本发明专利技术涉及探针台技术领域，提供了一种用于探针台的快速散热装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有用于放置芯片的测试平台；储水箱，其内部储存有水，所述储水箱的顶部两侧分别固定连接有与其内部相连通的出水管和入水管，所述储水箱内设置有能够对其内部水进行降温冷却的制冷件，所述储水箱内固定安装有用于将其内部水往出水管内输送的水泵。本发明专利技术在制冷件的作用下会将储水箱内储存的水进行降温冷却，然后通过水泵的作用能够流入壳体内使得壳体自身的温度能迅速降低，壳体则能够跟随调节板进行下降并使其能够与测试平台上所放置的高温发烫的芯片进行接触，此时自身温度较低的壳体能够快速的将芯片的温度降低，达到高效散热降温的效果。效散热降温的效果。效散热降温的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于探针台的快速散热装置
[0001]本专利技术涉及探针台
，具体为一种用于探针台的快速散热装置。
技术介绍
[0002]晶圆探针测试也被称之为中间测试，是集成电路生产中的重要一环，晶圆探针测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能的把坏的芯片筛选出来以节约封装费用，这步测试是晶圆生产过程的成绩单，它不仅是节约芯片封装成本的一种方法，现如今已成为工艺控制、成品率管理、产品质量以及降低总测试成本的一个关键因素。
[0003]探针台是晶圆探针测试中主要使用的设备之一，其泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
[0004]在晶圆探针测试的过程中，考虑到芯片在工作时的会产生温度提高、甚至发烫的现象，会使用到升温设备对探针台上芯片进行升温加热，再使探针与发热的晶圆接触测试，以能够判断实际工作环境下的芯片是否合格，但这样也导致在测试后的芯片自身发烫，工作人员难以用手直接将芯片直接从探针台上进行取料，需等待一定的时间待芯片自身温度降低，对测试作业的效率带来影响，因此设计一种用于探针台的快速散热装置来解决这种问题很有必要。
技术实现思路
[0005]本专利技术目的是提供一种用于探针台的快速散热装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种用于探针台的快速散热装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有用于放置芯片的测试平台；储水箱，其内部储存有水，所述储水箱的顶部两侧分别固定连接有与其内部相连通的出水管和入水管，所述储水箱内设置有能够对其内部水进行降温冷却的制冷件，所述储水箱内固定安装有用于将其内部水往出水管内输送的水泵；固定架，所述固定架固定连接在底板顶部并位于测试平台的后侧且呈竖直方向，所述固定架的正面设置有呈水平方向并可升降的调节板，所述调节板远离固定架的一侧底部设置有位于测试平台正上方且呈柱型结构的壳体，所述壳体的周向表面两侧分别连通有进水管和排水管，所述进水管和排水管远离壳体的一侧分别连通在出水管和入水管上。
[0008]优选的，所述固定架的正面沿其高度方向开设有滑槽，所述调节板的背面形成有插接于滑槽内的滑动块，所述底板的顶部通过轴承转动连接有呈竖直轴向并位于滑槽内且通过螺纹穿插在滑动块上的螺纹杆，所述螺纹杆的顶部延伸至固定架的上方并固定连接有把手，工作人员可以用手握住把手并转动，达到上下调节壳体位置的目的。
[0009]优选的，所述调节板的正面固定连接有连接板，所述连接板上滑动穿插连接有呈竖直轴向的插杆，所述插杆的顶部固定连接有与连接板顶面相接触的限位块，所述插杆的底部与壳体的顶部相固定，所述壳体与连接板之间设置有能够推动壳体始终朝下方进行移
动的弹性件，当壳体下降并与测试平台上的芯片接触后，会带动插杆在连接板向上滑动一定的距离，能够使壳体与芯片的接触会更加紧密，提升热量交换以及散热的效率。
[0010]优选的，所述弹性件包括套接在插杆上的弹簧，所述弹簧的顶部抵触在连接板的底面，所述弹簧的底部抵触在壳体的顶面，在弹簧的弹性作用下即可支撑下壳体始终朝下进行移动。
[0011]优选的，所述壳体的底部设置有数显屏，所述壳体的正面安装有用于显示数显屏所监测到的温度数值的温度传感器，工作人员可以通过观察温度传感器来确认芯片的温度是否下降的达标温度。
[0012]优选的，所述底板上设置有PLC控制器，所述数显屏的输出端与PLC控制器的输入端通过电性相连，以能够将数显屏所监测到的温度信号传输给PLC控制器，所述PLC控制器的输出端通过电性与温度传感器的输入端相连，使其能够将温度信号转换成温度值并通过温度传感器进行显示，以便于观察出a上放置芯片的实时温度。
[0013]优选的，所述壳体的内部呈等间距分布固定连接有多个竖直方向的隔板，且多个所述隔板从左至右依次开设有上出水孔和下出水孔，使得壳体内的冷水会形成一个连续U形的流动方向，提高了冷水流经壳体内所提留的时间，以确保冷水能够将壳体整体进行均匀的降温。
[0014]优选的，所述制冷件包括两组半导体制冷片，两组所述半导体制冷片分别安装于储水箱内壁前后两侧，以能够对储水箱内的水进行冷却降温。
