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本公开提供一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置，包括：干涉仪主机系统，包括激光发射光学系统和探测接收单元，激光发射光学系统发射测量光束，探测接收单元解析干涉信号；双渥拉斯顿棱镜，测量光束经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光；双面...
该专利属于深圳市中图仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市中图仪器股份有限公司授权不得商用。

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