一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置制造方法及图纸

技术编号:37703627 阅读:32 留言:0更新日期:2023-06-01 23:50
本发明专利技术公开了一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,涉及废液回收技术领域,包括底座,底座的顶部固定连接有用于回收废液的回收罐体,回收罐体的内腔底部设置有加热腔,回收罐体的内腔底部设置有浮体,回收罐体的底部两侧对称开设有膨胀腔,回收罐体的两侧对称设置有侧边腔,回收罐体的顶部设置有处理腔,处理腔的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板,通过浮体在向上浮动的过程中带动废液加热产生的胶状物与漂浮物向上运动,进而实现自动去除废液中的胶状物与漂浮物,有效地减少了人工分离步骤,同时也提高了装置回收废液的工作效率。的工作效率。的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置


[0001]本专利技术涉及废液回收
,具体为一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置。

技术介绍

[0002]电子级硫酸又称超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是工业上用量最大的湿电子化学品,主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀,以及印刷电路板的腐蚀和清洗等,可有效去除晶片和印刷电路板上的颗粒杂质、无机残留物和碳沉积物等,电子级硫酸属于浓度较高的硫酸种类,其处理方式有浓缩法、氧化法、萃取法和结晶法等方法,其中浓缩法在对浓度较高的硫酸废液处理过程中,先对硫酸废液进行加热,被加热的硫酸废液会产生悬浮物或胶状物,悬浮物一般漂浮在硫酸废液表面,若出现胶状物可能会粘连在罐体的内壁上或沉积在硫酸废液的底部,同时在对硫酸废液加热的过程中会产生有毒气体,进而导致人工无法安全地进行收集处理工作,若长时间的沉积可能导致装置无法进行后续的硫酸废液的处理工作。
[0003]为此,提出一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于电子级硫酸生产的废液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有用于回收电子级硫酸的回收罐体(2),所述回收罐体(2)的内腔底部设置有加热腔(3),所述回收罐体(2)的内腔底部且靠近加热腔(3)顶部设置有浮体(4),所述回收罐体(2)的底部两侧对称开设有膨胀腔(5),所述回收罐体(2)的两侧对称设置有侧边腔(6),所述回收罐体(2)的顶部设置有处理腔(7),所述处理腔(7)的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板(73),所述刮板(73)的外壁上设置有用于解除浮体(4)卡接状态的推杆(8),所述处理腔(7)的顶部固定连接有加注腔(9),所述加注腔(9)的外壁均匀等距固定连接有加注管(91),所述回收罐体(2)的外壁上均匀等距贯穿开设有加注口(92),所述加注管(91)的底部均与加注口(92)的内部固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,其特征在于:所述加热腔(3)的内部设置有用于加热电子级硫酸废液的加热器(31),所述加热腔(3)的中部设置有用于排放废液的排液口(32)。3.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,其特征在于:所述浮体(4)内部设置有均匀分布的通管(41),所述通管(41)的内壁上端固定连接有滤网(42),所述浮体(4)的两侧对称开设有卡槽(43)。4.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,其特征在于:所述膨胀腔(5)的内部且远离加热腔(5)的一侧设置有电触点(51),所述膨胀腔(5)的内壁与收缩簧(52)的外侧端固定连接,所述收缩簧(52)的内侧端固定连接有活塞块(53),所述活塞块(53)活动连接在膨胀腔(5)的内部,所述活塞块(53)的表面且靠近收缩簧(52)的一侧固定连接有电触杆(54),所述活塞块(53)的表面且远离收缩簧(52)的一侧固定连接有第一弹簧(55),所述第一弹簧(55)的内侧端与膨胀腔(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员:李文斌李华荣罗霜
申请(专利权)人:福建天甫电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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