基于化学极化场效应的分子识别传感器的设计与制作制造技术

本发明专利技术公开了一种化学极化场效应分子识别传感器的设计及制作工艺。除在器件结构、版图设计和制造工艺方面的创新外，把物理原理与分子自组装技术和工艺相结合，产生新的检测技术和方法。基于化学极性分子和生物分子具有极性并可诱导硅基底产生极性的特点，通过分子自组装技术和ＬＢ膜技术将极性分子或生物分子组装于场效应器件的栅介质上成为分子敏感膜栅，该分子敏感膜栅与栅介质材料交换电子，使栅介质材料发生极化，从而改变了栅介质材料中固定电荷的分布和数量。另外，这种自组装结构的分子敏感膜栅与半导体硅之间还存在功函数差。栅介质中固定电荷数量及材料功函数差的改变将引起硅电场效应器件表面沟道的导电特性发生变化。利用该变化可对极性分子、生物分子实现灵敏快速检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体器件结构、版图设计及集成电路工艺创新与极性化合物分子和生物分子识别相结合的研究领域，具体应用到各种化合物分子和生物分子的检测和识别。 进一步涉及一种基于化学极化场效应的分子识别传感器的设计与制作工艺。
技术介绍
分子识别与检测技术是目前科学研究的前沿
，利用场效应原理实现分子 识别和检测是目前科学研究的热点领域，有望在环境保护、污染控制、预警技术、化学分析、 生物医学领域获得广泛的应用。利用传感器技术对化合物和生物分子进行检测已有数十 年的历史。但利用电场效应原理检测和分析化合物分子的历史很短，目前尚处于原理性研 究阶段，尚无器件批量生产和投入商业应用的报道。我国目前进行分子识别与检测手段还 比较落后，概括起来主要有生物检测法，化学检测法其中包括气相色谱、薄层色谱、高效液 相色谱、液相色谱/质谱、毛细管电泳等，细胞毒性检测法，酶活性抑制检测法，免疫检测法 等。而且多使用价格昂贵、体积庞大的高效液相色谱_质谱或气相色谱_质谱检测，样品制 备过程复杂、耗时长，需要专业技术人员操作，检测费用很高，限制了常规监测次数。尽管国 内部分高校、研究所或医疗机构也开展了相本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术涉及一种基于化学极化场效应的分子识别传感器的设计及其制作工艺。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范小林，袁寿财，李勋，汪志辉，王紫玉，
申请(专利权)人：赣南师范学院，
类型：发明
国别省市：36[中国|江西]