一种显微物镜数值孔径测量装置及方法制造方法及图纸

本申请是一种显微物镜数值孔径测量装置及方法，具体涉及显微器械的技术领域。所述装置包括透射照明模块、显微成像模块、调焦模块、测量照明模块以及数据处理模块；透射照明模块用于生成第一光线；调焦模块包括载物台以及调焦模组；显微成像模块包括第一相机以及成像管镜；成像管镜用于接收所述待测物镜传出的光线，并于所述第一相机中成像；测量照明模块用于生成平行光束，并传输至待测物镜；平行光束经待测物镜，在载物台上的盖玻片和空气界面发生反射得到反射光束；数据处理模块用于根据反射光束的口径，获取待测物镜的数值孔径测量结果。基于上述装置，可提高调焦精度，并使得获取测量结果更简单准确。测量结果更简单准确。测量结果更简单准确。

【技术实现步骤摘要】
一种显微物镜数值孔径测量装置及方法


[0001]本申请涉及显微器械的
，具体涉及一种显微物镜数值孔径测量装置及方法。

技术介绍

[0002]光学显微成像技术具备快速成像、无损观察等特点，是人类探索微观世界的重要手段。物镜作为显微成像系统的核心部件，其数值孔径与系统能够达到的最大分辨率直接相关，因此，需要对数值孔径进行精确测量。
[0003]目前，对数值孔径的测量方法利用盖玻片与空气界面处的全发射效应以及其在物镜后焦面产生的全反射圆作为数值孔径参考基准，再根据阿贝正弦定理推导出物镜的数值孔径。
[0004]然而，该方法适用于大数值孔径物镜，但无法保证物镜与盖玻片之间的距离满足设计要求，无法避免由此引入的测量误差。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种显微物镜数值孔径测量装置及方法，可在实现对焦功能时减小对焦调校难度，提高对焦精度。该技术方案如下。
[0006]一方面，提供了一种显微物镜数值孔径测量装置，所述装置包括透射照明模块、显微成像模块、调焦模块、测量照明模块以及数据处理模块；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微物镜数值孔径测量装置，其特征在于，所述装置包括透射照明模块、显微成像模块、调焦模块、测量照明模块以及数据处理模块；所述透射照明模块用于生成第一光线，并沿第一光轴的第一方向传输；所述透射照明模块在第一光轴的第一方向上依次部署有所述调焦模块、待测物镜与所述显微成像模块；所述调焦模块包括载物台以及调焦模组；所述显微成像模块包括第一相机以及成像管镜；所述成像管镜用于接收所述待测物镜传出的光线，并于所述第一相机中成像；所述测量照明模块用于生成平行光束，并通过第二光轴传输至棱镜组；所述棱镜组用于将所述平行光束反射至所述第一光轴的第二方向，并传输至所述待测物镜；所述平行光束经待测物镜，在所述载物台上的盖玻片和空气界面发生反射得到反射光束；所述数据处理模块用于根据所述反射光束的口径，获取待测物镜的数值孔径测量结果。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二光轴与所述第一光轴垂直；所述棱镜组位于所述第二光轴与所述第一光轴的角平分线上；所述反射光束通过所述棱镜组传输至所述成像管镜，并在所述第一相机中呈现光斑。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括探测模块以及探测棱镜组；所述探测模块包括第二相机；所述探测棱镜组位于所述待测物镜在第一光轴上的第一方向；所述反射光束通过所述探测棱镜组反射至第三光轴，并于第三光轴上的第二相机中成像。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述探测模块还包括镜组；所述反射光束通过所述探测棱镜组反射至第三光轴，并通过第三光轴上的镜组于第二相机中成像；所述镜组包括共轭镜组、负透镜组、正透镜组中的一者。5.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述透射照明模块包括光源以及聚光镜；所述聚光镜位于所述光源在第一光轴的第一方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：金岩，吴航，
申请(专利权)人：齐之明光电智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：