一种多层膜复合钎料制备装置制造方法及图纸

一种多层膜复合钎料制备装置，包括机架和设置在机架上的电弧离子镀室与磁溅真空室；所述电弧离子镀室和磁溅真空室均设置有用于调节气压的真空调节组件；所述电弧离子镀室包括镀膜室本体和设置在镀膜室本体内的内圆圈架，镀膜室本体侧壁上设置有多个离子源，镀膜室本体底部设置有旋转组件，旋转组件用于带动内圆圈架转动，内圆圈架上固定有样品托，内圆圈架内沿轴向贯穿设置有加热棒；所述磁溅真空室包括磁溅真空室本体、磁控溅射枪和样品托，磁控溅射枪设置在磁溅真空室本体内的顶部，样品托转动设置在磁溅真空室本体内的底部。本实用新型专利技术能够制备出润湿性好、钎焊温度低的钛基多层膜复合钎料，弥补市场多层膜复合钎料制备装置的空白。的空白。的空白。

【技术实现步骤摘要】
一种多层膜复合钎料制备装置


[0001]本技术涉及钎焊材料制备
，具体涉及一种多层膜复合钎料制备装置。

技术介绍

[0002]钎料是为实现两种材料或零件的结合，在其间隙内或间隙旁所加的填充料，适宜连接复杂、精密、多铤缝或异类材料的焊接。复合钎料是在一般的合金钎料中复合入一定体积比的作为增强相的各种形态的高温合金、碳纤维、陶瓷等所形成的钎料。这种钎料通过复合效应，形成了类似于金属基复合材料的复合钎料，一般具有较好的填缝能力以及较低的热膨胀系数等特点，能够实现陶瓷与金属接头的匹配，降低残余应力，提高接头高温强度。但是，钛基钎料本身比较脆、塑性差、可加工性性能差、钛基薄带钎料成形难，在制备超薄钛基钎料时存在局限性和难度。多层膜复合钎料包含一层作为基体钎料的复合钎料以及覆盖在基体钎料两个表面的多层纳米薄膜，利用多层膜钎料制备技术可成功研制出钛基多层膜钎料，解决困扰钎焊工作者的钛基薄型钎料的成形难题。
[0003]专利号为CN107186373A的中国专利技术专利“一种钛基多层膜钎料及其制备方法”，公布了一种利用真空原位和磁控溅射技术制备钛本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层膜复合钎料制备装置，其特征在于：包括机架(1)和设置在机架(1)上的电弧离子镀室与磁溅真空室；所述电弧离子镀室和磁溅真空室均设置有真空调节组件，真空调节组件用于调节镀膜室本体(3)和磁溅真空室本体(5)内的气压；所述电弧离子镀室包括镀膜室本体(3)和设置在镀膜室本体(3)内的内圆圈架(6)，镀膜室本体(3)侧壁上设置有多个离子源(8)，镀膜室本体(3)底部设置有旋转组件，旋转组件用于带动内圆圈架(6)转动，内圆圈架(6)上固定有样品托，内圆圈架(6)内沿轴向贯穿设置有加热棒(10)；所述磁溅真空室包括磁溅真空室本体(5)、磁控溅射枪(4)和样品托，磁控溅射枪(4)设置在磁溅真空室本体(5)内的顶部，样品托转动设置在磁溅真空室本体(5)内的底部。2.如权利要求1所述一种多层膜复合钎料制备装置，其特征在于：所述机架(1)上设置有控制面板(2)，控制面板(2)电性连接有控制器。3.如权利要求1所述一种多层膜复合钎料制备装置，其特征在于：所述真空调节组件包括高...

【专利技术属性】
技术研发人员：王星星，李阳，何鹏，李红，温国栋，贾连辉，龙伟民，于华，纠永涛，方乃文，金李梅，吴文君，顾立勇，李帅，王振，
申请(专利权)人：华北水利水电大学，
类型：新型
国别省市：