检测装置及显示装置制造方法及图纸

检测装置具有：绝缘基板；多个光电转换元件，排列在绝缘基板的检测区域，并分别输出与被照射的光相应的信号；第一开关元件，与多个光电转换元件分别对应设置，并包括第一半导体、源极电极和漏极电极；以及无机绝缘层，在绝缘基板的法线方向上设置在光电转换元件与第一开关元件之间。一开关元件之间。一开关元件之间。

【技术实现步骤摘要】
检测装置及显示装置
[0001]本申请是国际申请日为2019年11月05日、国际申请号为PCT/JP2019/043292、专利技术名称为“检测装置及显示装置”的PCT申请的进入国家阶段日为2021年05月20日、申请号为201980076544.7的中国国家阶段申请的分案申请，其全部内容结合于此以作为参考。


[0002]本专利技术涉及检测装置及显示装置。

技术介绍

[0003]近年来，作为用于个人认证等的指纹传感器，已知有光学式指纹传感器(例如专利文献1)。光学式指纹传感器具有输出的信号根据被照射的光量而变化的光电转换元件。专利文献1所记载的指纹传感器中，在半导体基板上排列有多个光电二极管等光电转换元件。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：美国专利申请公开第2018/0012069号说明书

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术问题
[0008]在绝缘基板上形成薄膜晶体管、各种布线以作为驱动光电转换元件的背板的情况下，对光电转换元件、电极进行成膜时，存在杂质侵入薄膜晶体管的可能性。因此，薄膜晶体管的可靠性有可能降低。
[0009]本专利技术的目的在于，提供能够确保可靠性的检测装置及显示装置。
[0010]用于解决技术问题的方案
[0011]本专利技术的一方面的检测装置具有：绝缘基板；多个光电转换元件，排列于所述绝缘基板的检测区域，并分别输出与被照射的光相应的信号；第一开关元件，与多个所述光电转换元件分别对应设置，并包括第一半导体、源极电极和漏极电极；以及无机绝缘层，在所述绝缘基板的法线方向上设置于所述光电转换元件与所述第一开关元件之间。
[0012]本专利技术的一方面的显示装置具有：上述检测装置；以及显示面板，具有用于显示图像的显示元件，并且所述显示面板与所述检测装置相对配置。
附图说明
[0013]图1为示出第一实施方式涉及的检测装置的俯视图。
[0014]图2为示出第一实施方式涉及的检测装置的构成例的框图。
[0015]图3为示出检测装置的电路图。
[0016]图4为示出局部检测区域的电路图。
[0017]图5为示出检测装置的动作例的时序波形图。
[0018]图6为示意性地示出第一实施方式涉及的检测装置的局部检测区域的俯视图。
[0019]图7为沿着图6的VII
‑
VII
’
线的剖视图。
[0020]图8为示出第二实施方式涉及的检测装置的概要剖面构成的剖视图。
[0021]图9为示出第三实施方式涉及的检测装置的概要剖面构成的剖视图。
[0022]图10为示意性地示出第四实施方式涉及的检测装置的局部检测区域的俯视图。
[0023]图11为沿着图10的XI
‑
XI
’
线的剖视图。
[0024]图12为示出第五实施方式涉及的显示装置的概要剖面构成的剖视图。
具体实施方式
[0025]参照附图对用于实施专利技术的方式(实施方式)进行详细说明。本专利技术并不限定于以下的实施方式所记载的内容。另外，以下所记载的构成要素中包括本领域技术人员能够容易想到的要素、实质上相同的要素。而且，以下所记载的构成要素能够适当组合。需要说明的是，公开只不过是一个例子，对于本领域技术人员在保持专利技术主旨的范围内容易想到的适当变更，当然也包括在本专利技术的范围内。另外，为了使说明更加清楚，在附图中有时与实际的样式相比示意性地示出各部分的宽度、厚度、形状等，但终究不过是一个例子，并不限定本专利技术的解释。另外，在本说明书和各图中，对于与在已出现的图中所述的要素相同的要素标注相同的附图标记并适当省略详细说明。
[0026](第一实施方式)
[0027]图1为示出第一实施方式涉及的检测装置的俯视图。图2为示出第一实施方式涉及的检测装置的构成例的框图。如图1所示，检测装置1具有：绝缘基板21、传感器部10、栅极线驱动电路15、信号线选择电路16、模拟前端电路(以下表示为AFE(Analog Front End：模拟前端))48、控制电路102以及电源电路103。
