减薄仪自动上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了减薄仪自动上下料装置，属于减薄仪技术领域，包括离子减薄仪、夹子抓取机构、玻璃片抓取机构，还包括离子减薄仪上加装的承载板，承载板上螺丝固定有支架，支架上固定有横轴；夹子抓取机构包括抓手、抓手竖向移动组件，抓手竖向移动组件用于控制抓手上下移动；玻璃片抓取机构包括气动吸盘、薄玻璃片平台、玻璃片竖向移动组件、薄玻璃片平台横向移动组件；横轴上滑动连接有滑动座，滑动座远离横轴端螺丝固定有固定板，固定板两侧分别螺丝固定抓手竖向移动组件、玻璃片竖向移动组件；该减薄仪自动上下料装置可实现减薄仪样品自动拿取更换，用自动化代替人工的方式进行自动上下料，实现无人值守达到减少人工需求和劳动量的效果。动量的效果。动量的效果。

【技术实现步骤摘要】
减薄仪自动上下料装置


[0001]本技术属于减薄仪
，尤其涉及减薄仪自动上下料装置。

技术介绍

[0002]离子减薄技术是利用高速离子束的冲击作用将较厚的材料逐渐减薄至所需厚度的一种减薄技术。而样品被减薄的厚度及薄区面积大小是衡量离子减薄仪技术条件的一个最重要的指标。这两个指标又决定于被减薄样品与离子束之间的最小倾角的大小，倾角越小则样品被减薄的薄区面积越大，离子减薄仪适用于金属、陶瓷等耐离子束样品的减薄、清洁、抛光、切割。
[0003]之前离子减博仪是人工上下料，如广东吕顺智能科技有限公司生产的型号为ZX
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NV的离子减薄仪，在上料时，通过操作控制样品台伸出，人工取出内部样品的夹子，进行上料，同时需要人工监测孔径大小，人工需求大。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供减薄仪自动上下料装置，该减薄仪自动上下料装置可实现减薄仪样品自动拿取更换，用自动化代替人工的方式进行自动上下料，实现无人值守达到减少人工需求和劳动量的效果。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：减薄仪自动上下料装置，该减薄仪自动上下料装置包括离子减薄仪、夹子抓取机构、玻璃片抓取机构，其特征在于，还包括离子减薄仪上螺丝加装的承载板，承载板上螺丝固定有支架，支架上固定有横轴；
[0006]所述夹子抓取机构包括抓手、抓手竖向移动组件，抓手竖向移动组件用于控制抓手上下移动；
[0007]所述玻璃片抓取机构包括气动吸盘、薄玻璃片平台、玻璃片竖向移动组件、薄玻璃片平台横向移动组件，玻璃片竖向移动组件用于控制气动吸盘上下移动，薄玻璃片平台横向移动组件用于控制薄玻璃片平台横向移动；
[0008]所述横轴上滑动连接有滑动座，滑动座远离横轴端螺丝固定有固定板，固定板两侧分别螺丝固定所述抓手竖向移动组件、所述玻璃片竖向移动组件，固定板远离横轴端还螺丝固定有视觉相机，视觉相机对应于所述离子减薄仪的样品放置区域设置。
[0009]进一步的，所述横轴内部转动连接有第一丝杠，第一丝杠连接有减速电机，减速电机固定在横轴一端，第一丝杠外部螺纹连接所述滑动座。
[0010]进一步的，所述承载板上螺丝固定有夹子放置平台，夹子放置平台位于靠近所述抓手一侧，夹子放置平台上固定有若干的夹子固定座。
[0011]进一步的，所述抓手竖向移动组件包括螺丝固定在所述固定板上的第一导轨，第一导轨内部转动连接有第二丝杠，第二丝杠上端连接有第一电机，第二丝杠外部螺纹连接有抓手控制箱，抓手控制箱沿第一导轨上下方向滑动连接，抓手控制箱内部连接所述抓手。
[0012]进一步的，所述玻璃片竖向移动组件包括螺丝固定在所述固定板上的第二导轨，
第二导轨内部转动连接有第三丝杠，第三丝杠上端连接有第二电机，第二导轨外部滑动连接有连接座，连接座一端与第三丝杠螺纹连接，另一端固定所述气动吸盘。
[0013]进一步的，所述薄玻璃片平台横向移动组件包括螺丝固定在所述承载板上的第三导轨，第三导轨内部转动连接有第四丝杠，第四丝杠螺纹连接有支撑座，支撑座滑动在第三导轨上，支撑座远离第三导轨端螺丝固定所述薄玻璃片平台，第四丝杠一端连接有第三电机。
[0014]进一步的，所述支撑座远离第三导轨端还滑动连接有第四导轨，第四导轨螺丝固定在承载板上。
[0015]本技术的有益效果是：利用电机对抓手与气动吸盘的控制，实现自动化拿取玻璃片及夹子，可用自动化代替人工的方式进行自动上下料，实现无人值守达到减少人工需求和劳动量的效果。
附图说明
[0016]图1是本技术提供的一种减薄仪自动上下料装置的结构示意图；
[0017]图2是本技术提供的一种减薄仪自动上下料装置的第四丝杠结构示意图；
[0018]图3是本技术提供的一种减薄仪自动上下料装置的图1中I处放大示意图；
