一种点源OLED有机材料监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种点源OLED有机材料监控装置，对坩埚(3)内的有机材料(4)进行监控；监控装置设置激光发射接收器(2)，激光发射接收器(2)设置在坩埚(3)的旁边的激光源滑移机构(5)上，激光源滑移机构(5)竖直设置；激光发射接收器(2)的高度高于坩埚(3)；在坩埚(3)内设置激光反射器件。采用上述技术方案，通过激光发射与反射，进行点源坩埚材料监控，对材料余量有效监控，能够及时规避断料风险，减少开腔次数，减少环境微粒污染，实现OLED器件性能提升；降低生产成本，提高经济效益。提高经济效益。提高经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种点源OLED有机材料监控装置


[0001]本技术属于OLED显示材料制造工艺和设备的
更具体地，本技术涉及一种点源OLED有机材料监控装置。

技术介绍

[0002]有机发光器件已经在全彩显示屏、可穿戴设备以及环境友好的室内照明领域获得了越来越多的关注。近年来，材料设计、器件结构以及制备工艺的革新，推动OLED器件性能在大面积、高效率、长寿命和高显色指数方面取得了一系列突破性进展。
[0003]对于研发型产线来说，因器件结构、材料等升级原因，需要对蒸镀设备频繁开腔补料、换料，若此过程中点源材料用量无法合理估计，将会带来诸多浪费，造成材料资源的浪费。另外，频繁开启蒸镀腔室，容易破坏蒸镀腔室氛围，不利于材料和OLED器件性能评估。
[0004]在现有技术中，蒸镀设备中关于OLED材料监控的相关文献记载和公开应用的实例很少，尤其是点源有机OLED材料。采用“蒸镀设备、发光、材料、监控”的关键词，对现有技术中公开的文献进行检索，仅获得以下与本申请技术方案最接近的对比文件：
[0005]中国专利文献：“(201910356905.5)速率监控装置、蒸镀设备及蒸镀方法”；其技术方案是：
[0006]“速率监控装置，包括挡板组件、膜厚检测组件和多个晶振片，挡板组件包括本体、开设于本体上的第一开口和第二开口，以及设置于本体上的用于封闭和暴露所述第二开口的第一挡板，所述本体遮挡所述多个晶振片，所述第一开口暴露一所述晶振片，所述第二开口暴露所述另一所述晶振片，所述膜厚检测组件用于检测所述第一开口暴露出的所述晶振片上所沉积蒸镀材料层的膜厚，以确定所述蒸镀速率”；
[0007]上述技术方案取得的技术效果是：蒸镀时的生产效率较高。
[0008]显然，该对比文件的技术方案并没有能够解决现有技术中“为了防止断料、缺料、过量，对蒸镀设备频繁开腔补料、换料，造成材料资源的浪费”的问题。

