具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置制造方法及图纸

本公开提供一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置，包括：干涉仪主机系统，包括激光发射光学系统和探测接收单元，激光发射光学系统发射测量光束，探测接收单元解析干涉信号；双渥拉斯顿棱镜，测量光束经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光；双面直角屋脊反射镜，两束正交偏振的光经过双面直角屋脊反射镜反射后回到探测接收单元；以及平行光束偏光元件，发射的测量光束先经过平行光束偏光元件，再经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光。根据本公开，能够显著提高直线度干涉测量装置的测量精度并能够消除现有直线度干涉测量装置存在测量盲区的问题。测量装置存在测量盲区的问题。测量装置存在测量盲区的问题。

【技术实现步骤摘要】
具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置
[0001]本申请是申请日为2020年12月25日，申请号为202011564821X、专利技术名称为一种对入射角不敏感的直线度干涉测量装置的专利申请的分案申请。


[0002]本公开大体涉及直线度干涉测量装置，具体涉及一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置。

技术介绍

[0003]英国专利1409339提到了一种直线度干涉测量装置，采用单渥拉斯顿棱镜将沿光轴方向的激光束分成振动方向正交的两束激光。两束激光的光束指向关于主光轴近似对称，两束光传播到双面反射镜反射后原路返回，并在渥拉斯顿棱镜处重新汇聚成一束，并沿主光轴返回到系统。双面反射镜的角度与渥拉斯顿棱镜的分束角匹配设计。该系统存在较为明显的缺点，其一为光束原路返回，容易导致激光稳频失衡，引起激光稳定性降低；其二为由于干涉镜分束角度较小，而光斑存在一定尺寸，存在一定距离的测量盲区，需要将双面反射镜避开这段距离才能实现正常的测量功能；其三，单渥拉斯顿棱镜对入射角敏感，不同入射角的光束经过渥拉斯顿棱镜后的分束角有角度差别，会导致直线度测量的斜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置，其特征在于：包括：干涉仪主机系统，所述干涉仪主机系统包括激光发射光学系统和探测接收单元，所述激光发射光学系统发射测量光束，所述探测接收单元解析干涉信号；双渥拉斯顿棱镜，所述测量光束经过所述双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光；双面直角屋脊反射镜，所述两束正交偏振的光经过所述双面直角屋脊反射镜反射后回到所述探测接收单元；以及可调剪切差的平行光束偏光元件，所述激光发射光学系统发射的测量光束先经过所述平行光束偏光元件，再经过所述双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光，其中，所述探测接收单元解析干涉信号得到相对距离信息，通过移动所述双渥拉斯顿棱镜，得到直线导轨上不同点位的相对距离信息，最终解算出所述直线导轨的直线度误差。2.根据权利要求1所述的直线度干涉测量装置，其特征在于：所述探测接收单元采用一个消偏振分光棱镜和两个偏振分光棱镜及一个1/4波片组成。3.根据权利要求2所述的直线度干涉测量装置，其特征在于：所述探测接收单元采用四通道探测系统，进入所述探测接收单元的光经过所述消偏振分光棱镜后分别由所述两个偏振分光棱镜分光进入到所述探测接收单元的四个通道。4.根据权利要求1所述的直线度干涉测量装置，其特征在于：所述平行光束偏光元件由两块相同结构角的标准渥拉斯...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯福荣，张和君，张琥杰，陈源，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：