一种便于放置探针卡的探针台制造技术

本实用新型专利技术涉及探针台技术领域，公开了一种便于放置探针卡的探针台，包括底架，所述底架的顶部固接有工作平台，所述工作平台的顶部开设有放置槽，当探针卡放置于放置槽的内部后，通过转动摇杆，带动两个螺纹套块相向或相离运动，此时四个滑块分别在两个螺纹套块的内部滑动，并向滑动槽的四个端点或者向滑动槽的中心点处移动，从而利用四个滑块对探针卡进行夹持，当晶圆厚度薄于放置槽的深度，可利用气缸的伸缩，利用顶柱伸出滑动槽的外部，从而将探针卡顶起，之后在利用滑块固定探针卡，当取走探针卡，可利用顶柱将探针卡推出放置槽的内部，从而方便拿取探针卡，以及控制探针卡的摆放位置，也便于探针卡与晶圆的接触探测。也便于探针卡与晶圆的接触探测。也便于探针卡与晶圆的接触探测。

【技术实现步骤摘要】
一种便于放置探针卡的探针台


[0001]本技术涉及探针台
，具体为一种便于放置探针卡的探针台。

技术介绍

[0002]在晶圆制作完成以后，需要对其功能进行测试，探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，通过探针卡的探针和晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动测量的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作非常重要。
[0003]现有技术的探针台通过开设摆放槽，形成与探针卡相对应的凹槽作为探针卡放置区域，由于探针卡尺寸不一，探针卡在摆放槽内的摆放不够稳定，而探针卡表面没有把手以及其他着力点，使得探针卡的摆放及固定不够稳定的问题。
[0004]因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员有必要研发一种便于放置探针卡的探针台。

