【技术实现步骤摘要】
一种高温自动加料的拉晶装置及其使用方法
[0001]本专利技术涉及拉晶装置
,具体为一种高温自动加料的拉晶装置及其使用方法。
技术介绍
[0002]晶圆在生产的过程中,需要将矿石中提炼的硅粉经化学处理并提纯,从而制取高纯度硅,在硅锭生产的过程中需要使用单晶炉,硅原料不足时需要向单晶炉内的石英坩埚补充硅料,高纯度硅原料补充完成后便能够进行拉晶处理,现有的拉晶装置在使用时还存在一些缺陷。
[0003]例如公开号CN108385159A公开了一种侧面加样的单晶炉加样装置,电磁闸门控制更加方便;采用该优选方案使得固体原料能够在重力的作用下自动落入坩埚中;加料器用于自动加料,能够进一步提高生产效率;进行加料时,先打开密封门,降低料塞即可加料;停止加料时,利用拉绳拉起料塞即可堵住料斗底部的开口。该优选方案具有易于控制,操作方便的优势;上述装置在使用时虽然能够便捷打开和关闭加料的开口,但不能够根据熔融硅原料的液面高度位置进行自动定量加料,在加料前还需要进行称重等步骤,使用步骤比较繁琐;而且现有的拉晶装置在使用时,在单次拉晶完 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高温自动加料的拉晶装置,包括支撑座(1),其特征在于:所述支撑座(1)的左侧固定设置有连接板(2),连接板(2)的顶部固定连接有连接座(3),连接座(3)的内部转动安装有转辊(4),转辊(4)的表面安装有输送带(5),所述连接座(3)的前后两端均固定安装有待转移支撑框(6),所述转辊(4)的左右两侧均安装有自动送料组件(7),所述连接板(2)的左侧和支撑座(1)的左侧均固定连接有连接轴(10),所述连接轴(10)和相邻连接轴(10)之间转动连接有内管套(8),所述内管套(8)的内部安装有牵引组件(9),所述支撑座(1)的顶部固定连接有外壳(11),外壳(11)的内部安装有石英坩埚(12),外壳(11)内部的右侧固定连接有分隔板(13),外壳(11)外侧的右上方安装有自动进料组件(14),所述支撑座(1)的左上方固定连接有中杆(16),所述中杆(16)的下半部分的外侧转动安装有中板(17),中杆(16)上半部分的外侧转动连接有支撑板(20),支撑板(20)左侧的下方固定安装有第一延伸筒(18),支撑板(20)右侧的下方固定安装有第二延伸筒(19),所述支撑座(1)内部的上方固定安装有电机(25),电机(25)的输出轴上安装有减速箱(26),减速箱(26)的输出轴与石英坩埚(12)相连,所述自动送料组件(7)包括固定安装于连接座(3)左右两侧的凸块(701),凸块(701)的内部滑动安装有齿条(702),齿条(702)的侧面啮合连接有齿轮(703),齿条(702)的前端固定连接有压杆(704),所述齿轮(703)的齿柱与转辊(4)相连,所述牵引组件(9)包括滑动安装于内管套(8)内部的挤压垫(901),挤压垫(901)的左侧固定连接有挤压块(902),挤压垫(901)的左侧固定连接有第一弹簧(903),第一弹簧(903)的左侧固定连接有挤压板(904),所述内管套(8)的内部开设有移动槽(905),内管套(8)的内部滑动安装有密封块(907),密封块(907)的表面固定连接有第一牵引钢绳(906),第一牵引钢绳(906)的前端缠绕于栓接于连接轴(10)的表面,所述内管套(8)的内壁上转动安装有橡胶滚轮(908),所述自动进料组件(14)包括固定安装于外壳(11)右上方的进料筒(1401),进料筒(1401)的顶部螺栓固定有密封盖(1402),进料筒(1401)的内部转动安装有阻尼转轴(1403),阻尼转轴(1403)的外侧固定连接有延伸板(1404),阻尼转轴(1403)的外侧缠绕设置有第二牵引钢绳(1405),第二牵引钢绳(1405)的末端经导向轮(15)导向与拉杆(1407)相连,所述导向轮(15)和外壳(11)之间为轴转动连接,所述拉杆(1407)通过记忆合金弹簧(1406)与外壳(11)相连,所述拉杆(1407)和外壳(11)之间为滑动连接,所述记忆合金弹簧(1406)的左侧设置有导热板(1408),所述导热板(1408)和外壳(11)之间为固定连接。2.根据权利要求1所述一种高温自动加料的拉晶装置,其特征在于:所述支撑座(1)内部的左侧固定安装有电动推杆(27),电动推杆(27)的下方固定连接有档杆(28),档杆(28)的左上方固定安装有支撑垫(29),支撑垫(29)的位置与内管套(8)底端的位置互相对应。3.根据权利要求1...
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