一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件，包括载台和载样盘，所述载台的顶端中部开设有螺孔A，且螺孔A外侧的载台表面环形分布有载孔，所述载孔外侧的载台表面凸起有定位柱，且载孔的内部嵌入有载样盘，所述载台的上方依次设置有分隔架和扣盖，所述定位柱上方的分隔架处开设有定位槽，本实用新型专利技术在载台表面设置有较多的载孔，同时配置有专用的扣盖和分隔架进行压盖分隔，结构简单，无多余组件，高度兼容设备样品台，易保持清洁，对材料要求低；方便镊子取放样，不容易卡样，降低损坏样品的风险；可以同时放入多个样品，样品切换简便，提高数据采集效率；标记清晰，不容易混淆样品。不容易混淆样品。不容易混淆样品。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件


[0001]本技术涉及电子显微镜载台
，特别涉及一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件。

技术介绍

[0002]电子显微镜，简称电镜，经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，透射电子显微镜的分辨率为0.2nm，也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。
[0003]专利号CN202021277258.3的一种用于扫描电子显微镜的粉末样品多样品试样载台，包括基台，基台的上部设置有区域分隔盖板，区域分隔盖板的中部开设有若干样品放置孔，区域分隔盖板的两侧表面开设有若干通孔，基台的顶部两侧表面开设有定位孔，定位孔内设置有定位机构，基台的顶部表面靠近通孔处开设有螺纹孔，区域分隔盖板上设置有螺栓。该用于扫描电子显微镜的粉末样品多样品试样载台能够一次性放置多个样品，可以节约实验时间，能够将多个样品之间进行分隔，从而有效防止交叉污染，并且能保持多个粉末样品放置稳定，在使用过后可将区域分隔盖板拆下，便于进行清洗操作。
[0004]制备好的透射电子显微镜薄片样品有时候需要在扫描电子显微镜下进行形貌表征、获取数据，或者进行批量透射薄区预筛选。对于生物类扫描电子显微镜，通常会配备载孔较多的专用样品阵列载台，价格高昂。如样品为块体材料，一般只有如TKD应用附加的单个夹具。这样的载台：效率低，部分载台孔数少，在处理批量样品时更换次数多，浪费大量时长进行换样操作、抽解真空；样品取放风险高，部分载台扣件解除困难，或是陷盘结构不合理，可能在装卸过程中对样品施加不必要的力，损伤透射样品薄区。部分载台未配备限制结构，容易在装卸过程中混淆样品，为此，我们提出一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件，包括载台和载样盘，所述载台的顶端中部开设有螺孔A，且螺孔A外侧的载台表面环形分布有载孔，所述载孔外侧的载台表面凸起有定位柱，且载孔的内部嵌入有载样盘，所述载台的上方依次设置有分隔架和扣盖，所述定位柱上方的分隔架处开设有定位槽，且定位槽上方的扣盖处开设有定位孔，所述载孔上方的分隔架处开设有分隔槽，且载孔和分隔槽上方的扣盖表面开设有通孔，所述扣盖的顶端中部螺纹旋接有螺栓。
[0008]进一步地，所述螺栓的螺纹栓体尺寸与螺孔A和螺孔B的螺纹内孔尺寸适配；尺寸
适配的螺栓可以与螺孔A和螺孔B进行适配性的螺纹旋接。
[0009]进一步地，所述定位柱在载台的表面设置有三组，且定位槽在分隔架处设置有三组，所述定位孔在扣盖的表面设置有三组；三组的定位柱与分给架处三组的定位槽和扣盖处三组的定位孔进行三点定位嵌合。
[0010]进一步地，所述定位柱的柱体尺寸与定位槽和定位孔的槽孔尺寸相适配；定位柱可以与尺寸适配的定位槽和定位孔进行顺畅嵌合。
