一种芯片测试用手动探针台制造技术

本实用新型专利技术涉及探针台技术领域，提供了一种芯片测试用手动探针台，包括底板，所述底板的顶部一侧滑动设置有呈倒立L型结构的支架，所述支架的顶部固定连接有固定台，所述固定台的上方转动设置有用于放置芯片的放置台，所述固定台上转动连接有能够在自身转动时带动放置台进行相应转动把手。本实用新型专利技术将芯片放置放置于放置台上后，可以用手握住把手并转动并使放置台能够进行同步的转动，这样芯片上需要接触检测的位置能够移动至放置台下方左侧或右侧，再用手推动活动杆一可以在联动机构的作用下使得支架进行同步移动，使得芯片所需测试的位置能够移动至探针的正下方，达到了精确调位的目的。位的目的。位的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试用手动探针台


[0001]本技术涉及探针台
，具体为一种芯片测试用手动探针台。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，探针台是半导体前端加工工艺中对晶圆电路进行测试，标记测试结果的好坏并收集信号的设备。
[0003]目前的手动探针台往往需要工作人员用手将芯片放置在芯片台面上并将其在探针下对准位置，而对准时需要不断的进行微调，难以操作，且探针需要对不同的晶圆进行接触测试时又需要再次手动调试芯片位置，效率较低且操作麻烦，因此设计一种芯片测试用手动探针台来解决这种问题很有必要。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种芯片测试用手动探针台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种芯片测试用手动探针台，包括底板，所述底板的顶部一侧滑动设置有呈倒立L型结构的支架，所述支架的顶部固定连接有固定台，所述固定台的上方转动设置有用于放置芯片的放置台，所述固定台上转动连接有能够在自身转动时带动放置台进行相应转动把手，所述底板的顶部远离支架的一侧沿其长度方向滑动连接有活动杆一，所述支架与活动杆一之间设置有能够在活动杆一左右移动时使得支架进行相应左右移动的联动机构，且所述支架移动的行程少于活动杆一移动的行程。
[0007]优选的，所述支架放置在底板的顶面，且所述支架的正面底部固定连接有活动杆二，所述底板的顶部两侧均固定连接有固定块，两个所述固定块之间固定连接有呈左右轴向并贯穿在活动杆二上的导向杆二，以使得支架能够在底板上进行左右滑动。
[0008]优选的，所述底板的两侧均固定连接有L型板，两个所述L型板之间固定连接有位于底板上方并呈左右轴向且与导向杆二相平行的导向杆一，所述活动杆一滑动套接在导向杆一上且其底部与底板的顶面相贴合，所述活动杆一的背面固定连接有握把，方便工作人员用手握住握把来控制活动杆一进行左右移动。
[0009]优选的，所述活动杆二与活动杆一相互靠近的一侧均沿其长度方向开设有一排齿槽，所述联动机构包括两个通过轴承转动连接在底板顶部并呈竖直轴向且前后对称的转轴，两个所述转轴的顶部均固定连接有直齿轮，其中一个所述直齿轮的齿数大于另一个直齿轮的齿数，两个所述直齿轮相啮合，且齿数多的所述直齿轮通过齿槽与活动杆二相啮合，齿数少的所述直齿轮通过齿槽与活动杆一相啮合，在活动杆一移动时会通过齿槽的配合带
动齿数少的直齿轮进行转动，其会通过齿牙配合带动齿数多的直齿轮进行旋转，且会同时通过齿槽带动活动杆二进行左右滑动，这样支架则能够与活动杆一进行同步的移动。
[0010]优选的，所述固定台的顶部通过轴承转动连接有呈竖直轴向的转动杆，所述放置台固定连接在放置台的顶部，以使得放置台能够形成在固定台上方沿水平面方向的转动连接。
[0011]优选的，所述固定台的顶部一侧固定连接有呈竖直方向的侧板，所述侧板上通过轴承穿插连接有连接杆，所述把手固定连接在连接杆的一侧，所述连接杆的另一侧固定连接有圆锥齿轮，所述转动杆的周向表面底部固定套接有环形板，所述环形板的顶部固定连接有与圆锥齿轮相啮合的端面齿轮，用手握住把手并转动时会带动连接杆及圆锥齿轮进行转动，以实现转动杆和放置台的转动。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]本技术将芯片放置放置于放置台上后，可以用手握住把手并转动并使放置台能够进行同步的转动，这样芯片上需要接触检测的位置能够移动至放置台下方左侧或右侧，再用手推动活动杆一可以在联动机构的作用下使得支架进行同步移动，使得芯片所需测试的位置能够移动至探针的正下方，而支架所移动的行程是要少于活动杆一的，达到了精确调位的目的，这种调位对准的方式相比于传统的用手直接接触芯片进行摆动来说，调试的范围能够更加精细，对准晶圆的效率会更高，并能够有效降低工作人员的作业强度。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术的结构侧视示意图；
