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一种多层膜复合钎料制备装置制造方法及图纸
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下载一种多层膜复合钎料制备装置的技术资料
文档序号:37750878
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一种多层膜复合钎料制备装置,包括机架和设置在机架上的电弧离子镀室与磁溅真空室;所述电弧离子镀室和磁溅真空室均设置有用于调节气压的真空调节组件;所述电弧离子镀室包括镀膜室本体和设置在镀膜室本体内的内圆圈架,镀膜室本体侧壁上设置有多个离子源,镀...
该专利属于华北水利水电大学所有,仅供学习研究参考,未经过华北水利水电大学授权不得商用。
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