一种基于滑块的主被动防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于滑块的主被动防微振基座，包括顶板、支撑座和底座，所述底座顶部两侧分别连接有侧板，所述顶板和支撑座之间两侧分别滑动连接有滑块，所述滑块之间中间前后两侧横向滑动连接两个导杆，所述导杆两端分别与侧板内侧连接，所述滑块与侧板之间、导杆外侧套装有金属弹簧，所述滑块外侧上部与侧板内侧之间安装有上音圈电机，所述滑块外侧下部与侧板内侧之间安装有下音圈电机，所述支撑座与顶板之间安装有压电驱动器，所述顶板顶部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座外侧安装有控制器。本实用新型专利技术适用范围广，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。的隔振效果。的隔振效果。

【技术实现步骤摘要】
一种基于滑块的主被动防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种基于滑块的主被动防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]精密仪器所处的环境是复杂的，不仅仅是单一的低频振动或高频振动，往往是低频振动和高频振动同时存在，而传统的隔振装置很难满足这种复杂环境振动的隔振要求。虽然出现了主动与被动混合隔振装置，但是往往存在隔振带宽较窄，系统定位精确度较差，对于复杂振动环境的隔振能力较弱等问题。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种基于滑块的主被动防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种基于滑块的主被动防微振基座，包括顶板、支撑座和底座，所述底座顶部两侧分别连接有侧板，所述顶板和支撑座之间两侧分别滑动连接有滑块，所述滑块之间中间前后两侧分别横向滑动连接两个导杆，所述导杆两端分别与侧板内侧连接，所述滑块与侧板之间、导杆外侧套装有金属弹簧，所述滑块外侧上部与侧板内侧之间安装有上音圈电机，所述滑块外侧下部与侧板内侧之间安装有下音圈电机，所述支撑座与顶板之间安装有压电驱动器，所述顶板顶部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座外侧安装有控制器。
[0007]进一步地，所述顶板、支撑座、滑块均由不锈钢制成梯形结构。
[0008]进一步地，所述顶板、支撑座梯形尺寸相同。
[0009]进一步地，所述压电驱动器位于两个导杆之间。
[0010]进一步地，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、音圈电机、压电驱动器连接。
[0011]本技术的有益效果为：
[0012]本技术通过压电驱动器实现竖向主要承重，承载力大，最大负载可达5000kg，且响应速度快，并通过滑块和水平向金属弹簧实现垂向高频隔振；通过压电驱动器和水平向音圈电机实现垂向低频防微振。本技术适用范围广，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图。
[0014]图中1
‑
顶板，2
‑
支撑座，3
‑
底座，4
‑
侧板，5
‑
滑块，6
‑
导杆，7
‑
金属弹簧，8
‑
上音圈电
机，9
‑
下音圈电机，10
‑
压电驱动器，11
‑
位置传感器，12
‑
速度传感器，13
‑
控制器。
具体实施方式
[0015]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]如图1所示一种基于滑块的主被动防微振基座，包括顶板1、支撑座2和底座3，所述底座3顶部两侧分别连接有侧板4，所述顶板1和支撑座2之间两侧分别滑动连接有滑块5，所述滑块5之间中间前后两侧分别横向滑动连接两个导杆6，所述导杆6两端分别与侧板4内侧连接，所述滑块5与侧板4之间、导杆6外侧套装有金属弹簧7，所述滑块5外侧上部与侧板4内侧之间安装有上音圈电机7，所述滑块5外侧下部与侧板4内侧之间安装有下音圈电机8，所述支撑座2与顶板1之间安装有压电驱动器10，所述顶板1顶部安装有位置传感器11和速度传感器12，所述底座3外侧安装有控制器13。
[0017]所述顶板1、支撑座2、滑块5均由不锈钢制成梯形结构。
[0018]所述顶板1、支撑座2梯形尺寸相同。
[0019]所述压电驱动器10位于两个导杆6之间。
[0020]所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、音圈电机、压电驱动器连接。
[0021]精密仪器放在顶板1上，通过压电驱动器10承重；振动时，顶板1上下移动，推动滑块5左右移动。
[0022]工作时，通过位置传感器11、速度传感器12采集振动信号，然后将信号传递给控制器13；高频振动时，通过金属弹簧7推动滑块然后带动顶板1上下移动实现高频被动隔振；低频振动时，通过控制器13控制压电驱动器10、上音圈电机8、下音圈电机9驱动实现低频主动防微振。
[0023]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于滑块的主被动防微振基座，包括顶板、支撑座和底座，其特征在于，所述底座顶部两侧分别连接有侧板，所述顶板和支撑座之间两侧分别滑动连接有滑块，所述滑块之间中间前后两侧分别横向滑动连接两个导杆，所述导杆两端分别与侧板内侧连接，所述滑块与侧板之间、导杆外侧套装有金属弹簧，所述滑块外侧上部与侧板内侧之间安装有上音圈电机，所述滑块外侧下部与侧板内侧之间安装有下音圈电机，所述支撑座与顶板之间安装有压电驱动器，所述顶板顶部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座外侧安装有控...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹波，李斌，祁长厚，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：