[0011]进一步地，所述载样盘的盘体直径小于载孔的孔体直径，且载样盘的盘体处开设有槽口；较小的载样盘嵌入载孔后与孔壁之间留有间隙，而载样盘一侧的槽口，方便镊子夹样下放到载样盘内或从盘中摄起样品，较多的载孔可以同时放入较多的样品。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]本技术通过在载台的表面环形开设有较多的载孔，用镊子夹样下放到载样盘内，并将载样盘放入载孔内，此时使用分隔架压在载台的表面，并使用扣盖盖在分隔架的表面，使得分隔架的定位槽与载台的定位柱嵌合，液使得扣盖的定位孔与定位柱嵌合定位，此时使用扣盖处的螺栓旋过分隔架的螺孔B后旋入载台的螺孔A处旋接固定，此种载台可提高每次上样量，减少抽放真空耗时。且扣盖上可用记号笔方便地标注样品编号，防止混淆，三个定位柱采用非对称设计，和分隔架以及载样盘位置严格对应，同样减少用户混淆样品或载样盘的机会，本技术结构简单，无多余组件，高度兼容设备样品台，易保持清洁，对材料要求低；方便镊子取放样，不容易卡样，降低损坏样品的风险；可以同时放入多个样品，样品切换简便，提高数据采集效率；标记清晰，不容易混淆样品。
附图说明
[0014]图1为本技术一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件的爆炸图。
[0015]图2为本技术一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件的分隔架与载台组装示意图。
[0016]图中：1、载台；2、螺孔A；3、载孔；4、定位柱；5、分隔架；6、螺孔B；7、定位槽；8、扣盖；9、通孔；10、定位孔；11、螺栓；12、载样盘。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]如图1
‑
2所示，一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件，包括载台1和载样盘12，所述载台1的顶端中部开设有螺孔A2，且螺孔A2外侧的载台1表面环形分布有载孔3，所述载孔3外侧的载台1表面凸起有定位柱4，且载孔3的内部嵌入有载样盘12，所述载台1的上方依次设置有分隔架5和扣盖8，所述定位柱4上方的分隔架5处开设有定位槽7，且定位槽7上方的扣盖8处开设有定位孔10，所述载孔3上方的分隔架5处开设有分隔槽，且载孔3和分隔槽上方的扣盖8表面开设有通孔9，所述扣盖8的顶端中部螺纹旋接有螺栓11。
[0019]其中，所述螺栓11的螺纹栓体尺寸与螺孔A2和螺孔B6的螺纹内孔尺寸适配；尺寸
适配的螺栓11可以与螺孔A2和螺孔B6进行适配性的螺纹旋接。
[0020]其中，所述定位柱4在载台1的表面设置有三组，且定位槽7在分隔架5处设置有三组，所述定位孔10在扣盖8的表面设置有三组；三组的定位柱4与分给架5处三组的定位槽7和扣盖8处三组的定位孔10进行三点定位嵌合。
[0021]其中，所述定位柱4的柱体尺寸与定位槽7和定位孔10的槽孔尺寸相适配；定位柱4可以与尺寸适配的定位槽7和定位孔10进行顺畅嵌合。
[0022]其中，所述载样盘12的盘体直径小于载孔3的孔体直径，且载样盘12的盘体处开设有槽口；较小的载样盘12嵌入载孔3后与孔壁之间留有间隙，而载样盘12一侧的槽口，方便镊子夹样下放到载样盘12内或从盘中摄起样品，较多的载孔3可以同时放入较多的样品。
[0023]需要说明的是，本技术为一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件，在载台1的表面环形开设有较多的载孔3，用镊子夹样下放到载样盘12内，并将载样盘12放入载孔3内，此时使用分隔架5压在载台1的表面，并使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台与辅助构件，包括载台(1)和载样盘(12)，其特征在于：所述载台(1)的顶端中部开设有螺孔A(2)，且螺孔A(2)外侧的载台(1)表面环形分布有载孔(3)，所述载孔(3)外侧的载台(1)表面凸起有定位柱(4)，且载孔(3)的内部嵌入有载样盘(12)，所述载台(1)的上方依次设置有分隔架(5)和扣盖(8)，所述定位柱(4)上方的分隔架(5)处开设有定位槽(7)，且定位槽(7)上方的扣盖(8)处开设有定位孔(10)，所述载孔(3)上方的分隔架(5)处开设有分隔槽，且载孔(3)和分隔槽上方的扣盖(8)表面开设有通孔(9)，所述扣盖(8)的顶端中部螺纹旋接有螺栓(11)。2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜用透射电镜样品阵列载台...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁卓麟，白敬胜，
申请(专利权)人：中材新材料研究院广州有限公司，
类型：新型
国别省市：