[0028]如图1所示，控制基板101经由柔性印刷基板71与绝缘基板21电连接。在柔性印刷基板71设置有AFE48。在控制基板101设置有控制电路102和电源电路103。控制电路102例如是FPGA(Field Programmable Gate Array：现场可编程逻辑门阵列)。控制电路102向传感器部10、栅极线驱动电路15以及信号线选择电路16供给控制信号，并控制传感器部10的检测动作。电源电路103将电源信号SVS(参照图4)等电压信号提供给传感器部10和栅极线驱动电路15。
[0029]如图1所示，绝缘基板21具有检测区域AA和周边区域GA。检测区域AA是与传感器部10所具有的多个光电二极管PD(参照图4)重叠的区域。周边区域GA是检测区域AA的外侧的区域，是不与光电二极管PD重叠的区域。即，周边区域GA是检测区域AA的外周与绝缘基板21的端部之间的区域。栅极线驱动电路15及信号线选择电路16设置于周边区域GA。
[0030]如图2所示，检测装置1还具有检测控制部11和检测部40。检测控制部11的功能的一部分或全部包括于控制电路102。另外，检测部40之中的AFE48以外的功能的一部分或者全部包括于控制电路102。
[0031]传感器部10是具有作为光电转换元件的光电二极管PD的光传感器。传感器部10具有的光电二极管PD将对应于被照射的光的电信号作为检测信号Vdet输出至信号线选择电路16。另外，传感器部10按照从栅极线驱动电路15供给的栅极驱动信号VGCL来进行检测。
[0032]检测控制部11是向栅极线驱动电路15、信号线选择电路16及检测部40分别供给控制信号，并对这些部件的动作进行控制的电路。检测控制部11将开始信号STV、时钟信号CK、
复位信号RST1等各种控制信号供给至栅极线驱动电路15。另外，检测控制部11将选择信号SEL等各种控制信号供给至信号线选择电路16。
[0033]栅极线驱动电路15是基于各种控制信号驱动多个栅极线GCL(参照图3)的电路。栅极线驱动电路15按照顺序或同时选择多个栅极线GCL，并将栅极驱动信号VGCL供给至所选择的栅极线GCL。由此，栅极线驱动电路15选择与栅极线GCL连接的多个光电二极管PD。
[0034]信号线选择电路16是按照顺序或同时选择多个信号线SGL(参照图3)的开关电路。信号线选择电路16根据从检测控制部11供给的选择信号SEL，连接被选择的信号线SGL和AFE48。由此，信号线选择电路16将光电二极管PD的检测信号Vdet输出到检测部40。信号线选择电路16例如是多路复用器。
[0035]检测部40具备AFE48、信号处理部44、坐标提取部45、存储部46以及检测定时控制部47。检测定时控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，具有：绝缘基板；多个栅极线，配置在所述绝缘基板上且在第一方向上延伸，并排列在与所述第一方向交叉的第二方向上；多个信号线，在所述第二方向上延伸且排列在所述第一方向上；多个光电转换元件，在所述绝缘基板的检测区域中，分别配置在由所述多个栅极线和所述多个信号线包围的区域；以及多个第一开关元件，与所述多个光电转换元件分别对应设置，所述多个第一开关元件分别具有第一半导体，并包括在所述绝缘基板的法线方向上隔着所述第一半导体而设置的第一栅极电极和第二栅极电极。2.根据权利要求1所述的检测装置，其中，所述第一栅极电极和所述第二栅极电极与对应于所述多个栅极线的一个栅极线电连接。3.根据权利要求1所述的检测装置，其中，所述检测装置具有覆盖所述多个第一开关元件的平坦化膜和无机绝缘层，在所述绝缘基板的法线方向上，所述无机绝缘层设置在所述平坦化膜与所述光电转换元件之间。4.根据权利要求1所述的检测装置，其中，所述检测装置具有覆盖所述第一开关元件的平坦化膜和无机绝缘层，在所述绝缘基板的法线方向上，所述无机绝缘层设置在所述平坦化膜与所述第一开关元件之间。5.根据权利要求4所述的检测装置，其中，所述多个第一开关元件分别具有与所述第一半导体电连接的源极电极以及漏极电极，所述源极电极以及所述漏极电极隔着层间绝缘层设置在所述第一半导体的上侧，且分别经由设置于所述层间绝缘层的接触孔与所述第一半导体电连接，所述无机绝缘层覆盖所述源极电极和所述漏极电极。6.根据权利要求1至5中任一项所述的检测装置，其中，所述检测装置在所述检测区域的外侧的周边区域中具有第二开关元件，所述第二开关元件具有第二半导体，所述无机绝缘层遍及与所述第二开关元件重叠的区域而设置。7.根据权利要求6所述的检测装置，其中，所述第一半导体是氧化物半导体，所述第二半导体是多晶硅。8.根据权利要求1所述的检测装置，其中，所述无机绝缘层包括第一无机绝缘...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田真，纲岛贵徳，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：