一种氧化镍锡固态离子储存层及其制备方法与应用技术

本发明专利技术属于电致变色器件技术领域，本发明专利技术公开了一种氧化镍锡固态离子储存层及其制备方法与应用。本发明专利技术提供了电致变色器件中所包含的固态离子储存层的磁控溅射及碱处理协同制备方法，提高了固态离子储存层的电化学容量及可见光透过率。本发明专利技术所得固态离子储存层薄膜具有高稳定性和较强的附着力，透过率变化幅度大且具有变色响应速度快等特点。所得固态离子储存层薄膜用于全固态电致变色器件的阳极材料，使得器件的诸性能明显提高，例如循环耐久性、光学调光幅度、以及响应时间。以及响应时间。以及响应时间。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化镍锡固态离子储存层及其制备方法与应用


[0001]本专利技术涉及电致变色器件
，尤其涉及一种氧化镍锡固态离子储存层及其制备方法与应用。

技术介绍

[0002]电致变色是指材料的光学属性，如透过率，反射率在低电压驱动下发生可逆的颜色变化现象，在外观上变现为蓝色和透明态之间的可逆变化。电致变色作为如今研究的热点，具有优秀的太阳光调节功能，应用领域广。电致变色器件及技术主要应用于汽车防眩后视镜、节能建筑玻璃、其他移动体车窗上、显示屏、电子纸、隐身伪装等领域。其中固态离子储存层为一种薄膜材料在离子迁入或迁出过程中辅助电致变色层发生氧化还原反应，直接用磁控溅射制备的过渡金属氧化物薄膜的电化学容量较低，反应溅射价态控制较难，较弱的颜色变化幅度，对电致变色器件贡献率较少，主要为无机过渡金属氧化物，如Cr2O3、Co2O3、MnO2、TiO2、Ir2O3，NiO。其中氧化镍是3d过渡金属氧化物,氧化镍的结构以属于密堆积面心立方的结构NaCl为主,具有良好的电致变色性质。其作用为在电压驱动下发生离子迁入或迁出导致离子储存层发生可逆的氧化还原反应，与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化镍锡固态离子储存层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在基底上直流脉冲磁控溅射制备氧化镍锡薄膜，后碱处理，得到负载于基底上的氧化镍锡固态离子储存层；所述基底为沉积在透明基板上的ITO、FTO或AZO。2.根据权利要求1所述氧化镍锡固态离子储存层的制备方法，其特征在于，所述直流脉冲磁控溅射制备氧化镍锡薄膜时，基底的温度为
‑
20～400℃；本底真空度为1
×
10
‑5～5
×
10
‑4Pa；镀膜时间为20～60min，工作气压为0.5～5Pa。3.根据权利要求2所述氧化镍锡固态离子储存层的制备方法，其特征在于，所述直流脉冲磁控溅射制备氧化镍锡薄膜时，溅射的工作气氛为氧气和氩气的混合气，混合气中氧气的占比为5～100％；溅射的功率密度为0.5～5W/cm2。4.根据权利要求1～3任一项所述氧化镍锡固态离子储存层的制备方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：包山虎，梁锐生，许生，杨春林，
申请(专利权)人：深圳豪威显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：