本实用新型专利技术涉及热真空测试技术领域，且公开了一种功率器件热真空测试装置，包括筒体，所述筒体一侧底部设置有真空机，所述筒体内侧设置有放置板，所述筒体上扣合有设备罩，所述设备罩上固定安装有真空针，所述真空针一侧设置有气体冲洗机构。该种功率器件热真空测试装置，打开微调阀，然后高压气泵工作，抽取储气罐内部气体，高压气体通过抽取进入连接管中，并通过连接管进入导气管中，并通过喷嘴喷出，使得高压气体对阴极表面进行轰击，对阴极表面气体进行轰离，避免各种气体在真空计的阴极上堆积，使得真空计出现污染，从而影响试验设备真空环境，导致产品测试不准的情况发生。导致产品测试不准的情况发生。导致产品测试不准的情况发生。
【技术实现步骤摘要】
一种功率器件热真空测试装置
[0001]本技术涉及热真空测试
，具体为一种功率器件热真空测试装置。
技术介绍
[0002]热真空试验就是将产品置于热真空试验装置中，由试验设备提供模拟的真空环境，即是使产品在真空条件下，通过热浸、冷浸形成温度循环，以此检验产品的空间环境适应性。
[0003]在对试验设备对产品进行检测时，需要通过热阴极电离真空计探测设备内部的真空环境，但是，产品在真空状态下进行检测时，表面会产生各种气体，而产生的气体会不断堆积在真空计的阴极上，使得真空计出现污染，真空值显示不准，从而影响试验设备真空环境，导致产品测试不准情况。
技术实现思路
[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种功率器件热真空测试装置，具备有效对真空计阴极表面各种气体进行清除的优点，解决了
技术介绍
提出的问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现上述有效对真空计阴极表面各种气体进行清除的目的，本技术提供如下技术方案：一种功率器件热真空测试装置，包括筒体，所述筒体一侧底部设置有真空机，所述筒体内侧设置有放置板，所述筒体上扣合有设备罩，所述设备罩上固定安装有真空针，所述真空针一侧设置有气体冲洗机构。
[0008]优选的，所述气体冲洗机构包含有导气管，所述导气管固定安装在真空针一侧，所述导气管一端固定安装有喷嘴，所述喷嘴设置在真空针阴负极一侧，所述导气管上与喷嘴相对一端固定安装有微调阀，所述微调阀一侧固定安装有连接管，所述连接管外侧中部固定安装有高压气泵，所述连接管一端固定安装有储气罐。
[0009]优选的，所述筒体底部设置有底座，所述底座上固定安装有加热器，所述加热器一侧固定安装有电源线。
[0010]优选的，所述筒体上方固定安装有凸块，所述设备罩底部开设有凹槽，所述凸块插接在凹槽内侧。
[0011]优选的，所述放置板上开设有若干通孔。
[0012]优选的，所述储气罐中的气体为氦气、氖气、氩气、氪气、氙气任意一种。
[0013]（三）有益效果
[0014]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0015]1、该种功率器件热真空测试装置，打开微调阀，然后高压气泵工作，抽取储气罐内部气体，高压气体通过抽取进入连接管中，并通过连接管进入导气管中，并通过喷嘴喷出，使得高压气体对阴极表面进行轰击，对阴极表面气体进行轰离，避免各种气体在真空计的
阴极上堆积，使得真空计出现污染，从而影响试验设备真空环境，导致产品测试不准的情况发生。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术放置板安装结构示意图；
[0018]图3为本技术喷嘴安装结构示意图。
[0019]图中：1、筒体；2、设备罩；3、真空针；4、气体冲洗机构；401、储气罐；402、导气管；403、连接管；404、高压气泵；405、微调阀；406、喷嘴；5、真空机；6、电源线；7、底座；8、加热器；9、放置板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例一
[0022]请参阅图1
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3，一种功率器件热真空测试装置，包括筒体1，筒体1一侧底部设置有真空机5，筒体1内侧设置有放置板9，放置板9上开设有若干通孔，方便产品进行冷浸、热浸试验，筒体1上扣合有设备罩2，设备罩2上固定安装有真空针3，真空针3一侧设置有气体冲洗机构4，气体冲洗机构4包含有导气管402，导气管402固定安装在真空针3一侧，导气管402一端固定安装有喷嘴406，喷嘴406设置在真空针3阴负极一侧，导气管402上与喷嘴406相对一端固定安装有微调阀405，微调阀405一侧固定安装有连接管403，连接管403外侧中部固定安装有高压气泵404，连接管403一端固定安装有储气罐401，对真空针3阴极表面气体进行清理时，打开微调阀405，然后高压气泵404工作，抽取储气罐401内部气体，高压气体通过抽取进入连接管403中，并通过连接管403进入导气管402中，并通过喷嘴406喷出，使得高压气体对阴极表面进行轰击，对阴极表面气体进行轰离，轰离后的气体会通过真空机5抽取排出。
[0023]进一步的，筒体1底部设置有底座7，底座7上固定安装有加热器8，加热器8一侧固定安装有电源线6，将产品放置在放置板9上，然后将设备罩2扣合在筒体1上，完成后，通过真空机5抽取筒体1内部气体，使得筒体1内部产生真空，并通过真空针3观察筒体1内部真空度，到达所需试验环境后，通过电源线6使得加热器8对真空度环境进行加热，对产品进行测试。
[0024]进一步的，筒体1上方固定安装有凸块，设备罩2底部开设有凹槽，凸块插接在凹槽内侧。用于对筒体1和设备罩2之间实现密封状态。
[0025]进一步的，储气罐401中的气体为氦气、氖气、氩气、氪气、氙气任意一种，用于方便对惰性气体进行排出。
[0026]工作原理：对产品进行热真空试验时，将产品放置在放置板9上，然后将设备罩2扣合在筒体1上，完成后，通过真空机5抽取筒体1内部气体，使得筒体1内部产生真空，并通过
真空针3观察筒体1内部真空度，到达所需试验环境后，通过电源线6使得加热器8对真空度环境进行加热，对产品进行测试。
[0027]需要对真空针3阴极表面气体进行清理时，打开微调阀405，然后高压气泵404工作，抽取储气罐401内部气体，高压气体通过抽取进入连接管403中，并通过连接管403进入导气管402中，并通过喷嘴406喷出，使得高压气体对阴极表面进行轰击，对阴极表面气体进行轰离，轰离后的气体会通过真空机5抽取排出。
[0028]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种功率器件热真空测试装置，包括筒体（1）；其特征在于：所述筒体（1）一侧底部设置有真空机（5），所述筒体（1）内侧设置有放置板（9），所述筒体（1）上扣合有设备罩（2），所述设备罩（2）上固定安装有真空针（3），所述真空针（3）一侧设置有气体冲洗机构（4）。2.根据权利要求1所述的一种功率器件热真空测试装置，其特征在于：所述气体冲洗机构（4）包含有导气管（402），所述导气管（402）固定安装在真空针（3）一侧，所述导气管（402）一端固定安装有喷嘴（406），所述喷嘴（406）设置在真空针（3）阴负极一侧，所述导气管（402）上与喷嘴（406）相对一端固定安装有微调阀（405），所述微调阀（405）一侧固定安装有连接管（403），所述连接管（403）外...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡志平，尤伟松，
申请(专利权)人：上海临港车规半导体研究有限公司，
类型：新型
国别省市：
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