[0019]图4是本技术提供的一种减薄仪自动上下料装置的图2中II处放大示意图；
[0020]图5是本技术提供的一种减薄仪自动上下料装置的图2中III处放大示意图。
[0021]图中：1、离子减薄仪；2、承载板；3、支架；4、横轴；5、抓手；6、抓手竖向移动组件；7、气动吸盘；8、薄玻璃片平台；9、玻璃片竖向移动组件；10、薄玻璃片平台横向移动组件；11、滑动座；12、固定板；13、视觉相机；14、第一丝杠；15、减速电机；16、第四导轨；17、夹子放置平台；18、夹子固定座；19、第一导轨；20、第二丝杠；21、第一电机；22、抓手控制箱；23、第二导轨；24、第三丝杠；25、第二电机；26、连接座；27、第三导轨；28、第四丝杠；29、支撑座；30、第三电机。
具体实施方式
[0022]为能进一步了解本技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。
[0023]请同时参考图1至图5，下面将结合附图对本技术实施例的减薄仪自动上下料装置作详细说明。
[0024]如图1所示，该减薄仪自动上下料装置在原有的广东吕顺智能科技有限公司生产的型号为ZX
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NV的离子减薄仪的基础上进行改进，具体的还包括夹子抓取机构、玻璃片抓取机构，其中离子减薄仪1上螺丝加装的承载板2，承载板2上螺丝固定有支架3，支架3上固定有横轴4；
[0025]所述夹子抓取机构包括抓手5、抓手5竖向移动组件，抓手5竖向移动组件用于控制抓手5上下移动；
[0026]所述玻璃片抓取机构包括气动吸盘7、薄玻璃片平台8、玻璃片竖向移动组件9、薄玻璃片平台8横向移动组件，玻璃片竖向移动组件9用于控制气动吸盘7上下移动，薄玻璃片平台8横向移动组件用于控制薄玻璃片平台8横向移动；
[0027]所述横轴4上滑动连接有滑动座11，滑动座11远离横轴4端螺丝固定有固定板12，固定板12两侧分别螺丝固定所述抓手5竖向移动组件、所述玻璃片竖向移动组件9，固定板12远离横轴4端还螺丝固定有视觉相机13，视觉相机13对应于所述离子减薄仪1的样品放置区域设置。
[0028]在横轴4内部转动连接有第一丝杠14，第一丝杠14连接有减速电机15，减速电机15固定在横轴4一端，第一丝杠14外部螺纹连接滑动座11，进而滑动座11在移动时，可同时带动抓手5及气动吸盘7同时横向移动。
[0029]承载板2上螺丝固定有夹子放置平台17，夹子放置平台17位于靠近所述抓手5一侧，夹子放置平台17上固定有若干的夹子固定座18。
[0030]在实际操作时，需要打开离子减薄仪1，操作控制样品台自动上升，拿开样品台上覆盖的玻璃片，放置夹子，放置完成后，再次盖上玻璃片，因此带有样品的夹子放置完成，继而进行样品加工，调整电压等参数，进行穿孔加工，在完成加工后，伸出样品台，拿取出加工完成后的样品。
[0031]因此在实际操本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减薄仪自动上下料装置，包括离子减薄仪(1)、夹子抓取机构、玻璃片抓取机构，其特征在于，还包括离子减薄仪(1)上螺丝加装的承载板(2)，承载板(2)上螺丝固定有支架(3)，支架(3)上固定有横轴(4)；所述夹子抓取机构包括抓手(5)、抓手(5)竖向移动组件，抓手(5)竖向移动组件用于控制抓手(5)上下移动；所述玻璃片抓取机构包括气动吸盘(7)、薄玻璃片平台(8)、玻璃片竖向移动组件(9)、薄玻璃片平台(8)横向移动组件，玻璃片竖向移动组件(9)用于控制气动吸盘(7)上下移动，薄玻璃片平台(8)横向移动组件用于控制薄玻璃片平台(8)横向移动；所述横轴(4)上滑动连接有滑动座(11)，滑动座(11)远离横轴(4)端螺丝固定有固定板(12)，固定板(12)两侧分别螺丝固定所述抓手(5)竖向移动组件、所述玻璃片竖向移动组件(9)，固定板(12)远离横轴(4)端还螺丝固定有视觉相机(13)，视觉相机(13)对应于所述离子减薄仪(1)的样品放置区域设置。2.根据权利要求1所述的一种减薄仪自动上下料装置，其特征在于，所述横轴(4)内部转动连接有第一丝杠(14)，第一丝杠(14)连接有减速电机(15)，减速电机(15)固定在横轴(4)一端，第一丝杠(14)外部螺纹连接所述滑动座(11)。3.根据权利要求1所述的一种减薄仪自动上下料装置，其特征在于，所述承载板(2)上螺丝固定有夹子放置平台(17)，夹子放置平台(17)位于靠近所述抓手(5)一侧，夹子放置平台(17)上固定有若干的夹子固定座(18)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：白敬胜，钟嘉明，唐双叶，徐杰，
申请(专利权)人：中材新材料研究院广州有限公司，
类型：新型
国别省市：