技术实现思路

[0009]本技术提供一种点源OLED有机材料监控装置，其目的是规避蒸镀过程中OLED材料的断料风险。
[0010]为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0011]本技术的点源OLED有机材料监控装置，包括坩埚；所述的监控装置对有机材料进行监控；所述的监控装置设置激光发射接收器，所述的激光发射接收器设置在坩埚的旁边的激光源滑移机构上，所述的激光源滑移机构竖直设置；所述的激光发射接收器的高度高于坩埚；在所述的坩埚内设置激光反射器件。
[0012]所述的激光发射接收器中设置激光发射点和光线接收点；所述的光线接收点为环形，所述的激光发射点设置在该环形之内。
[0013]所述的激光反射器件为金属半球，所述的金属半球的圆弧面朝上，所述的圆弧面
为光滑的表面，所述的金属半球的底平面与坩埚内底面接触。
[0014]所述的金属半球的半径r小于或等于坩埚高度的1/15。
[0015]所述的金属半球的材料为Ag或Al。
[0016]或者：
[0017]所述的激光反射器件为1/4断面金属圆环，所述的1/4断面金属圆环的曲面朝上，所述的弧面为光滑的表面，所述的1/4断面金属圆环的底平面与坩埚内底面接触。
[0018]所述的1/4断面金属圆环为完整圆环的内圈一半的上部一半。
[0019]所述的1/4断面金属圆环的圆形断面的半径r小于或等于坩埚高度的1/15。
[0020]所述的1/4断面金属圆环的材料为Ag或Al。
[0021]本技术采用上述技术方案，通过激光发射与反射，进行点源坩埚材料监控，对材料余量有效监控，能够及时规避断料风险，减少开腔次数，减少环境微粒污染，实现OLED器件性能提升；降低生产成本，提高经济效益。
附图说明
[0022]附图所示内容及图中的标记简要说明如下：
[0023]图1为本技术的点源坩埚内OLED有机材料余料监控系统结构示意图；
[0024]图2为本技术的激光测试点位置示意图；
[0025]图3为本技术的激光发射、接收装置的结构示意图；
[0026]图4为本技术的坩埚内金属半球表面光线路径示意图；
[0027]图5为本技术的实施例二的结构示意图；
[0028]图6为图5所示结构的俯视示意图；
[0029]图7为图6中的A—A剖视中的坩埚下部局部示意图。
[0030]图中标记为：
[0031]1、金属半球，2、激光发射接收器，3、坩埚，4、有机材料，5、激光源滑移机构，6、1/4断面金属圆环；
[0032]12、入射光线，13、反射光线；
[0033]21、激光发射点，22、光线接收点(含光电转换器)；
[0034]52、激光最高测试点；53、激光最低测试点，54、激光最高测试点的坩埚位置，55、激光最低测试点的坩埚位置。
具体实施方式
[0035]下面对照附图，通过对实施例的描述，对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明，以帮助本领域的技术人员对本技术的专利技术构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。
[0036]如图1至图2所表达的本技术的结构，为一种点源OLED有机材料监控装置，进行余料监控，防止其断料。该监控装置包括坩埚3；所述的监控装置对有机材料4进行监控。
[0037]为了解决现有技术存在的问题并克服其缺陷，实现规避蒸镀过程中OLED材料的断料风险的专利技术目的，本技术采取的技术方案为：
[0038]如图1所示，本技术的点源OLED有机材料监控装置，所述的监控装置设置激光
发射接收器2，所述的激光发射接收器2设置在坩埚3的旁边的激光源滑移机构5上，所述的激光源滑移机构5竖直设置；所述的激光发射接收器2的高度高于坩埚3；在所述的坩埚3内设置激光反射器件。
[0039]如果激光发射接收器2发射的激光没有反射，表示坩埚3的材料高度不低于激光反射器件，没有发生断料、缺料问题；如果激光发射接收器2发射的激光被激光反射器件反射，并被激光发射接收器2接收，表明坩埚3内已经处于缺料现象，需要及时处理，进行补料。
[0040]采用上述技术方案，通过激光发射与反射，进行点源坩埚材料监控，对材料余量进行有效监控，能够及时规避断料风险，减少开腔次数，减少环境微粒(particle)污染，实现OLED器件性能提升；降低生产成本，提高经济效益。
[0041]如图3所示：
[0042]所述的激光发射接收器2中设置激光发射点21和光线接收点22；所述的光线接收点22为环形，所述的激光发射点21设置在该环形之内。
[0043]坩埚3的斜上方设置坩埚3内材料的监控装置，该装置由可上下滑动的机械部件、激光光源(R/G长波段光源)发射器及接收器组成；该光源接收器含有光电转换信号，接收到的反射光线转换为电信号输出。当系统接收到信号时，表明已经缺料，需及时补料。主要是根据光线在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种点源OLED有机材料监控装置，包括坩埚(3)；所述的监控装置对有机材料(4)进行监控；其特征在于：所述的监控装置设置激光发射接收器(2)，所述的激光发射接收器(2)设置在坩埚(3)的旁边的激光源滑移机构(5)上，所述的激光源滑移机构(5)竖直设置；所述的激光发射接收器(2)的高度高于坩埚(3)；在所述的坩埚(3)内设置激光反射器件。2.按照权利要求1所述的点源OLED有机材料监控装置，其特征在于：所述的激光发射接收器(2)中设置激光发射点(21)和光线接收点(22)；所述的光线接收点(22)为环形，所述的激光发射点(21)设置在该环形之内。3.按照权利要求1所述的点源OLED有机材料监控装置，其特征在于：所述的激光反射器件为金属半球(1)，所述的金属半球(1)的圆弧面朝上，所述的圆弧面为光滑的表面，所述的金属半球(1)的底平面与坩埚(3)内底面接触。4.按照权利要求3所述的点源OLED有机材料监控装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晨，李维维，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：