一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法，所述复合薄膜晶体管在制备过程使用铟盐、镓盐、锌盐和铽盐制作混合溶液，将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，将所述母液加入到所述混合溶液中，由此制备得到所述复合薄膜晶体管器件的迁移率达到130cm2/V

【技术实现步骤摘要】
一种高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法


[0001]本专利技术属于半导体显示器件及微电子
，具体涉及一种低开态电流、高迁移率铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管及其制备方法。

技术介绍

[0002]我国新型显示功能器件产业规模全球第一、年均增长超20％。2021年，我国显示行业产值达到约5868亿元，为全球产业链注入持续动能。但目前日本、韩国的平板显示产业已经比较成熟，形成了以索尼、夏普、三星、LG、友达、奇美为代表的著名平板显示企业，占据着全球平板显示市场的主导地位。在2020世界显示产业大会上，中、日、韩三国的行业协会发起《新型显示行业加强全球合作倡议》，呼吁全球加强新型显示交流合作，推动行业高质量发展。
[0003]金属氧化物薄膜晶体管的应用范围已经从最初的显示面板行业延伸到板上系统设计中，薄膜晶体管(Thin film transistors，TFT)作为开关元件的有源阵列驱动显示器件成为众多平板显示技术中的佼佼者。TFT是一种场效应半导体器件，包括衬底、半导体沟道层、绝缘层、栅极和源漏电极等，其中半导体沟道层对器件性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管，其特征在于：所述复合薄膜晶体管在制备过程使用铟盐、镓盐、锌盐和铽盐制作混合溶液，将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，将所述母液加入到所述混合溶液中，经处理得到所述复合薄膜晶体管，所述复合薄膜晶体管器件的迁移率达到130cm2/V
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s。2.根据权利要求1所述复合薄膜晶体管，其特征在于：所述复合薄膜晶体管器件的最大开态电流达到0.8mA。3.根据权利要求1所述复合薄膜晶体管，其特征在于：所述将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，将所述母液加入到所述混合溶液，碳原子和氧化物中的金属阳离子摩尔比为20％
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30％。4.根据权利要求3所述复合薄膜晶体管，其特征在于：所述碳原子和氧化物中的金属阳离子摩尔比为25％。5.一种铟镓锌铽氧基复合薄膜晶体管的制备方法，其特征在于：所述方法包括：步骤一，将稳定剂乙醇胺加入到乙二醇甲醚中，溶液记为A0；步骤二，将铟盐、镓盐、锌盐和铽盐加入到溶液A0中作为前驱体，搅拌一定时长后，形成混合溶液；步骤三，将碳纳米管超声溶解在乙二醇甲醚中，超声使其均匀悬浮作为母液待用，记为溶液A
CNT
，将溶液A
CNT
分...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽君，覃雪峰，陈淑娇，廖蕾，刘兴强，邹旭明，何鹏辉，
申请(专利权)人：漳州市合琦靶材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：