技术实现思路

[0005]本技术目的是提供一种便于放置探针卡的探针台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括底架，所述底架的顶部固接有工作平台，所述工作平台的顶部开设有放置槽，所述放置槽的开设有滑动槽，所述滑动槽的内部滑动设置有四个相对称的滑块，所述工作平台的底部滑动设置有两个螺纹套块，两个所述螺纹套块的内部共同螺纹插接有一个双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端通过轴承固接于底架的内腔一侧，所述双向螺纹杆的另一端固接有摇杆，四个所述滑块的底部分别滑动设置于两个螺纹套块的内部，所述底架的内腔底部固接有气缸，所述气缸的顶部固接有固定盘，所述固定盘的顶部固接有四个顶柱。
[0007]优选的，所述滑动槽的形状为X形，所述放置槽为圆形，方便晶圆固定和拿取。
[0008]优选的，所述顶柱的数量为四个，四个所述顶柱对称设置于滑动槽的正下方，方便探针卡放入放置槽内部，相反，通过顶柱的升起，方便取出探针卡。
[0009]优选的，所述底架的形状为U形，且所述底架的底部固接有固定板，从而利用顶柱的升降控制放置槽内部探针卡的高度，以及通过固定板方便将底架与探针台机器螺纹固定。
[0010]优选的，两个所述螺纹套块的顶部均开设有凹槽，两个所述滑块的底部滑动设置于凹槽内部所述滑块的形状为T形，两个所述滑块为一组共两组，两组所述滑块分别滑动设置于螺纹套块的顶部，从而对探针卡进行夹持。
[0011]优选的，所述滑块的顶部固定套接有橡胶套，且所述橡胶套的高度等于放置槽的深度，对探针卡的夹持和固定提高摩擦力。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013](1)通过本技术的摇杆和滑动槽的结构设计，当探针卡放置于放置槽的内部后，通过转动摇杆，利用双向螺纹杆的转动，带动两个螺纹套块相向或相离运动，此时四个滑块分别在两个螺纹套块的内部滑动，并向滑动槽的四个端点或者向滑动槽的中心点处移动，从而利用四个滑块对探针卡进行夹持，当晶圆厚度薄于放置槽的深度，可利用气缸的伸缩，利用顶柱伸出滑动槽的外部，从而将探针卡顶起，之后在利用滑块固定探针卡，当取走探针卡，可利用顶柱将探针卡推出放置槽的内部，从而方便拿取探针卡，以及控制探针卡的摆放位置，也便于探针卡与晶圆的接触探测。
[0014](2)通过本技术的顶柱的结构设计，可将顶柱顶出放置槽的内部，方便探针卡放置于顶柱后，通过下降顶柱，方便探针卡放入放置槽内部，相反，通过顶柱的升起，方便取出探针卡。
[0015](3)通过本技术的橡胶套的结构设计，对探针卡的夹持和固定提高摩擦力，保证探针卡的夹持稳定性。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构示意图；
[0017]图2为本技术的又一结构示意图；
[0018]图3为本技术的平面结构示意图；
[0019]图4为本技术的A
‑
A方向剖面结构示意图。
[0020]附图标记中：1、底架；2、工作平台；3、固定板；4、滑动槽；5、橡胶套；6、放置槽；7、气缸；8、固定盘；9、顶柱；10、双向螺纹杆；11、摇杆；13、螺纹套块；14、滑块。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0022]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0023]实施例
[0024]请参阅图1
‑
4所示，本技术提供一种便于放置探针卡的探针台技术方案：包括底架1，所述底架1的顶部固接有工作平台2，所述工作平台2的顶部开设有放置槽6，所述放置槽6的开设有滑动槽4，所述滑动槽4的内部滑动设置有四个相对称的滑块14，所述工作平台2的底部滑动设置有两个螺纹套块13，两个所述螺纹套块13的内部共同螺纹插接有一个双向螺纹杆10，所述双向螺纹杆10的一端通过轴承固接于底架1的内腔一侧，所述双向螺纹杆10的另一端固接有摇杆11，四个所述滑块14的底部分别滑动设置于两个螺纹套块13的内部，所述底架1的内腔底部固接有气缸7，所述气缸7的顶部固接有固定盘8，所述固定盘8的顶部固接有四个顶柱9。
[0025]在本实施方式中，当探针卡放置于放置槽6的内部后，通过转动摇杆11，利用双向螺纹杆10的转动，带动两个螺纹套块13相向或相离运动，此时四个滑块14分别在两个螺纹套块13的内部滑动，并向滑动槽4的四个端点或者向滑动槽4的中心点处移动，从而利用四
个滑块14对探针卡进行夹持，当晶圆厚度薄于放置槽6的深度，可利用气缸7的伸缩，利用顶柱9伸出滑动槽4的外部，从而将探针卡顶起，之后在利用滑块14固定探针卡，当取走探针卡，可利用顶柱9将探针卡推出放置槽6的内部，从而方便拿取探针卡，以及控制探针卡的摆放位置，也便于探针卡与晶圆的接触探测。
[0026]进一步的，所述滑动槽4的形状为X形，所述放置槽6为圆形。
[0027]在本实施方式中，便于四个滑块14在滑动槽4内部的滑动，从而将探针卡稳定夹持，方便晶圆固定和拿取。
[0028]进一步的，所述顶柱9的数量为四个，四个所述顶柱9对称设置于滑动槽4的正下方。
[0029]在本实施方式中，便于通过顶柱9的设置，可将顶柱9顶出放置槽6的内部，方便探针卡放置于顶柱9后，通过下降顶柱9，方便探针卡放入放置槽6内部，相反，通过顶柱9的升起，方便取出探针卡。
[0030]进一步的，所述底架1的形状为U形，且所述底架1的底部固接有固定板3。
[0031]在本实施方式中，便于在底架1的U形口内部设置气缸7、固定盘8和顶柱9，从而利用顶柱9的升降控制放置槽6内部探针卡的高度。
[0032]进一步的，两个所述螺纹套块13的顶部均开设有凹槽，两个所述滑块14的底部滑动设置于凹槽内部所述滑块14的形状为T形，两个所述滑块14为一组共两组，两组所述滑块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于放置探针卡的探针台，包括底架(1)，其特征在于，所述底架(1)的顶部固接有工作平台(2)，所述工作平台(2)的顶部开设有放置槽(6)，所述放置槽(6)的开设有滑动槽(4)，所述滑动槽(4)的内部滑动设置有四个相对称的滑块(14)，所述工作平台(2)的底部滑动设置有两个螺纹套块(13)，两个所述螺纹套块(13)的内部共同螺纹插接有一个双向螺纹杆(10)，所述双向螺纹杆(10)的一端通过轴承固接于底架(1)的内腔一侧，所述双向螺纹杆(10)的另一端固接有摇杆(11)，四个所述滑块(14)的底部分别滑动设置于两个螺纹套块(13)的内部，所述底架(1)的内腔底部固接有气缸(7)，所述气缸(7)的顶部固接有固定盘(8)，所述固定盘(8)的顶部固接有四个顶柱(9)。2.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的探针台，其特征在于：所述滑动槽(4)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈福云，
申请(专利权)人：武汉欣诺梦达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：