一种研磨废水MBR系统装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废水处理的技术领域，特别是涉及一种研磨废水MBR系统装置，其在满足高通量的过滤同时，提供了曝气减少膜面污染，且具有对于通气管路的防护，提高可靠性；包括底座、研磨废水处理箱、膜板安装架、MBR平板膜、曝气头、气管、平台、管约束架、回转式风机和单向阀，底座顶端右侧与研磨废水处理箱底端相连接，研磨废水处理箱内部中侧连接有膜板安装架，膜板安装架内可拆卸安装有MBR平板膜，曝气头输入端与气管一端相连通，底座顶端中部与回转式风机底端相连接，回转式风机输出单气管另一端相连接，研磨废水处理箱左上端与平台右端相连接，平台右中侧与管约束架底端相连接，气管绕过管约束架上侧，且气管上安装有单向阀。且气管上安装有单向阀。且气管上安装有单向阀。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨废水MBR系统装置


[0001]本技术涉及废水处理的
，特别是涉及一种研磨废水MBR系统装置。

技术介绍

[0002]目前国家大力发展晶圆厂，在晶棒、晶圆的制造过程中，切割、研磨、划片、减薄、化学研磨平坦化(CMP)等工艺后的清洗过程中，均会产生研磨废水。研磨废水中含有少量的研磨膏、被研磨下来的微小颗粒以及清洗剂，但其中的水质比较好，电导率和TOC(Total Organic Carbon，总有机碳)含量都比较低，具有回收利用的价值。
[0003]研磨、划片废水回收的难点在于废水中的颗粒物非常微小，采用传统的超滤膜过滤，膜污染严重，且难以清洗。现有技术中一般采用混凝沉淀进行预处理，再运用有机超滤膜的孔径小的特点，对研磨废水中的微小颗粒进行截留，合格的产水进行回收。但是，由于研磨废水中的颗粒物比较锋利，且有机超滤存在机械强度不足，容易断丝且过滤效果较差的情况。另外，普通有机超滤对进水中SS(Suspended Solids，悬浮物)和TOC的容忍度有限，对预处理的要求严格，化学稳定性有限，运行故障后，膜的性能恢复性不理想等缺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨废水MBR系统装置，其特征在于，包括底座（1）、研磨废水处理箱（2）、膜板安装架（3）、MBR平板膜（4）、曝气头（5）、气管（6）、平台（7）、管约束架（8）、回转式风机（9）和单向阀（10），底座（1）顶端右侧与研磨废水处理箱（2）底端相连接，研磨废水处理箱（2）内部中侧连接有膜板安装架（3），膜板安装架（3）内可拆卸安装有MBR平板膜（4），研磨废水处理箱（2）左上端内侧与曝气头（5）外侧相连接，且曝气头（5）输出端对应到研磨废水处理箱（2）内MBR平板膜（4）上方位置，曝气头（5）输入端与气管（6）一端相连通，底座（1）顶端中部与回转式风机（9）底端相连接，回转式风机（9）输出单气管（6）另一端相连接，研磨废水处理箱（2）左上端与平台（7）右端相连接，平台（7）右中侧与管约束架（8）底端相连接，气管（6）绕过管约束架（8）上侧，且气管（6）上安装有单向阀（10）。2.如权利要求1所述的一种研磨废水MBR系统装置，其特征在于，还包括勾环（11），MBR平板膜（4）顶端中部与勾环（11）底端相连接。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：任晓哲，胡昊，秦小伟，周新章，王倩霞，许旭，
申请(专利权)人：浙江东洋环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：