阀体制造技术

本申请提供一种阀体，应用于探针制造过程，其中所述阀体包括手柄、进气组件及阀体容气腔；所述手柄设置于所述阀体容气腔的第一侧；所述手柄与所述阀体容气腔第一侧对应的顶部活动连接；所述进气组件设置于阀体容气腔顶部的中间位置；其中所述手柄受到按压力时，气体通过所述进气组件向所述阀体容气腔内进行充气，以使所述阀体容气腔充气增大压强。本说明书实施例的整体机械阀体可在无电状态下运行，提升使用范围，且其内部结构集成度高，节省了阀体自身体积，从而提升探针制造设备整体的空间占用率。空间占用率。空间占用率。

【技术实现步骤摘要】
阀体


[0001]本申请涉及半导体制造
，具体涉及一种阀体。

技术介绍

[0002]随着探针与待测器件间距的减小及芯片设计等多元素影响，对垂直式探针卡的生产提出更高要求。垂直式探针卡在装配过程中需进行植针，因此需将探针针尾部分的尺寸大于探针针身部分的尺寸来防止探针在装配时掉落。
[0003]现有技术的植针在切割过程中通过电磁阀来控制实施，会造成植针过程中原材料的浪费和耗能高等问题。
[0004]因此，需要一种新的探针制造阀体方案。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本说明书实施例提供一种阀体，应用于探针制造过程，用于阀体进行充气来增大压强。
[0006]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0007]本说明书实施例提供一种阀体，应用于探针制造过程，所述阀体包括：手柄、进气组件及阀体容气腔；所述手柄设置于阀体容气腔的第一侧；所述手柄与阀体容气腔第一侧对应的顶部活动连接；所述进气组件设置于阀体容气腔顶部的中间位置；
[0008]其中所述手柄受到按压力时，气体通过所述进气组件向所述阀体容气腔进行充气，以使所述阀体容气腔充气增大压强。
[0009]一些情况中，所述进气组件包括：连接于阀体容气腔顶部的气管及气管接口。
[0010]一些情况中，所述阀体容气腔包括：阀芯、阀套和阀塞；
[0011]所述阀芯、所述阀塞依次沿第一侧方向设置于阀体容气腔内部的阀套中。
[0012]一些情况中，所述阀套包括：第一阀套和第二阀套；
[0013]所述第一阀套与所述第二阀套嵌套设置；
[0014]所述阀芯与所述阀塞设置于所述第一阀套与所述第二阀套之间；
[0015]所述阀芯、所述第一阀套和所述第二阀套上设置有密封圈；
[0016]所述第一阀套于阀芯密封圈处设置有凹槽；
[0017]当所述手柄推动所述阀塞，以及推动所述阀芯移动时，所述阀芯密封圈均处于第一阀套凹槽沿远离第一侧方向上；气管、所述阀芯与阀体容气腔底部的出气孔形成气体通路。
[0018]一些情况中，所述阀体还包括：出气孔，所述出气孔设置于阀体容气腔的底部。
[0019]一些情况中，所述阀体还包括排气接口；所述排气接口设置于阀体的第二侧，并与所述手柄相对。
[0020]一些情况中，所述阀芯与所述排气接口间设置有弹簧组件。
[0021]一些情况中，所述出气孔连接于下游设备的容气腔。
[0022]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
[0023]本说明书实施例的整体机械阀体可在无电状态下运行，提升使用范围，且其内部结构集成度高，节省了阀体自身体积，从而提升探针制造设备整体的空间占用率。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025]图1是本申请中的一种探针制造阀体的立体外观示意图；
[0026]图2是本申请中的一种探针制造阀体剖视图；
[0027]图3是本申请中的一种探针制造阀体阀芯密封圈安装位置示意图；
[0028]图4是本申请中的第一阀套和第二阀套对应密封圈安装位置的示意图。
具体实施方式
[0029]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0030]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0031]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0032]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0033]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
[0034]垂直式探针卡在装配过程中需进行植针，因此需将探针针尾部分的尺寸设置大于探针针身部分的尺寸，防止探针在装配时掉落。然而现有技术的植针在切割过程中通过电磁阀来控制实施，会造成植针过程中原材料的浪费及耗能高等问题。
[0035]基于此，本说明书实施例提出了一种探针制造阀体方案：如图1所示，
[0036]该探针制造阀体1用于将外部提供的气体聚集充气，从而形成较大的气压，以便利用该增大的气压在探针制造过程中对探针产生较大的推动力。本申请阀体结构可代替电磁阀控制，仅采用该整体机械结构以形成气流流向的控制，从而形成较大气压为探针制造产生较大的气压及后续生成较大的推动力。该整体机械阀体可在无电状态下运行，提升使用范围，且其内部结构集成度高，节省了阀体自身体积，从而提升探针制造设备整体的空间占用率。
[0037]以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。
[0038]如图1和图2所示，本说明书实施例提供的探针制造阀体1，该阀体1包括手柄2、进气组件(包括气管8)、及阀体容气腔9。手柄2设置于阀体容气腔9的一侧如右侧，手柄2与阀体容气腔9手柄这一侧的顶部活动连接，进气组件设置于阀体容气腔9顶部的中间位置。一些实施例中空压机可与进气组件连接向阀体容气腔中提供正压气流，通过不断充气以增大压强。当手柄2受到按压力，阀体内部保持气密，气体通过进气组件向阀体容气腔9进行充气，从而使得阀体容气腔内气压增大。
[0039]在一些实施例中，阀体还包括出气孔10。如图2所示，出气孔10内设于阀体容气腔的底部；可将充入阀体容气腔的气体输出至下游设备。一些实施例中下游设备如气缸等。
[0040]在一些实施例中，进气组件包括气管及气管接口。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阀体，其特征在于，所述阀体包括：手柄、进气组件及阀体容气腔；所述手柄设置于阀体容气腔的第一侧；所述手柄与阀体容气腔第一侧对应的顶部活动连接；所述进气组件设置于阀体容气腔顶部的中间位置；其中，所述手柄受到按压力时，气体通过所述进气组件向所述阀体容气腔进行充气，以使所述阀体容气腔充气增大压强。2.根据权利要求1所述的阀体，其特征在于，所述进气组件包括：气管及气管接口，所述气管及气管接口设置于阀体容气腔的顶部。3.根据权利要求2所述的阀体，其特征在于，所述阀体容气腔包括：阀芯、阀套和阀塞；所述阀芯、所述阀塞依次沿第一侧方向设置于阀体容气腔内部的阀套中。4.根据权利要求3所述的阀体，其特征在于，所述阀套包括：第一阀套和第二阀套；所述第一阀套与所述第二阀套嵌套设置；所述阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈奕安，邹斌，罗雄科，
申请(专利权)人：上海泽丰半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：