【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置
[0001]本专利技术涉及废液回收
,具体为一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置。
技术介绍
[0002]电子级硫酸又称超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是工业上用量最大的湿电子化学品,主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀,以及印刷电路板的腐蚀和清洗等,可有效去除晶片和印刷电路板上的颗粒杂质、无机残留物和碳沉积物等,电子级硫酸属于浓度较高的硫酸种类,其处理方式有浓缩法、氧化法、萃取法和结晶法等方法,其中浓缩法在对浓度较高的硫酸废液处理过程中,先对硫酸废液进行加热,被加热的硫酸废液会产生悬浮物或胶状物,悬浮物一般漂浮在硫酸废液表面,若出现胶状物可能会粘连在罐体的内壁上或沉积在硫酸废液的底部,同时在对硫酸废液加热的过程中会产生有毒气体,进而导致人工无法安全地进行收集处理工作,若长时间的沉积可能导致装置无法进行后续的硫酸废液的处理工作。
[0003]为此,提出一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有用于回收电子级硫酸的回收罐体(2),所述回收罐体(2)的内腔底部设置有加热腔(3),所述回收罐体(2)的内腔底部且靠近加热腔(3)顶部设置有浮体(4),所述回收罐体(2)的底部两侧对称开设有膨胀腔(5),所述回收罐体(2)的两侧对称设置有侧边腔(6),所述回收罐体(2)的顶部设置有处理腔(7),所述处理腔(7)的内部设置有用于刮除胶状物与漂浮物的刮板(73),所述刮板(73)的外壁上设置有用于解除浮体(4)卡接状态的推杆(8),所述处理腔(7)的顶部固定连接有加注腔(9),所述加注腔(9)的外壁均匀等距固定连接有加注管(91),所述回收罐体(2)的外壁上均匀等距贯穿开设有加注口(92),所述加注管(91)的底部均与加注口(92)的内部固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,其特征在于:所述加热腔(3)的内部设置有用于加热电子级硫酸废液的加热器(31),所述加热腔(3)的中部设置有用于排放废液的排液口(32)。3.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,其特征在于:所述浮体(4)内部设置有均匀分布的通管(41),所述通管(41)的内壁上端固定连接有滤网(42),所述浮体(4)的两侧对称开设有卡槽(43)。4.根据权利要求1所述的一种用于电子级硫酸生产的废液回收再利用装置,其特征在于:所述膨胀腔(5)的内部且远离加热腔(5)的一侧设置有电触点(51),所述膨胀腔(5)的内壁与收缩簧(52)的外侧端固定连接,所述收缩簧(52)的内侧端固定连接有活塞块(53),所述活塞块(53)活动连接在膨胀腔(5)的内部,所述活塞块(53)的表面且靠近收缩簧(52)的一侧固定连接有电触杆(54),所述活塞块(53)的表面且远离收缩簧(52)的一侧固定连接有第一弹簧(55),所述第一弹簧(55)的内侧端与膨胀腔(5)...
【专利技术属性】
技术研发人员:李文斌,李华荣,罗霜,
申请(专利权)人:福建天甫电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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