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基于化学极化场效应的分子识别传感器的设计与制作制造技术
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下载基于化学极化场效应的分子识别传感器的设计与制作的技术资料
文档序号:3776205
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本发明公开了一种化学极化场效应分子识别传感器的设计及制作工艺。除在器件结构、版图设计和制造工艺方面的创新外,把物理原理与分子自组装技术和工艺相结合,产生新的检测技术和方法。基于化学极性分子和生物分子具有极性并可诱导硅基底产生极性的特点,通过...
该专利属于赣南师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过赣南师范学院授权不得商用。
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