形状。通过在出口连接负压源，可将进入测量区域（34）的冷却液（4）和空气一起吸出，在吸引过程中液体可继续流动，只是方向有改所变，但已没有传统方式下的激烈对抗，气流的速度方向不是逆向而是偏转，因此引起振动较小，降低对测量的影响，且结构简单，整体体积小，加工难度和复杂性低。工难度和复杂性低。工难度和复杂性低。

【技术实现步骤摘要】
用于测量工件表面的测量器件、组件、系统及加工机器


[0001]本技术涉及一种可低扰动地测量工件表面的测量器件、组件、系统及加工机器，尤其是一种利用负压系统实现排液导光功能的测量系统。

技术介绍

[0002]在精密磨削加工过程中，需要通过对工件的表面测量来提供反馈信息，以提高加工精度。光学测量由于具有精度高、采样频率高、无接触损伤等优点而适于实时在线测量。然而，在精密加工过程中，大量使用的不透明冷却液会覆盖工件表面，阻止测量光束获取工件表面轮廓信息。
[0003]以往，为了获得干燥的测量区域，要利用液体或者气体直接对冲、对抗冷却液，将冷却液排开，这样的气液两相式排液导光技术，在一定程度上可以排除冷却液干扰，然而会引起两种流体之间相互作用，因振动而引入较大测量误差；而且还只能适用于单点测量的光学传感器。如果要得三到维表面轮廓，则需要传感器沿工件表面进行扫描（两个方向移动）。扫描过程较漫长且系统的控制和结构越发复杂。因此，可用测量范围小，大部分曲面工件不适用，而且测量效率低。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量器件，用于辅助测量工件表面，包括：主体部、以及贯通该主体部的测量通道和流体通道，该测量通道从所述主体部的一侧通向该主体部底侧的第一开口，其特征在于，作为用于供流体通过的通道，在所述主体部中仅形成有所述测量通道和所述流体通道，所述流体通道构成为从所述主体部底侧的一个吸取口以贯通所述主体部内部的方式经由出口通往所述主体部的外侧，在所述主体部的仰视图中，所述吸取口形成为包围所述第一开口的封闭环状或者包围所述第一开口至少一圈的曲线形状。2.根据权利要求1所述的测量器件，其特征在于，在所述主体部底侧仅开设有所述吸取口和所述第一开口，和/或在所述主体部的底侧的表面上，所述吸取口与所述第一开口分别位于彼此之间具有高度差的表面。3.根据权利要求1所述的测量器件，其特征在于，所述流体通道仅经由所述出口与所述吸取口开口于所述主体部，和/或在所述主体部的侧剖视图中，所述测量通道构成为以所述第一开口作为底部的V字形通路。4.根据权利要求1～3中任一项所述的测量器件，其特征在于，所述主体部包括：具有中空芯孔的凹空部和能够插入所述中空芯孔的芯部，所述测量通道形成于所述芯部，在所述凹空部和所述芯部二者彼此相对的至少一方的周壁上，形成有自该周壁凹入地形成的凹槽，该凹槽构成为所述流体通道的一部分。5.根据权利要求1～3中任一项所述的测量器件，其特征在于，在所述主体部的仰视图中，所述第一开口的平面投影呈3*15mm的矩形，所述吸取口呈长轴24～26mm、短轴20～22...

【专利技术属性】
技术研发人员：张清，李锐鹏，韩浩强，李宇昂，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：新型
国别省市：