一种TEM样品成像的载网支持膜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种TEM样品成像的载网支持膜，应用于透射电镜检测分析领域，包括：载网和用于容纳TEM样品的凹槽碳膜；凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜，多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合；凹槽碳膜覆盖于载网表面。本实用新型专利技术通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜，作为凹槽碳膜，并将凹槽碳膜覆盖于载网表面，能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题，省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤，进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险，提高了TEM样品成像的效率。TEM样品成像的效率。TEM样品成像的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种TEM样品成像的载网支持膜


[0001]本技术涉及透射电镜检测分析领域，特别涉及一种TEM样品成像的载网支持膜。

技术介绍

[0002]目前常用的碳支持膜为圆形，没有统一定义好的正方向，每次TEM样品被放在碳支持膜上的方向是随机的，需要借助TEM自带的软件V
‑
look系统对抓取到的TEM样品图片旋转剪裁，系统存在将目标区域剪裁掉的风险，增加了TEM样品成像的难度，降低了TEM样品成像的效率。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种TEM样品成像的载网支持膜，解决了现有技术中TEM样品被放在碳支持膜上的方向是随机的，在借助TEM自带的软件V
‑
look系统对抓取到的TEM样品图片旋转剪裁时，系统存在将目标区域剪裁掉的风险的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供了一种TEM样品成像的载网支持膜，包括：
[0005]载网和用于容纳所述TEM样品的凹槽碳膜；
[0006]所述凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜，所述多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合；
[0007]所述凹槽碳膜覆盖于所述载网表面。
[0008]可选的，所述载网预设位置处开有载网豁口。
[0009]可选的，所述载网在所述载网中心沿所述矩形凹槽的轴线的垂直方向的边缘处，开有所述载网豁口。
[0010]可选的，所述凹槽碳膜开有碳膜豁口，所述凹槽碳膜在与所述载网贴合时，所述碳膜豁口的轴线与所述载网豁口的轴线垂直或重合。
>[0011]可选的，包括：
[0012]沿所述矩形凹槽轴线方向，相邻所述矩形凹槽之间的间距相等；
[0013]沿垂直于所述矩形凹槽轴线方向，相邻所述矩形凹槽之间的间距相等。
[0014]可选的，所述载网为铜质载网。
[0015]可选的，所述载网，包括：
[0016]网状部件和环状的支撑部件；
[0017]所述网状部件设置在所述支撑部件内侧，与所述支撑部件连接。
[0018]可选的，包括：
[0019]碳膜固定部件，所述碳膜固定部件与所述载网连接。
[0020]可选的，包括：
[0021]所述碳膜固定部件一端与所述载网一端卡接连接；
[0022]所述碳膜固定部件另一端与所述载网另一端铰接连接。
[0023]可见，本技术通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜，作为凹槽碳膜，并将凹槽碳膜覆盖于载网表面，能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题，省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤，进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险，提高了TEM样品成像的效率。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0025]图1为本技术实施例提供的一种TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图；
[0026]图2为本技术实施例提供的一种设置有载网豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图；
[0027]图3为本技术实施例提供的一种设置有载网豁口和碳膜豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图；
[0028]附图1
‑
3中，附图标记说明如下：
[0029]1‑
载网，11
‑
载网豁口；
[0030]2‑
凹槽碳膜，21
‑
碳膜豁口；
[0031]3‑
矩形凹槽。
具体实施方式
[0032]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]实施例1：
[0034]请参考图1，图1为本技术实施例提供的一种TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图。该载网支持膜可以包括：
[0035]载网1和用于容纳TEM样品的凹槽碳膜2；
[0036]凹槽碳膜2为具有多个矩形凹槽3的碳支持膜，多个矩形凹槽3的轴线相互平行或重合；
[0037]凹槽碳膜2覆盖于载网1表面。
[0038]需要进行说明的是，本实施例中在将TEM样品放入凹槽碳膜2中时，具体的，每一个矩形凹槽3容纳一个TEM样品，且TEM样品通过与凹槽碳膜2的黏附作用，固定于矩形凹槽3中。TEM样品为矩形结构，通过多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合，将TEM样品利用黏附作用固定于矩形凹槽3中，能够保证TEM样品在凹槽碳膜2中方向一致。
[0039]需要进行说明的是，本实施例中载网1可以是铜质载网，也可以是镍质载网，还可
以是钼质载网，本实施例并不对载网1的具体构造进行限定。
[0040]本实施例并不限定凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量。例如，凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量可以是100个，凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量也可以是150个，凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量还可以是200个。本实施例并不限定凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量的设定依据。例如，凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量可以根据同一批次需要检测的TEM样品的数量进行设定，可以是同一批次需要检测的TEM样品的数量越多，凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量越多；也可以是根据凹槽碳膜2相对于TEM样品的面积进行设定，可以是凹槽碳膜2相对于TEM样品的面积越大，凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量越多。本实施例并不限定凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3尺寸种类，只要是能够完成对TEM样品沿预设方向进行拍取图像的操作即可。例如，凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸种类可以是1个，即凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸相同；凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸也可以2个，即凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3按尺寸分为2类，每类包含预设数量的矩形凹槽2；凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸也可以3个，即凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3按尺寸分为3类。需要进行说明的是，本实施例中凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸种类是根据TEM样品的种类进行设定的。
[0041]进一步地，为了保证碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致，上述载网1预设位置处可以开有载网豁口11。具体请参考图2，图2为本技术实施例提供的一种设置有载网豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图。
[0042]本实施例并不限定载网1预设位置的具体位置，只要是能够保证碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TEM样品成像的载网支持膜，其特征在于，包括：载网和用于容纳所述TEM样品的凹槽碳膜；所述凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜，所述多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合；所述凹槽碳膜覆盖于所述载网表面。2.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述载网预设位置处开有载网豁口。3.根据权利要求2所述的TEM样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述载网在所述载网中心沿所述矩形凹槽的轴线的垂直方向的边缘处，开有所述载网豁口。4.根据权利要求2所述的TEM样品成像的载网支持膜，其特征在于，所述凹槽碳膜开有碳膜豁口，所述凹槽碳膜在与所述载网贴合时，所述碳膜豁口的轴线与所述载网豁口的轴线垂直或重合。5.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨胜娜，叶红波，朱子轩，苟元华，徐鑫，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：