真空控制阀、螺杆真空泵及抽真空设备制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种真空控制阀、螺杆真空泵及抽真空设备，所述真空控制阀包括阀体、阀板、弹性机构、阀杆及活塞；阀体设有第一端口及第二端口，阀板、弹性机构、阀杆及活塞设置于阀体内；阀体内设有内阀体，阀杆的一部分及活塞设置于内阀体；内阀体的内腔被活塞分为第一内腔及第二内腔；第一内腔能与第一容调阀连通，第二内腔能与第二容调阀连通；通过向第一内腔、第二内腔输送不同气压的气体调节活塞的位置调节阀板的高度，从而调节真空控制阀的开关。本实用新型专利技术提出的真空控制阀、螺杆真空泵及抽真空设备，可提高抽真空工作的稳定性，避免阀板在高真空时颤动，从而避免产品损坏。同时，本实用新型专利技术可保证全工况都能有效卸载。本实用新型专利技术可保证全工况都能有效卸载。本实用新型专利技术可保证全工况都能有效卸载。

【技术实现步骤摘要】
真空控制阀、螺杆真空泵及抽真空设备


[0001]本技术属于抽真空设备
，涉及一种抽真空设备，尤其涉及一种真空控制阀及螺杆真空泵。

技术介绍

[0002]现用的螺杆真空泵的真空控制阀有两类，一类是外接气源的气动控制阀，另一类为电磁控制的电控阀，此两类控制阀都存在缺陷。
[0003]现有真空控制阀的阀板与阀盖在正常停机状态是由弹簧力作用下相互接触的。现有真空阀的弹簧力通常很大，在高真空时，阀板会由于弹簧的大弹力而引发颤动，造成阀板损坏。
[0004]此外，现有真空控制阀的阀腔中装有粗弹簧，需更高的真空时才能关闭控制阀，不能保证全工况都能有效卸载。
[0005]有鉴于此，如今迫切需要设计一种新的真空控制阀，以便克服现有真空控制阀存在的上述至少部分缺陷。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种真空控制阀、螺杆真空泵及抽真空设备，可提高抽真空工作的稳定性，避免阀板在高真空时颤动，避免产品损坏。
[0007]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，采用如下技术方案：
[0008]一种真空控制阀，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空控制阀，其特征在于，所述真空控制阀包括：阀体、阀板、弹性机构、阀杆及活塞；所述阀体设有第一端口及第二端口，所述阀板配合所述第一端口设置，能使所述第一端口打开或关闭；所述阀板、弹性机构、阀杆及活塞设置于所述阀体内；所述阀板固定设置于所述阀杆的第一部位；所述弹性机构嵌套于所述阀杆，所述弹性机构的第一端连接所述阀板，所述弹性机构的第二端固定于所述阀杆的设定部位；所述活塞固定设置于所述阀杆的第二部位；所述阀体内设有内阀体，所述阀杆的一部分及所述活塞设置于所述内阀体；所述内阀体的内腔被所述活塞分为第一内腔及第二内腔；所述第一内腔能与第一容调阀连通，所述第二内腔能与第二容调阀连通；通过向第一内腔、第二内腔输送不同气压的气体调节活塞的位置调节阀板的高度，从而调节真空控制阀的开关。2.根据权利要求1所述的真空控制阀，其特征在于：所述弹性机构为止回弹簧，所述止回弹簧仅能支承阀板；所述阀板的上部边缘设有台阶，所述台阶与所述阀体上部的阀盖配合；在真空控制阀不工作正常停机的状态下，所述阀板与阀盖之间形成剖面为L形的间隙。3.根据权利要求2所述的真空控制阀，其特征在于：在真空控制阀不工作正常停机的状态下，所述阀板与阀盖之间形成的间隙高度为2～5mm。4.根据权利要求1所述的真空控制阀，其特征在于：所述阀体包括阀盖及阀座，所述阀盖设置于阀座的一侧；所述阀盖与阀座固定设置。5.根据权利要求1所述的真空控制阀，其特征在于：所述第一内腔通过第一管路连接第一容调阀，所述第二内腔通过第二管路连接第...

【专利技术属性】
技术研发人员：揭政义，徐洪富，朱刊，
申请(专利权)人：浙江开山压缩机有限公司，
类型：新型
国别省市：