薄膜晶体管及其制造方法、显示基板以及显示装置制造方法及图纸

一种薄膜晶体管及其制造方法、显示基板以及显示装置，薄膜晶体管设置于衬底基板(10)上，该薄膜晶体管包括：第一有源层(11)，设置于在衬底基板(10)一侧；第一栅极(12)，设置于第一有源层(11)的远离衬底基板(10)的一侧；第一绝缘层(13)，设置于第一栅极(12)的远离衬底基板(10)的一侧；源极和漏极(14)，设置于第一绝缘层(13)远离衬底基板(10)的一侧，源极和漏极(14)与第一有源层(11)电连接；其中，第一栅极(12)包括叠层结构，叠层结构包括：第一导电层(121)；和第一阻挡层(122)，设置于第一导电层(121)的远离衬底基板(10)的一侧，第一阻挡层(122)远离衬底基板(10)的一侧与第一绝缘层(13)靠近衬底基板(10)的一侧直接接触；其中，第一阻挡层(122)包括TiN

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：屈财玉，郝艳军，张慧娟，樊宜冰，陈登云，宋尊庆，李栋，刘政，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：