一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，包括：样品架和样品卡，样品架包括支架框架、设于支架框架上的调整机构、以及与调整机构相连接的活动台，其中，活动台上具备用于容纳样品卡的样品卡槽；其中，调整机构包括第一方向调整机构和垂直于第一方向调整机构的第二方向调整机构，第一方向调整机构与支架框架相连接，第二方向调整机构与第一方向调整机构相连接，活动台与第二方向调整机构相连接；第一方向调整机构驱动活动台沿第一方向运动，第二方向调整机构驱动活动台沿第二方向运动。本实用新型专利技术的双调整结构能保证样品活动台携带片状样品，在竖直平面内有限范围任意活动，进而满足同一样品不同点位的连续测试。试。试。

【技术实现步骤摘要】
一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统


[0001]本技术涉及夹具的
，尤其涉及一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统。

技术介绍

[0002]现有结构通过旋转夹持的方式对样品片进行夹持固定，这类样品架通常包括基板和与基板可转动地连接的夹板，夹板与基板之间设置扭簧，夹板和基板上均开设通光孔，样品片被夹持于夹板和基板之间。
[0003]然而，上述的样品架在旋转夹持的过程中，基板与夹板在挤压时容易产生磨损，从而影响整个装置的使用寿命；同时，由于上述的样品架通过夹持固定样品，会挤压损伤样品表面，影响产品质量；
[0004]另一方面，现有的样品架需要多次放取样品，才能对同一样品多区域光谱均匀性研究测试。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统。
[0006]为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，包括：
[0008]样品架和样品卡，所述样品架包括支架框架、设于所述支架框架上的调整机构、以及与所述调整机构相连接的活动台，其中，所述活动台上具备用于容纳所述样品卡的样品卡槽；
[0009]其中，所述调整机构包括第一方向调整机构和垂直于所述第一方向调整机构的第二方向调整机构，所述第一方向调整机构与所述支架框架相连接，所述第二方向调整机构与所述第一方向调整机构相连接，所述活动台与所述第二方向调整机构相连接；
[0010]所述第一方向调整机构驱动所述活动台沿第一方向运动，所述第二方向调整机构驱动所述活动台沿第二方向运动。
[0011]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述第一方向调整机构和所述第二方向调整机构均为丝杆滑块副。
[0012]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述活动台呈框架结构，所述活动台的一侧的表面沿所述活动台的内缘开设有台阶部，所述样品卡架设于所述台阶部处。
[0013]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述台阶部的上表面设有所述样品卡槽。
[0014]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，还包括：用于将样品固定于所述样品卡上的一个或多个角磁铁，所述角磁铁呈“L”字型。
[0015]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述角磁铁的截面包括：朝向所述样品卡的宽度较窄的第一部分、背对于所述样品卡的宽度较宽的第二部分、以及连接所述第一部分和所述第二部分的第三部分。
[0016]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述活动台呈矩形框架结构，所述样品卡呈矩形，所述角磁铁有四个，四个所述角磁铁分别设于所述样品卡的四个角部。
[0017]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述样品卡上开设有呈米字型的测试槽。
[0018]上述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其中，所述样品卡上开设有呈九点窗格型的测试槽。
[0019]本技术由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：
[0020](1)本技术的双调整结构能保证样品活动台携带片状样品，在竖直平面内有限范围任意活动，进而满足同一样品不同点位的连续测试。
[0021](2)本技术为适用半导体领域常见片状材料5或9点光谱测试，设计米字型、九点窗格型的样品卡，实际情况可根据需要设计多种样式样品卡，只需保证外尺寸一致即可。
[0022](3)本技术通过角磁铁固定样品，最小范围接触样品表面，既保证了样品的稳定测试，又最低限度的保护样品表面有效区域。
附图说明
[0023]图1是本技术的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统的侧面示意图。
[0024]图2是本技术的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统的正面示意图。
[0025]图3是本技术的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统的样品卡的示意图。
[0026]图4是本技术的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统的样品卡的示意图。
[0027]图5是本技术的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统的角磁铁的示意图。
[0028]图6是本技术的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统的角磁铁的截面示意图。
[0029]附图中：1、样品架；11、支架框架；12、活动台；121、样品卡槽；122、台阶部；13、第一方向调整机构；14、第二方向调整机构；2、样品卡；21、测试槽；22、测试槽；3、角磁铁；31、第一部分；32、第二部分；33、第三部分。
具体实施方式
[0030]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前”、
“
后”、“横向”、“竖向”等术语所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或原件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]需要特别说明的是，本技术中的“水平”、“垂直”均用于说明大致位置关系，而并非严格的“水平面”或“竖直面”。
[0033]请参见图1至图6所示，示出一种较佳实施例的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，包括：样品架1和样品卡2，样品架1包括支架框架11、设于支架框架11上的调整机构、以及与调整机构相连接的活动台12，其中，活动台12上具备用于容纳样品卡2的样品卡槽121。
[0034]进一步，作为一种较佳的实施例，其中，调整机构包括第一方向调整机构13和垂直于第一方向调整机构13的第二方向调整机构14，第一方向调整机构13与支架框架11相连接，第二方向调整机构14与第一方向调整机构13相连接，活动台12与第二方向调整机构14相连接。
[0035]进一步，作为一种较佳的实施例，第一方向调整机构13驱动活动台12沿第一方向运动，第二方向调整机构14驱动活动台12沿第二方向运动。
[0036]进一步，作为一种较佳的实施例，第一方向调整机构13和第二方向调整机构14均为丝杆滑块副。
[0037]具体地，丝杆滑块副可包括丝杆和与丝杆相匹配的丝杆滑块，其中，丝杆通过丝杆座固定至相应的基座，丝杆滑块固定至相应的运动构件。更具体的，例如第一方向调整机构13的丝杆通过丝杆座固定至样品架1；第二方向调整机构14的丝杆通过丝杆座固定至第一方向调整机构13的丝杆滑块上。其中，丝杆滑块可以同步地设置有多个。
[0038]当然，在其他的实施例中，丝杆滑块副也可以采用其他本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其特征在于，包括：样品架和样品卡，所述样品架包括支架框架、设于所述支架框架上的调整机构、以及与所述调整机构相连接的活动台，其中，所述活动台上具备用于容纳所述样品卡的样品卡槽；其中，所述调整机构包括第一方向调整机构和垂直于所述第一方向调整机构的第二方向调整机构，所述第一方向调整机构与所述支架框架相连接，所述第二方向调整机构与所述第一方向调整机构相连接，所述活动台与所述第二方向调整机构相连接；所述第一方向调整机构驱动所述活动台沿第一方向运动，所述第二方向调整机构驱动所述活动台沿第二方向运动。2.根据权利要求1所述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其特征在于，所述第一方向调整机构和所述第二方向调整机构均为丝杆滑块副。3.根据权利要求1所述的可移动式红外透射光谱测试样品夹具系统，其特征在于，所述活动台呈框架结构，所述活动台的一侧的表面沿所述活动台的内缘开设有台阶部，所述样品卡架设于所述台阶部处。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周进，郑晶晶，张国杰，彭成盼，
申请(专利权)人：浙江珏芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：