自支撑薄膜滤片的脱膜系统技术方案

一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统，包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环，夹装装置采用单面卡槽，排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响，使得液面下降过程中，膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消，同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计，使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中，具备细密孔眼的滤板减缓了液流，以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式，本实用新型专利技术减少了人为操作，同时降低了溶液扰动，具有更好的可控性和抗干扰性，提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。功率。功率。

【技术实现步骤摘要】
自支撑薄膜滤片的脱膜系统


[0001]本技术属于精密光学元件领域，具体涉及一种自支撑薄膜滤片的立式脱膜系统。

技术介绍

[0002]自支撑薄膜滤片是短波长研究领域的重要光学元件，薄膜厚度通常为百纳米级。其常规制备流程是首先通过磁控溅射、电子束蒸发等方法在可溶性衬底或“脱膜剂”表面沉积所需厚度的薄膜，然后将衬底或“脱膜剂”溶解，从而得到自支撑的薄膜滤片。相比于具有额外支撑结构的滤片，自支撑的滤片普遍存在机械强度低的缺陷，同时薄膜在制备过程中一般要承受较大的内应力，这就使得薄膜在脱膜过程中极易发生破损。因此，有效的脱膜装置与系统、及其脱膜方法的可靠性，对于提升自支撑薄膜滤片的制备成功率至关重要。
[0003]目前最常见的脱膜方法为漂浮法。该方法是将镀有薄膜的基底以一定倾角缓慢置于溶液中，随着基底的溶解，薄膜在液面与空气的交界处与基底逐步分离，待基底完全脱离后，薄膜漂浮于液面，再用安装环等辅助结构将薄膜从溶液中捞出。这种方法的缺陷主要有以下两方面：1)需要依赖人为手法的操作，可控性与可重复性较差，难以精确控制基底倾斜的角度以及薄膜解离的速率；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统，其特征在于，包括固定装置、夹装装置和排液装置；所述的固定装置，设有供胶粘剂填充的凹槽，从而固定住薄膜滤片；所述的夹装装置，用于竖直嵌入所述的固定装置以实现对其的立式夹持；所述的排液装置，具有容纳所述的固定装置、夹装装置以及脱膜溶液的空间，且设有可控制所述脱膜溶液流出流速的阀门装置。2.根据权利要求1所述的自支撑薄膜滤片的脱膜系统，其特征在于，所述的固定装置为安装环(1)，该安装环为外径与薄膜直径相同的空心圆环，且在一侧环面上设有一圈半圆型的凹槽，用于填充涂胶；同时为所述的薄膜滤片边缘处提供辅助支撑，确保薄膜滤片的实际工作区域与外界无接触。3.根据权利要求2所述的自支撑薄膜滤片的脱膜系统，其特征在于，所述的夹装装置包括夹具(2)、底座(4)和操作杆(5)；所述的夹具(2)呈凹型，且设有卡槽(3)，使所述的安装环(1)嵌入并固定；所述的夹具(2)固定在所述的底座(4)中部，该底座(4)的两侧采用镂空设计，确保薄膜滤片两侧脱膜溶液流动的稳定性；所述的操...

【专利技术属性】
技术研发人员：李笑然，谢模杰，赵娇玲，陈逸文，邵宇川，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：