用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统技术方案

本发明专利技术涉及一种进给组件，其为用于由熔体生长晶锭的生长室供给多晶硅。一种示例性系统包括壳体，该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道，和位于支承轨道上方以选择性地进给颗粒托盘和块体托盘中的一者的进料储器。还公开了一种阀机构和脉冲振动器。器。器。

【技术实现步骤摘要】
用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统
[0001]本申请是2016年8月18日在中国专利局提交的申请号为201680061755.X、名称为“用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统”的专利申请的分案申请。
[0002]对相关申请的交叉引用
[0003]本申请要求2015年8月20日提交的美国临时专利申请系列号No.62/207,773的优先权，该申请的公开内容整体结合于此作为参考。


[0004]本公开总体上涉及使用直拉方法的半导体晶体生长，更具体地涉及向坩埚熔体供给诸如块状或粒状多晶硅的库存材料。

技术介绍

[0005]在通过连续直拉方法生长的硅晶体的制造中，首先在晶体提拉装置的坩埚内熔化多晶硅以形成硅熔体。然后将籽晶降低到熔体内并缓慢地将籽晶提出熔体。随着从熔体连续地生长籽晶，将固体多晶硅例如粒状多晶硅添加到熔体内以补充熔体。通常，控制添加到熔体内的附加的固体多晶硅的进给速率以维持工艺参数。在通过批量直拉方法生长的硅晶体的制造中，固体多晶硅例如块状多晶硅不是在生长籽晶时向熔体内添加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于控制多晶硅从多晶硅进给组件的颗粒托盘向用于由熔体生长晶锭的生长室的流动的阀机构，所述阀机构包括：密封件，所述密封件选择性地闭塞所述颗粒托盘的出口；驱动器，所述驱动器构造成在闭塞所述出口的密封位置与所述密封件不闭塞所述出口的开启位置之间升起和降下所述密封件；和联动装置，所述联动装置将所述密封件与所述驱动器连接，其中，所述密封件成形为容许所述颗粒托盘的出口的一部分之间的间隙，使得所述出口内的粒状多晶硅不会阻碍所述密封件与所述出口之间的密封。2.根据权利要求1所述的阀机构，其中：所述出口包括开口；并且所述密封件包括：具有成形为与所述出口的开口接合的半径并具有与所述出口的开口相同的斜度的部分；和第二部分，所述第二部分具有小于所述出口的开口的半径，并且在所述密封件处于密封位置时至少部分地位于所述出口的开口内，其中，所述第二部分的半径与所述出口的开口的半径之差限定所述间隙。3.一种多晶硅进给系统，包括：多晶硅进给器，所述多晶硅进给器用于向生长室供给多晶硅以由熔体生长出单晶锭；磁脉冲振动器，所述磁脉冲振动器用于使托盘振动；设置在所述磁脉冲振动器上方的颗粒托盘，所述颗粒托盘具有出口；根据权利要求1所述的阀机构，所述阀机构的密封件选择性地闭塞所述颗粒托盘的出口，并成形为容许在所述颗粒托盘的出口的一部分之间的间隙，使得所述出口内的粒状多晶硅不会阻碍所述密封件与所述出口之间的密封。4.根据权利要求3所述的多晶硅进给系统，其中，所述多晶硅进给器包括用于接纳所述颗粒托盘的支承轨道。5.根据权利要求3所述的多晶硅进给系统，其中，所述颗粒托盘是可互换的颗粒托盘。6.根据权利要求5所述的多晶硅进给系统，其中，所述多晶硅进给器包括用于接纳可互换的颗粒托盘的支承轨道。7.根据权利要求6所述的多晶硅进给系统，其中，所述颗粒托盘包括：外部部分，所述外部部分包括可移除地接纳所述多晶硅进给器的支承轨道...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：达维克国际有限公司，
类型：发明
国别省市：