多维移动模组和多维移动方法技术

本发明专利技术涉及一种多维移动模组和多维移动方法。主要包括：直线电机式X向移动组件、第一平台、直线电机式Y向移动组件、第二平台、直线电机式升降组件，所述第一平台设置在直线电机式X向移动组件上，所述直线电机式Y向移动组件设置在第一平台上，所述第二平台设置在直线电机式Y向移动组件上，所述直线电机式升降组件设置在第二平台上。本申请的多维移动模组包括直线电机式X向移动组件、直线电机式Y向移动组件以及直线电机式升降组件。整体结构紧凑，且由于各个方向的移动机构都使用直线电机作为驱动，移动精度得到有效保证。移动精度得到有效保证。移动精度得到有效保证。

【技术实现步骤摘要】
多维移动模组和多维移动方法


[0001]本专利技术涉及高精度移动平台领域，特别是涉及多维移动模组和多维移动方法。

技术介绍

[0002]自动化生产领域,尤其是芯片等高精度制造领域,经常需要用到一些移动平台。传统的移动平台一般都包括一个X向移动机构，Y向移动机构和Z向移动机构。但传统的移动平台所使用的移动机构的移动精度不够高。

技术实现思路

[0003]基于此，提供一种多维移动模组。该多维移动模组移动精度较高，且可以做到较小尺寸。
[0004]一种多维移动模组，包括：
[0005]直线电机式X向移动组件、第一平台、直线电机式Y向移动组件、第二平台、直线电机式升降组件，
[0006]所述第一平台设置在直线电机式X向移动组件上，
[0007]所述直线电机式Y向移动组件设置在第一平台上，
[0008]所述第二平台设置在直线电机式Y向移动组件上，
[0009]所述直线电机式升降组件设置在第二平台上。
[0010]本申请的多维移动模组包括直线电机式X向移动组件、直线电机式Y向移动组件以及直线电机式升降组件。整体结构紧凑，且由于各个方向的移动机构都使用直线电机作为驱动，移动精度得到有效保证。
[0011]在其中一个实施例中，所述直线电机式X向移动组件包括底座，所述底座上设置有2个间隔设置的X向直线电机，在底座的两端分别设置有第一滑轨组件和第二滑轨组件，在2个X向直线电机之间设置有第三滑轨组件，所述2个间隔设置的X向直线电机之间还设置有与第一平台相连的读数头以及设置在底座上的第一支撑块，第一支撑块上设置有石英玻璃支撑板，所述石英玻璃支撑板上设置有光栅尺，
[0012]所述X向直线电机包括动子和定子,所述底座上固定有所述定子,所述定子包括两个间隔设置的支撑板,两个支撑板之间的一侧设置有与两个支撑相连的中间条块,每个支撑板的内侧壁上都安装有一排永磁铁,所述一排永磁铁包括交替顺序排列的N极磁铁和S极磁铁,
[0013]所述动子包括连接部和线圈部,所述线圈部伸入到两个支撑板之间,所述连接部用于与第一平台相连；
[0014]所述第一平台分别与第一滑轨组件、第二滑轨组件、第三滑轨组件相连。
[0015]在其中一个实施例中，所述直线电机式Y向移动组件包括Y向直线电机以及第四滑轨组件和第五滑轨组件，所述第四滑轨组件和第五滑轨组件分别设置在第一平台的两端，所述第二平台分别与第四滑轨组件和第五滑轨组件相连，
[0016]所述Y向直线电机设置在第四滑轨组件的一侧，所述Y向直线电机包括动子和定子,所述第一平台上固定有所述定子,所述定子包括两个间隔设置的支撑板,两个支撑板之间的一侧设置有与两个支撑板相连的中间条块,每个支撑板的内侧壁上都安装有一排永磁铁,所述一排永磁铁包括交替顺序排列的N极磁铁和S极磁铁,所述动子与第二平台相连，
[0017]所述第五滑轨组件的一侧还设置有与第二平台相连的读数头以及设置在第一平台上的第二支撑块，第二支撑块上设置有石英玻璃支撑板，所述石英玻璃支撑板上设置有光栅尺，
[0018]所述动子包括连接部和线圈部,所述线圈部伸入到两个支撑板之间,所述连接部用于与第二平台相连。
[0019]在其中一个实施例中，所述直线电机式升降组件通过水平运动的第一直线电机驱动升降台进行升降。
[0020]在其中一个实施例中，所述直线电机式升降组件包括基台，所述基台的一侧设置有所述第一直线电机，所述第一直线电机包括第一动子和第一定子，所述基台的一侧设置有固定板，所述固定板上连接有第一动子，所述第一动子的一侧设置有所述第一定子，所述第一定子包括安装板以及设置在安装板上的一排永磁铁，所述安装板与驱动块相连，所述驱动块与基台之间设置有第一交叉滚柱导轨组件，所述驱动块的顶部设置有第一倾斜支撑槽，所述驱动块的上方设置有升降台，所述升降台的顶面设置有第二倾斜支撑槽，所述第一倾斜支撑槽和第二倾斜支撑槽之间设置有第二交叉滚柱导轨组件，所述基台的一侧间隔设置有第一竖向支撑板和第二竖向支撑板，所述第一竖向支撑板与升降台之间设置有竖直方向延伸的第六滑轨组件。
[0021]在其中一个实施例中，所述升降台上设置有定位板，所述定位板上设置有光栅尺，所述第二竖向支撑板上设置有读数头。
[0022]在其中一个实施例中，所述升降台与驱动块之间设置有光电开关限位组件。
