【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器的主被动防微振平台
[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种用于精密仪器的主被动防微振平台。
技术介绍
[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振。但精密仪器所处的环境是复杂的，不仅仅是单一的低频振动或高频振动，往往是低频振动和高频振动同时存在，而传统的隔振装置很难满足这种复杂环境振动的隔振要求。虽然出现了主动与被动混合隔振装置，但是...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器的主被动防微振平台，包括顶板、底座和驱动器，其特征在于，所述驱动器为四个分别布置在底座顶部四个角，所述驱动器顶部分别与顶板底部四个角连接，所述驱动器包括支撑板、推杆和支撑框体，所述推杆垂直连接在支撑板底部中间，所述支撑框体顶部中间开设有通孔，所述推杆穿过通孔插入支撑框体内，所述支撑板与支撑框体之间、推杆外侧套装有金属橡胶，所述金属橡胶外侧套装有金属弹簧，所述推杆底部连接有压电驱动器，所述压电驱动器底部与支撑框体底部内侧连接，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的主被动防微振平台，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡振军，姜乃丰，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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