[0016]图3为本技术的A
‑
A方向剖面结构示意图；
[0017]图4为本技术的又一立体结构示意图；
[0018]图中：1、底板；2、支架；21、活动杆二；22、固定块；23、导向杆二；3、固定台；4、放置台；41、转动杆；5、把手；51、环形板；52、端面齿轮；53、侧板；54、连接杆；55、圆锥齿轮；6、活动杆一；61、L型板；62、导向杆一；63、握把；7、联动机构；71、转轴；72、直齿轮。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0021]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种芯片测试用手动探针台：包括底板1，底板1的顶部一侧滑动设置有呈倒立L型结构的支架2，支架2的顶部固定连接有固定台3，固定台3的上方转动设置有用于放置芯片的放置台4，固定台3上转动连接有能够在自身转动时带动放置台4进行相应转动把手5，底板1的顶部远离支架2的一侧沿其长度方向滑动连接有活动杆一6，支架2与活动杆一6之间设置有能够在活动杆一6左右移动时使得支架2进行相应左右移动的联动机构7，且支架2移动的行程少于活动杆一6移动的行程，探针是位于放置台4正
上方的，这样，将芯片放置放置于放置台4上后，可以用手握住把手5并转动并使放置台4能够进行同步的转动，这样芯片上需要接触检测的位置能够移动至放置台4下方左侧或右侧，再用手推动活动杆一6可以在联动机构7的作用下使得支架2进行同步移动，放置台4则能够跟随支架2进行同步的左右移动，使得芯片所需测试的位置能够移动至探针的正下方，而支架2所移动的行程是要少于活动杆一6的，达到了精确调位的目的，这种调位对准的方式相比于传统的用手直接接触芯片进行摆动来说，调试的范围能够更加精细，对准晶圆的效率会更高，并能够有效降低工作人员的作业强度。
[0022]关于支架2与底板1之间的具体连接方式如下，支架2放置在底板1的顶面，且支架2的正面底部固定连接有活动杆二21，底板1的顶部两侧均固定连接有固定块22，两个固定块22之间固定连接有呈左右轴向并贯穿在活动杆二21上的导向杆二23，以使得支架2能够在底板1上进行左右滑动。
[0023]请参阅图1，底板1的两侧均固定连接有L型板61，两个L型板61之间固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试用手动探针台，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的顶部一侧滑动设置有呈倒立L型结构的支架(2)，所述支架(2)的顶部固定连接有固定台(3)，所述固定台(3)的上方转动设置有用于放置芯片的放置台(4)，所述固定台(3)上转动连接有能够在自身转动时带动放置台(4)进行相应转动把手(5)，所述底板(1)的顶部远离支架(2)的一侧沿其长度方向滑动连接有活动杆一(6)，所述支架(2)与活动杆一(6)之间设置有能够在活动杆一(6)左右移动时使得支架(2)进行相应左右移动的联动机构(7)，且所述支架(2)移动的行程少于活动杆一(6)移动的行程。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试用手动探针台，其特征在于：所述支架(2)放置在底板(1)的顶面，且所述支架(2)的正面底部固定连接有活动杆二(21)，所述底板(1)的顶部两侧均固定连接有固定块(22)，两个所述固定块(22)之间固定连接有呈左右轴向并贯穿在活动杆二(21)上的导向杆二(23)。3.根据权利要求2所述的一种芯片测试用手动探针台，其特征在于：所述底板(1)的两侧均固定连接有L型板(61)，两个所述L型板(61)之间固定连接有位于底板(1)上方并呈左右轴向且与导向杆二(23)相平行的导向杆一(62)，所述活动杆一(6)滑动套接在导向杆一(62)上且其底部与底板(1)的顶面相贴合...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈福云，
申请(专利权)人：武汉欣诺梦达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：