一种切屑液循环装置制造方法及图纸

技术编号:37750175 阅读:9 留言:0更新日期:2023-06-05 23:36
本实用新型专利技术涉及硅片切割机技术领域,具体为一种切屑液循环装置,其能够实现切屑液的循环再利用,降低成本,其包括废液箱,其特征在于,所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口,所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端,所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口,所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。出口通过回液管连接切屑液存储箱。出口通过回液管连接切屑液存储箱。

【技术实现步骤摘要】
一种切屑液循环装置


[0001]本技术涉及硅片切割机
,具体为一种切屑液循环装置。

技术介绍

[0002]硅片切割机又名硅片激光切割机、激光划片机。硅片切割机工作原理是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割,切割过程中必须要用到切屑液,切屑液使用后会混有碎屑,无法再使用,造成切屑液的浪费。

技术实现思路

[0003]为了解决现有切屑液无法循环使用,使用成本高的问题,本技术提供了一种切屑液循环装置,其能够实现切屑液的循环再利用,降低成本。
[0004]其技术方案是这样的:一种切屑液循环装置,其包括废液箱,其特征在于,所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口,所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端,所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口,所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。
[0005]其进一步特征在于,所述过滤箱顶部开口并安装有箱盖,所述过滤箱内安装有至少两层过滤网;
[0006]所述冷却箱内安装有冷却盘管,所述冷却盘管两端分别连接所述冷却箱的切屑液进口和切屑液出口,所述冷却箱内设有浸没所述冷却盘管的冷却水;
[0007]所述冷却箱上开设有冷却水进口和冷却水出口。
[0008]采用本技术后,使用过后的切屑液进入废液箱内,经过气动隔膜泵将箱内的带有碎屑的废液一起带出进入过滤箱内,经过过滤箱过滤后再进入冷却箱进行冷却,得到温度较低的干净切屑液,送回切屑液存储箱,可以循环再使用,整个过程基本没有造成切屑液的浪费,降低了成本。
附图说明
[0009]图1为本技术结构示意图。
具体实施方式
[0010]见图1所示,一种切屑液循环装置,其包括废液箱1,废液箱1底部通过带排污阀2的排污管3连接气动隔膜泵4的进口,气动隔膜泵4的出口连接过滤箱5的一端,过滤箱5的另一端通过抽吸泵6连接冷却箱7的切屑液进口,冷却箱7的切屑液出口通过回液管8连接切屑液存储箱9。
[0011]过滤箱5顶部开口并安装有箱盖10,过滤箱5内安装有两层过滤网11,上层过滤网11起到主要过滤作用,下层起到辅助过滤,由于气动隔膜泵的存在,碎屑只会在过滤箱5内堆积,每次只需对过滤箱5进行处理,当需要更换过滤网11时,打开箱盖10即可方便进行更
换,切割机无需停机,只需要短暂关闭排污阀2和气动隔膜泵4即可。
[0012]冷却箱7内安装有冷却盘管12,冷却盘管12两端分别连接冷却箱7的切屑液进口和切屑液出口,冷却箱7内设有浸没冷却盘管12的冷却水,将原本温度较高的切屑液进行冷却,并且冷却效果较好,冷却箱7上开设有冷却水进口13和冷却水出口14,方便与对冷却水进行更换。
[0013]使用过后的切屑液先过滤再冷却后,可以循环再使用,有效的降低了成本。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切屑液循环装置,其包括废液箱,其特征在于,所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口,所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端,所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口,所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。2.根据权利要求1所述的一种切屑液循环装置,其特征在于,所述过滤箱顶部开口并安装有箱盖...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜金胜俞小石
申请(专利权)人:无锡宝德金装备科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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