[0023]在其中一个实施例中，所述第一竖向支撑板包括第一台阶面和第二台阶面，所述第二竖向支撑板包括第三台阶面和第四台阶面，所述升降台的上端间隔设置有第一缓冲块和第二缓冲块，第一缓冲块朝向第一台阶面，第二缓冲块朝向第三台阶面，所述升降台的下端间隔设置有第三缓冲块和第四缓冲块，第三缓冲块朝向第二台阶面，第四缓冲块朝向第四台阶面。
[0024]一种多维移动方法，包括所述的多维移动模组，通过所述多维移动模组对待移动机构进行移动。
附图说明
[0025]图1为本申请的实施例的多维移动模组的整体结构示意图。
[0026]图2为本申请的实施例的多维移动模组的直线电机式X向移动组件的示意图。
[0027]图3为本申请的实施例的多维移动模组的直线电机式Y向移动组件的示意图。
[0028]图4为本申请的实施例的直线电机式升降组件的示意图。
[0029]图5为本申请的实施例的直线电机式升降组件的驱动块的顶部设置有第一倾斜支撑槽的示意图。
[0030]图6为本申请的实施例的直线电机式升降组件的所述升降台的顶面设置有第二倾
斜支撑槽的示意图。
[0031]图7为本申请的实施例的直线电机式升降组件的光栅尺，读数头以及光电限位开关组件的示意图。
[0032]图8为本申请的实施例的直线电机式升降组件的第一竖向支撑板与升降台之间设置有竖直方向延伸的第六滑轨组件的示意图。
[0033]其中：
[0034]110、直线电机式X向移动组件；120、直线电机式Y向移动组件；130、直线电机式升降组件；140、第一平台；150、第二平台；
[0035]131、基台；132、固定板；133、第一动子；134、第一定子；135、驱动块；1351、第一倾斜支撑槽；136、升降台；1361、第二倾斜支撑槽；137、第一交叉滚柱导轨组件；138、第二交叉滚柱导轨组件；1391、第一竖向支撑板；1392、第二竖向支撑板；1393、第六滑轨组件；1394、读数头；1395、定位板；1396、光栅尺；1397、触发片；1398、光电传感器；
[0036]201、第一缓冲块；202、第二缓冲块；203、第三缓冲块；204、第四缓冲块；
[0037]111、底座；112、X向直线电机；113、第一滑轨组件；114、第三滑轨组件；115、第二滑轨组件；116、第一支撑块；117、石英玻璃支撑板；118、光栅尺；119、读数头；1121、连接部；1122、线圈部；1123、支撑板；1124、中间条块；
[0038]121本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多维移动模组，其特征在于，包括：直线电机式X向移动组件、第一平台、直线电机式Y向移动组件、第二平台、直线电机式升降组件，所述第一平台设置在直线电机式X向移动组件上，所述直线电机式Y向移动组件设置在第一平台上，所述第二平台设置在直线电机式Y向移动组件上，所述直线电机式升降组件设置在第二平台上。2.根据权利要求1所述的多维移动模组，其特征在于，所述直线电机式X向移动组件包括底座，所述底座上设置有2个间隔设置的X向直线电机，在底座的两端分别设置有第一滑轨组件和第二滑轨组件，在2个X向直线电机之间设置有第三滑轨组件，所述2个间隔设置的X向直线电机之间还设置有与第一平台相连的读数头以及设置在底座上的第一支撑块，第一支撑块上设置有石英玻璃支撑板，所述石英玻璃支撑板上设置有光栅尺，所述X向直线电机包括动子和定子,所述底座上固定有所述定子,所述定子包括两个间隔设置的支撑板,两个支撑板之间的一侧设置有与两个支撑相连的中间条块,每个支撑板的内侧壁上都安装有一排永磁铁,所述一排永磁铁包括交替顺序排列的N极磁铁和S极磁铁,所述动子包括连接部和线圈部,所述线圈部伸入到两个支撑板之间,所述连接部用于与第一平台相连；所述第一平台分别与第一滑轨组件、第二滑轨组件、第三滑轨组件相连。3.根据权利要求1所述的多维移动模组，其特征在于，所述直线电机式Y向移动组件包括Y向直线电机以及第四滑轨组件和第五滑轨组件，所述第四滑轨组件和第五滑轨组件分别设置在第一平台的两端，所述第二平台分别与第四滑轨组件和第五滑轨组件相连，所述Y向直线电机设置在第四滑轨组件的一侧，所述Y向直线电机包括动子和定子,所述第一平台上固定有所述定子,所述定子包括两个间隔设置的支撑板,两个支撑板之间的一侧设置有与两个支撑板相连的中间条块,每个支撑板的内侧壁上都安装有一排永磁铁,所述一排永磁铁包括交替顺序排列的N极磁铁和S极磁铁,所述动子与第二平台相连，所述第五滑轨组件的一侧还设置有与第二平台相连的读数头以及设置在第一平台上的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：商宇游，肖鹏，
申请(专利权)人：阿尔伯特苏州科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：