【技术实现步骤摘要】
陶瓷吸附悬浮平台
[0001]本技术涉及陶瓷吸附悬浮平台
,更具体地说是陶瓷吸附悬浮平台。
技术介绍
[0002]吸附悬浮平台常常用于吸附悬浮作为处理对象的工件,以对工件进行处理。这些处理可以包括加工、除尘、检测和研磨等。
[0003]专利号为CN204565971U的中国专利文件涉及一种吸附悬浮平台,它包括:下层板,其上形成有一个或多个通道;上层板,其由多孔质的陶瓷材料制成,所述上层板的一面通过胶水与所述下层板粘合,所述上层板的另一面能通过所述下层板的通道而具有正压力或负压力。所述下层板的通道的一端设在所述下层板的底部或侧部,所述下层板的通道的另一端开设在所述下层板的顶部。所述下层板由天然花岗岩或金属材料制成。该技术方案采用上述结构,可以提高该吸附悬浮平台的精度,简化该吸附悬浮平台的制造方法,还可以将待处理的工件悬浮在上层板的表面,从而便于将待处理的工件取放以防止划伤。
[0004]而上述方案借助由多孔质陶瓷制成上层板完成悬浮和吸附作业,而多孔质陶瓷制成的上层板同时也会吸附有较多的灰尘到内部,由此会造 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.陶瓷吸附悬浮平台,包括用于吸附悬浮的顶板(1),其特征在于:所述顶板(1)底部设有底板(2),所述顶板(1)由多孔质陶瓷材料制成,所述底板(2)外部设有多组用于拆装顶板(1)的拆装组件;所述底板(2)底端设有用于供气的输送组件,位于输送组件的底端设有用于排气和抽气的抽送组件;每组拆装组件均包括安装支架(3),所述安装支架(3)固定设于底板(2)一侧,所述安装支架(3)截面设为L形,所述安装支架(3)顶端靠近顶板(1)的一侧设有活动柱(4),所述活动柱(4)外部套设有弹簧(5),所述活动柱(4)靠近顶板(1)的一端螺纹连接有定位板(6),所述顶板(1)靠近定位板(6)的一侧开设有定位槽(7)。2.根据权利要求1所述的陶瓷吸附悬浮平台,其特征在于:所述定位板(6)远离活动柱(4)的一端延伸至定位槽(7)内部,所述活动柱(4)远离顶板(1)的一端贯穿安装支架(3)并延伸至安装支架(3)外部,所述活动柱(4)远离安装支架(3)的一端固定设有把手(8)。3.根据权利要求2所述的陶瓷吸附悬浮平台,其特征在于:所述安装支架(3)靠近活动柱(4)的一端内部贯穿开设有固定孔(9),所述固定孔(9)内部螺纹连接有固定环(10),所述固定环(10)套设于活动柱(4)外部;所述固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:张术生,胡玲莉,陈祥,
申请(专利权)人:东莞方泰新材料技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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