【技术实现步骤摘要】
一种切屑液循环装置
[0001]本技术涉及硅片切割机
,具体为一种切屑液循环装置。
技术介绍
[0002]硅片切割机又名硅片激光切割机、激光划片机。硅片切割机工作原理是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割,切割过程中必须要用到切屑液,切屑液使用后会混有碎屑,无法再使用,造成切屑液的浪费。
技术实现思路
[0003]为了解决现有切屑液无法循环使用,使用成本高的问题,本技术提供了一种切屑液循环装置,其能够实现切屑液的循环再利用,降低成本。
[0004]其技术方案是这样的:一种切屑液循环装置,其包括废液箱,其特征在于,所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口,所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端,所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口,所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。
[0005]其进一步特征在于,所述过滤箱顶部开口并安装有箱盖,所述过滤箱内安装有至少两层过滤网;
[0006]所述冷却箱内安装有冷却盘管,所述冷却盘管两端分别连接所述冷却箱的切屑液进口和切屑液出口,所述冷却箱内设有浸没所述冷却盘管的冷却水;
[0007]所述冷却箱上开设有冷却水进口和冷却水出口。
[0008]采用本技术后,使用过后的切屑液进入废液箱内,经过气动隔膜泵将箱内的带有碎屑的废液一起带出进入过滤箱内,经过过滤箱过滤后再进入冷却箱进行冷却,得到温度较低的干净切屑液,送回切屑液存储箱,可以循环再使用,整个过程 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种切屑液循环装置,其包括废液箱,其特征在于,所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口,所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端,所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口,所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。2.根据权利要求1所述的一种切屑液循环装置,其特征在于,所述过滤箱顶部开口并安装有箱盖...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜金胜,俞小石,
申请(专利权)人:无锡宝德金装备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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