[0015]优选的，所述储水箱的内壁顶部通过轴承转动连接有呈竖直轴向并位于两个半导体制冷片之间的转轴，所述转轴的表面呈等间距环形阵列分布固定连接有多个搅拌叶，且所述储水箱上设置有用于驱动转轴进行转动的转动机构，搅拌叶能够将储水箱内的水进行搅动翻滚，从而使得储水箱内的水能够更加均匀的与储水箱内壁两侧的两组半导体制冷片进行接触，提高了储水箱内水的冷却降温效果。
[0016]优选的，所述转动机构包括固定安装在储水箱顶部的电机，所述电机的输出轴轴向与转轴相垂直且其末端固定连接有主动锥齿轮，所述转轴的顶部贯穿储水箱并固定连接有与主动锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，当电机的输出轴转动时能够带动着主动锥齿轮进行旋转，以实现驱动转轴进行转动的目的。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]1、本专利技术在制冷件的作用下会将储水箱内储存的水进行降温冷却成冷水，然后通过水泵的作用能够流入壳体内使得壳体自身的温度能迅速降低，此时能够将调节板在固定架上向下移动，壳体则能够跟随调节板进行下降并使其能够与测试平台上所放置的高温发烫的芯片进行接触，此时自身温度较低的壳体能够快速的将芯片的温度降低，达到高效散热降温的效果，使得工作人员能够快速将测试后的芯片从测试平台上取下，提升了晶圆测试作业的效率。
[0019]2、本专利技术通过弹性件的设置，当壳体下降并与测试平台上的芯片接触后，会带动插杆在连接板向上滑动一定的距离，这样一是能够使壳体与芯片的接触会更加紧密，提升热量交换以及散热的效率，二是能够避免壳体在下降时会与芯片产生硬性接触而导致芯片表面被压坏的问题。
[0020]3、本专利技术通过数显屏的设置，在壳体下降并与芯片接触后，数显屏也会与芯片的
表面进行接触，使其能够对芯片的温度进行监测，工作人员可以通过观察温度传感器来确认芯片的温度是否下降的达标温度，以便于及时拿取芯片进行下料。
[0021]4、本专利技术通过转动机构的设置，在转动机构的作用下能使多个搅拌叶在储水箱内进行转动，使得搅拌叶能够将储水箱内的水进行搅动翻滚，从而使得储水箱内的水能够更加均匀的与储水箱内壁两侧的两组半导体制冷片进行接触，提高了储水箱内水的冷却降温效果。
[0022]5、本专利技术通过多个隔板的设置，使得壳体内的冷水会形成一个连续U形的流动方向，提高了冷水流经壳体内所提留的时间，以确保冷水能够将壳体整体进行均匀的降温，从而能够使壳体与芯片接触时能对芯片进行均匀的降温。
附图说明
[0023]图1为本专利技术的立体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术的结构仰视示意图；
[0025]图3为本专利技术的平面结构示意图；
[0026]图4为本专利技术的图3中沿A
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于探针台的快速散热装置，其特征在于，包括：底板(1)，所述底板(1)的顶部固定连接有用于放置芯片的测试平台(2)；储水箱(3)，其内部储存有水，所述储水箱(3)的顶部两侧分别固定连接有与其内部相连通的出水管(4)和入水管(5)，所述储水箱(3)内设置有能够对其内部水进行降温冷却的制冷件，所述储水箱(3)内固定安装有用于将其内部水往出水管(4)内输送的水泵；固定架(6)，所述固定架(6)固定连接在底板(1)顶部并位于测试平台(2)的后侧且呈竖直方向，所述固定架(6)的正面设置有呈水平方向并可升降的调节板(7)，所述调节板(7)远离固定架(6)的一侧底部设置有位于测试平台(2)正上方且呈柱型结构的壳体(8)，所述壳体(8)的周向表面两侧分别连通有进水管(9)和排水管(10)，所述进水管(9)和排水管(10)远离壳体(8)的一侧分别连通在出水管(4)和入水管(5)上。2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的快速散热装置，其特征在于：所述固定架(6)的正面沿其高度方向开设有滑槽，所述调节板(7)的背面形成有插接于滑槽内的滑动块(61)，所述底板(1)的顶部通过轴承转动连接有呈竖直轴向并位于滑槽内且通过螺纹穿插在滑动块(61)上的螺纹杆(62)，所述螺纹杆(62)的顶部延伸至固定架(6)的上方并固定连接有把手(63)。3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的快速散热装置，其特征在于：所述调节板(7)的正面固定连接有连接板(71)，所述连接板(71)上滑动穿插连接有呈竖直轴向的插杆(72)，所述插杆(72)的顶部固定连接有与连接板(71)顶面相接触的限位块(74)，所述插杆(72)的底部与壳体(8)的顶部相固定，所述壳体(8)与连接板(71)之间设置有能够推动壳体(8)始终朝下方进行移动的弹性件。4.根据权利要求3所述的一种用于探针台的快速散热装置，其特征在于：所述弹性件包括套接在插杆(72)上的弹簧(73)，所述弹簧(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈福云，
申请(专利权)人：武汉欣诺梦达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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